本实用新型涉及掩膜层存储技术领域，具体涉及一种掩膜板保护机构及保护装置。
背景技术：
目前，掩膜板的存储方法通常是在每个掩膜板上层和下层都设置一张无尘纸，这样的设计在揭开无尘纸时会产生静电，导致掩膜板因静电被吸起，从而导致掩膜板被损坏。由于静电的问题也导致了iqc(inputqualitycontrol,进料检验)设备、fmt(finemasktension,精细掩膜张网机)等仪器也无法进行自动上料，从而降低影响生产效率。并且由于无尘纸和掩膜板都十分柔软，进而在拿取和搬运时，稍有不慎就会造成掩膜板的弯折，从而提高生产成本。
技术实现要素：
有鉴于此，本实用新型提供了一种掩膜板保护机构及保护装置，解决了掩膜板在拿取和搬运过程中容易产生静电及损坏的问题。
本实用新型一实施例提供的一种掩膜板保护机构及保护装置包括：保护部；以及边框，设置在所述保护部的四周，构造为支撑所述保护部。
在一种实施方式中，所述边框与所述保护部相接触的部位设置有缝隙，构造为固定所述保护部，其中所述保护部的四周设置在所述缝隙内。
在一种实施方式中，所述边框为可拆卸式结构。
在一种实施方式中，所述边框包括：第一框体，与所述第一框体可拆卸连接的第二框体；所述第一框体包括第一凸起，设置在所述第一框体与所述第二框体接触的一侧；所述第二框体包括第一凹槽，设置在所述第二框体与所述第一框体接触的一侧；其中所述第一凸起插入所述第一凹槽内固定所述第一框体和所述第二框体。
在一种实施方式中，所述第一框体包括第二凸起，设置在所述第一框体远离所述第二框体的一侧；所述第二框体包括磁铁，设置在所述第二框体远离所述第一框体的一侧；其中，所述第二凸起在所述第二框体上的投影和所述磁铁相重合。
在一种实施方式中，所述第一框体由多个第一部组成，第二框体由多个第二部组成，其中，一个所述第一部和一个所述第二部组成所述边框的一个边；其中，多个所述第一部之间通过连接件相连接，多个所述第二部之间通过连接件相连接。
在一种实施方式中，所述连接件固定在所述边框的相邻的两个边中的一个边上，所述边框的相邻的两个边的另一个边包括第二凹槽，其中所述连接件插入所述第二凹槽内。
在一种实施方式中，所述保护部为无尘纸。
在一种实施方式中，所述边框的材质为塑料；或所述边框的厚度小于等于3mm。
一种掩膜板保护装置，包括至少两个如上述任一所述的掩膜板保护机构，至少两个所述掩膜板保护机构层叠设置，其中掩膜板设置在相邻的两个所述掩膜板保护机构之间。
本实用新型实施例提供的一种掩膜板保护机构及保护装置，该掩膜板保护机构包括保护部和边框，其中边框设置在保护部的四周，构造为支撑所述保护部。通过在保护部的四周设置边框，能够减少保护部和掩膜板的直接接触，防止在拿取掩膜板时，由于接触摩擦而产生静电，导致掩膜板的损坏，并且提高了保护部的强度，防止在搬运过程中掩膜板出现弯折。
附图说明
图1所示为本实用新型一实施例提供的一种掩膜板保护机构的结构示意图。
图2所示为本实用新型一实施例提供的一种第一框体和第二框体的结构示意图。
图3所示为本实用新型一实施例提供的一种可拆卸式框体的结构示意图。
图4所示为本实用新型一实施例提供的一种第二凸起和磁铁的结构示意图。
图5所示为本实用新型一实施例提供的一种连接件的结构示意图。
图6所示为本实用新型另一实施例提供的一种连接件的结构示意图。
图7所示为本实用新型一实施例提供的一种第二凹槽的结构示意图。
图8所示为本实用新型一实施例提供的一种掩膜板保护装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
图1所示为本实用新型一实施例提供的一种掩膜板保护机构的结构示意图。
如图1所示，该掩膜板保护机构包括保护部1和边框2，其中边框2设置在保护部1的四周，构造为支撑所述保护部1。通过在保护部1的四周设置边框2，能够减少保护部1和掩膜板的直接接触，防止在拿取掩膜板时，由于接触摩擦而产生静电，导致掩膜板的损坏，并且提高了保护部1的强度，防止在搬运过程中掩膜板出现弯折。
可以理解，保护部1可以为无尘纸，或者其他具有保护功能的组件，保护部1的具体组件类型可根据实际的情况进行选择，本实用新型对保护部1件的具体类型不作限定。
还可以理解，边框2的材质可以为塑料，实用塑料作为边框2的材质，可以减轻掩膜板保护机构的重量，易于存放和搬运。此外，边框2的材质还可以为其它材质，边框2的材质可根据实际的情况进行选择，在满足边框2的功能和不影响掩膜板保护机构的功能的前提下，本实用新型对边框2的具体材质不作限定。
还可以理解，边框2的厚度可以为3mm，将边框2的厚度设置成3mm既能保证边框2的厚度大于保护部1的厚度，从而减少保护部1和掩膜板的接触，又能使边框2的厚度不至于太厚，从而节省空间，且方便拿取。边框2的厚度还可以为其它厚度数值，边框2的具体厚度的数值可根据实际的需求进行更改，本实用新型对边框2的厚度的具体数值不作限定。
还可以理解，该掩膜板可以为精细金属掩膜板，或者其它类型的掩膜板，本实用新型对掩膜板的具体类型不作限定。
本实用新型一实施例中，边框2与保护部1相接触的部位设置有缝隙，作用为固定保护部1。在边框2与保护部1相接触的部位设置缝隙，可以将保护部1的四周都设置在缝隙内卡住，防止在拿取或搬运的过程中保护部1由于不牢固出现脱落现象，从而损坏保护部1和掩膜板的问题产生。
可以理解，优选地，可以在边框2与保护部1相接触的部位设置缝隙，将保护部1的四周卡在缝隙里进行固定，也可以通过例如粘贴或者卡扣等方式对边框2和保护部1进行固定。具体地选择何种方式对边框2和保护部1进行固定可根据实际的需求进行调整，本实用新型对选择何种方式对边框2和保护部1进行固定不作限定。
还可以理解，缝隙的宽度可根据保护部1的厚度进行设置，在能够保证保护部1可以卡在缝隙内进行固定的前提下，本实用新型对缝隙的宽度不作限定。
本实用新型一实施例中，边框2为可拆卸结构。将边框2设置成可拆卸结构便于保护部1的更换和维修。且可拆卸式边框2组合方便多样，可适用更多不同形状的保护部1。
可以理解，边框2的可拆卸方式可以是多样的。例如，边框2拆卸后的多个部分之间可以是通过活动连接组成边框2，也可以是固定连接组成边框2。拆卸方式可以是用户不借助任何工具直接拿取分开，也可以是借助工具拆开等。边框2采用何种方式进行拆卸可以根据实际的情况进行设定，本实用新型对边框2的拆卸方式不作限定。
图2所示为本实用新型一实施例提供的一种第一框体3和第二框体4的结构示意图。图3所示为本实用新型一实施例提供的一种可拆卸式框体的结构示意图。
如图2和图3所示，边框2包括第一框体3和第二框体4，第一框体3与第二框体4可拆卸连接。实现第一框体3和第二框体4的可拆卸结构可以通过在第一框体3上设置凸起，在第二框体4上设置第一凹槽6。凸起设置在第一框体3与第二框体4接触的一侧，第一凹槽6设置在第二框体4和第一框体3接触的一侧，其中当第一框体3和第二框体4连接时，可以将第一凸起5插入第一凹槽6内，实现第一框体3和第二框体4的可拆卸式连接。通过设置第一凸起5和第一凹槽6的方式实现第一框体3和第二框体4的连接，简单方便，工艺成本低。
可以理解，第一框体3可包括多个第一凸起5，多个第一凸起5均设置在第一框体3与第二框体4相接触的一侧，多个第一凸起5可均匀的分布在第一框体3上；第二框体4可包括多个第一凹槽6，多个第一凹槽6均设置在第一框体3和第二框体4相接触的一侧，多个第一凹槽6可均匀的分布在第二框体4上。其中，多个第一框体3分别插入多个第一凹槽6内。第一凸起5和第一凹槽6的数量可根据实际的情况进行调整，本实用新型对第一凸起5和第一凹槽6的具体数量不作限定。
还可以理解，多个第一凸起5可均匀的分布在第一框体3上，多个第一凹槽6可均匀的分布在第二框体4上。多个第一凸起5也可以按照一定的预设规律分布在第一框体3上，多个第一凹槽6也可以按照一定的预设规律分布在第二框体4上。多个第一凸起5在第一框体3上的分布方式、多个第一凹槽6在第二框体4上的分布方式可根据实际的情况进行设置，本实用新型对多个第一凸起5在第一框体3上的分布方式、多个第一凹槽6在第二框体4上的分布方式不作限定。
还可以理解，本实施例，优选地，可以通过将第一凸起5插入第一凹槽6内的方式对第一框体3和第二框体4进行固定，根据实际的情况，也可以采用其它方式对第一框体3和第二框体4进行固定，本实用新型对第一框体3和第二框体4的固定方式不作限定。
图4所示为本实用新型一实施例提供的一种第二凸起7和磁铁8的结构示意图。
如图4所示，第一框体3包括第二凸起7，设置在第一框体3远离第二框体4的一侧，第二框体4包括磁铁8，设置在第二框体4远离第一框体3的一侧。其中，第二凸起7在第二框体4上的投影和磁铁8相重合。在第一框体3远离第二框体4的一侧设置第二凸起7，在第二框体4远离第一框体3的一侧设置磁铁8，在掩膜板的存放过程中，每个掩膜板的上下均设置有一个掩膜板保护机构，多个掩膜板，可以叠放在一起，那么相邻的掩膜板之间包括两个掩膜板保护机构，由于掩膜板保护机构的第一框体3远离第二框体4的一侧设置有第二凸起7，在第二框体4远离第一框体3的一侧设置磁铁8，两个掩膜板保护机构中的一个掩膜板保护机构的第二框体4的磁铁8整好和另一个掩膜板保护机构的第一框体3的第二凸起7相接触，第二凸起7的材质可以为铁也可以为磁铁，两个掩膜板保护机构中的一个掩膜板保护机构的第二框体4的磁铁8和另一个掩膜板保护机构的第一框体3的第二凸起7相接触后产生磁力，将相邻的两个掩膜板保护机构磁吸在一起，起到了固定作用，防止存放时由于掩膜板保护机构位置的偏移，造成掩膜板的损坏。
可以理解，第一框体3可包括多个第二凸起7，第二框体4可包括多个磁铁8，多个第二凸起7可按照预设的分布方式分布在第一框体3上，多个磁铁8可按照预设的分布方式分布在第二框体4上。第二凸起7和磁铁8的数量和分布方式可按照实际的需求进行设定，在保证一个磁铁8对应一个第二凸起7的前提条件下，本实用新型对第二凸起7和磁铁8的数量和分布方式不作限定。
还可以理解，优选地，第二凸起7的表面积可小于等于磁铁8的表面积，保证第二凸起7能够完全被磁铁8吸附，提高了吸附力。本实用新型对第二凸起7的表面积和磁铁8的表面积大小不作限定。
还可以理解，第二凸起的材质可以为铁或磁铁，在能够保证第二凸起可以和磁铁磁吸在一起的前提下，本实用新型对第二凸起的具体材质不作限定。
图3所示为本实用新型一实施例提供的一种可拆卸式框体的结构示意图。图4所示为本实用新型一实施例提供的一种第二凸起7和磁铁8的结构示意图。
如图3和图4所示，第一框体3可为可拆卸结构，第一框体3可由多个第一部9可拆卸连接组成；第二框体4也可为可拆卸结构，第二框体4可由多个第二部10组成。一个第一部9和一个第二部10组成边框2的一个边，缝隙可设置在第一部9和第二部10之间，其中，第一部9和第二部10通过第一凸起5插入第一凹槽6的方式相连接。边框2可包括多个边，每个边均由一个第一部9和一个第二部10连接组成，换言之，边框2可拆卸为第一框体3和第二框体4，第一框体3可拆卸为多个第一部9，第二框体4可拆卸为多个第二部10，其中多个第一部9之间通过连接件11相连接，多个第二部10之间通过连接件11相连接。将第一框体3和第二框体4设置成可拆卸结构，能够方便保护部1的取出和装入，防止保护部1在取出和装入过程中损坏。
可以理解，优选地，边框2可以为矩形，矩形边框2的第一框体3包括四个第一部9，矩形边框2的第二框体4包括四个第二部10，除此之外，边框2还可以为其它形状，例如三角形或不规则图形外，不同的边框2形状包括不同数量的第一部9和第二部10。边框2的形状是根据实际的需求进行设定的，本实用新型对边框2的具体形状不作限定。
还可以理解，多个第一部9中不同的第一部9的长度可以不同，例如第一边框2可拆卸为四个第一部9，四个第一部9中有两个第一部9的长度长于其余两个第一部9的长度，此时，四个第一部9组成的第一边框2可为长方形；除此之外，多个第一部9中不同的第一部9的长度也可以相同。多个第二部10中不同的第二部10的长度可以不同，多个第二部10中不同的第二部10的长度也可以相同，理由同第一部9再次就不在赘述，本实用新型对多个第一部9的长度是否相同，多个第二部10的长度是否相同不作限定。
图5所示为本实用新型一实施例提供的一种连接件11的结构示意图。
图6所示为本实用新型另一实施例提供的一种连接件11的结构示意图。图7所示为本实用新型一实施例提供的一种第二凹槽的结构示意图。
如图5、图6和图7所示，边框2包括多个边，相邻的两个边之间可通过连接件11连接在一起。其中连接件11的一端可固定在相邻的两个边中的一个边上，相邻的两个边中的另一个边可包括第二凹槽12，其中连接件11可插入第二凹槽12中，用于固定边框2的相邻的两个边。采用连接件11固定边框2的相邻的两个边，可以实现边框2的每个边之间为可拆卸结构，能够方便保护部1的取出和装入，防止保护部1在取出和装入过程中损坏。
还可以理解，连接件11固定在边框2的相邻的两个边之中的一个边上的固定方式可以是多样的，例如相邻的两个边之中的一个边上包括第三凹槽，连接件11上包括第三凸起，将第三凸起插入第三凹槽中进行固定。或者还可以采用粘贴或者焊接等方式固定，本实用新型对连接件11如何固定在相邻的两个边之中的一个边上不作限定。
图8所示为本实用新型一实施例提供的一种掩膜板保护装置的结构示意图。
如图8所示，该掩膜板保护装置包括至少两个上述实施例中任一所述的掩膜板保护机构，至少两个掩膜板保护机构层叠设置，其中掩膜板12设置在相邻的两个掩膜板保护机构之间。其中掩膜板保护机构包括框体和保护部1，框体设置在保护部1的四周，框体又包括第一框体3和第二框体4，第一框体3设置在第二框体4的一侧，其中第一框体3远离第二框体4的一侧设置有第一凸起5，第二框体4远离第一框体3的一侧设置有磁铁8。将至少两个掩膜板保护机构层叠设置时，相邻的两个掩膜板保护机构中的一个掩膜板保护机构的第二框体4的磁铁8和另一个掩膜板保护机构的第一框体3的第二凸起7相接触后产生磁力，将相邻的两个掩膜板保护机构磁吸在一起，起到了固定作用，防止存放时由于掩膜板保护机构位置的偏移，造成掩膜板的损坏。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.一种掩膜板保护机构，其特征在于，包括：
保护部；以及
边框，设置在所述保护部的四周，构造为支撑所述保护部，所述边框包括：第一框体，与所述第一框体可拆卸连接的第二框体；
其中，所述第一框体包括第二凸起，设置在所述第一框体远离所述第二框体的一侧；
所述第二框体包括磁铁，设置在所述第二框体远离所述第一框体的一侧；
其中，所述第二凸起在所述第二框体上的投影和所述磁铁相重合。
2.根据权利要求1所述的掩膜板保护机构，其特征在于，所述边框与所述保护部相接触的部位设置有缝隙，构造为固定所述保护部，其中所述保护部的四周设置在所述缝隙内。
3.根据权利要求1所述的掩膜板保护机构，其特征在于，所述边框为可拆卸式结构。
4.根据权利要求2所述的掩膜板保护机构，其特征在于，所述第一框体包括第一凸起，设置在所述第一框体与所述第二框体接触的一侧；
所述第二框体包括第一凹槽，设置在所述第二框体与所述第一框体接触的一侧；
其中所述第一凸起插入所述第一凹槽内固定所述第一框体和所述第二框体。
5.根据权利要求1所述的掩膜板保护机构，其特征在于，所述第一框体由多个第一部组成，第二框体由多个第二部组成，其中，一个所述第一部和一个所述第二部组成所述边框的一个边；
其中，所述边框的相邻的两个边之间通过连接件连接。
6.根据权利要求5所述的掩膜板保护机构，其特征在于，所述连接件固定在所述边框的相邻的两个边中的一个边上，所述边框的相邻的两个边的另一个边包括第二凹槽，其中所述连接件插入所述第二凹槽内。
7.根据权利要求2所述的掩膜板保护机构，其特征在于，所述保护部为无尘纸。
8.根据权利要求2所述的掩膜板保护机构，其特征在于，所述边框的材质为塑料；或
所述边框的厚度小于等于3mm。
9.一种掩膜板保护装置，其特征在于，包括至少两个如上述权利要求1-8任一所述的掩膜板保护机构，至少两个所述掩膜板保护机构层叠设置，其中掩膜板设置在相邻的两个所述掩膜板保护机构之间。
技术总结