本发明涉及oled制作技术领域，尤其涉及一种掩膜版组件及其工艺方法、制作功能膜层的工艺方法。
背景技术：
随着oled(organiclight-emittingdiode，即有机发光二极管)技术的发展，oled的应用在显示行业的应用也越来越多。
现有oled屏包括基板、阳极层、有机功能层及阴极层，阳极层、有机功能层及阴极层形成在基板上。在制作异形屏时，阳极层采用真空溅射工艺进行薄膜溅射，有机功能层采用打印工艺进行制作，但是对于阴极层必须采用蒸镀方式进行制作，采用现有的掩膜版(mask)无法制作与具有悬空区的异形屏(如空心d形)对应的阴极层图案。
技术实现要素：
本发明提供一种掩膜版及其工艺方法、制作显示屏中功能膜层的工艺方法，用于解决现有的掩膜版无法制作与具有悬空区的异形屏对应的阴极层图案的问题。
为达到上述目的，本发明实施例采用如下技术方案：
第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜版组件，包括：多个掩膜版，多个所述掩膜版上分别开设有与显示屏的不同区域对应的蒸镀开口、且多个所述掩膜版的蒸镀开口所组成的图案与所述显示屏的图案相同；能够采用掩膜版组件中的多个掩膜版分别对基板进行真空蒸镀，从而解决现有技术的问题。
在本发明一些可能的实施例中，所述掩膜版具有尖角区，所述掩膜版上除尖角区以上的其他区域的厚度为所述掩膜版上尖角区的厚度的2～3倍，能够解决掩膜版的尖角区出现下垂的问题，并降低蒸镀得到的功能膜层在尖角区对应的区域出现阴影问题。
第二方面，本发明实施例还提供了一种制作上述掩膜版组件的工艺方法，包括以下步骤：按照待制作的显示屏的形状，将所述显示屏上的形状分割为多个，获得多个图案；在多个掩膜片上分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀开口，得到多个掩膜版；通过多个掩膜片对基板进行拼接蒸镀，从而实现异形屏上功能膜层的制作。
在本发明一些可能的实施例中，当所述图案具有尖角区时，所述在多个掩膜片上分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀开口，得到多个掩膜版具体包括：在每个所述掩膜片上制作与相应的所述图案相同的蒸镀开口之后，采用化学刻蚀工艺处理所述蒸镀开口的尖角区。
在本发明一些可能的实施例中，所述采用化学刻蚀工艺处理所述蒸镀开口的尖角区具体包括：采用光刻胶将所述掩膜片上距离所述尖角区的边沿5～10mm以上的区域均覆盖；采用刻蚀药液腐蚀所述掩膜片上未被光刻胶附着的区域，得到尖角区的厚度为100μm的掩膜版，以使掩膜版不会出现下垂问题，同时降低采用该掩膜版蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。
第三方面，本发明实施例还提供了一种掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工艺方法，包括以下步骤：采用掩膜版组件中多个掩膜版在基板上分别进行真空蒸镀，以形成显示屏的功能膜层，与上述掩膜版组件的效果相同。
在本发明一些可能的实施例中，所述真空蒸镀的操作具体包括：将所述掩膜版与所述基板上的对准标记对准；将所述掩膜版与所述基板贴合后进行真空蒸镀，保证采用多个掩膜版进行拼接蒸镀后得到的异形屏中功能膜层的精度较高。
第四方面，本发明实施例还提供了一种掩膜版，包括：外周遮挡部，所述外周遮挡部用于遮挡与显示屏的外侧区对应的基板区域；悬空遮挡部，所述悬空遮挡部用于遮挡与所述显示屏的悬空区对应的基板区域，所述悬空遮挡部与所述外周遮挡部之间的间隙形成与所述显示屏的图案对应的蒸镀开口；连接部，所述连接部将所述外周遮挡部与所述悬空遮挡部连接，通过连接部将掩膜版的外周遮挡部和悬空遮挡部的连接，该掩膜版能够对具有悬空区的异形屏所对应的基板上所有非蒸镀区域进行遮挡，从而能够采用该掩膜版在基板上以真空蒸镀方式制作与异形屏图案对应的阴极层。
在本发明一些可能的实施例中，所述连接部为连接线，减少制作阴极层的影响。
在本发明一些可能的实施例中，所述连接部包括多个连接线，多个连接线间隔设置，保证外周遮挡部与悬空遮挡部的连接强度。
在本发明一些可能的实施例中，所述连接线的直径为0.1mm，在保证连接强度基础上，减少连接线对制作阴极层的影响。
在本发明一些可能的实施例中，所述连接线采用abs树脂或殷钢制作，制作工艺较简单，且能够避免连接线对基板划伤，且不易粘附有机材料。
在本发明一些可能的实施例中，所述掩膜版具有尖角区，所述掩膜版上除尖角区以外的其他区域的厚度为所述掩膜版上尖角区的厚度的2～3倍，以使掩膜版不会出现下垂问题，同时降低采用该掩膜版蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例掩膜版组件中一个掩膜版的结构示意图；
图2为本发明实施例掩膜版组件中另一个掩膜版的结构示意图；
图3为通过本发明实施例掩膜版组件在基板上制作d形的功能膜层的结构示意图；
图4为通过本发明实施例掩膜版组件在基板上制作
图5为本发明实施例制作掩膜版组件的工艺方法的流程示意图之一；
图6为本发明实施例制作掩膜版组件的工艺方法的流程示意图之二；
图7为本发明实施例采用掩膜版组件制作来制作显示屏中功能膜层的工艺方法的流程示意图；
图8为本发明实施例掩膜版的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明的描述中，“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
参照图1至图3，本发明实施例掩膜版组件包括多个掩膜版1(也称为mask)，每个掩膜版1上均开设有蒸镀开口11，多个掩膜版1上的蒸镀开口11分别与显示屏的不同区域对应、且多个掩膜版1的蒸镀开口11所组成的图案与显示屏的图案相同。
相较于现有技术，在采用本发明实施例掩膜版组件制作显示屏的功能膜层200时，以显示屏为其内形成有悬空区的异形屏、且功能膜层200为阴极层为例，由于掩膜版组件包括多个掩膜版1，多个掩膜版1上分别开设有与异形屏的不同区域对应的蒸镀开口11，且多个掩膜版1的蒸镀开口11所组成的图案与异形屏的图案相同，可通过合理设计掩膜版1，使掩膜版1上所有掩膜区均连续，每个掩膜版1均能够遮盖与异形屏的外周区、悬空区及部分异形屏的区域对应的基板100，如先采用一个掩膜版1对基板100进行真空蒸镀，在基板100上形成与异形屏的部分区域图案相同的阴极层，之后再采用其他掩膜版1依次在基板100上形成与异形屏的其他部分区域图案相同的阴极层，直至在基板100上形成与异形屏的整个图案相同的阴极层，从而解决现有技术的问题。
需要说明的是：上述显示屏的功能膜层200可为有机功能层、或阴极层，其中，有机功能层既可采用打印工艺制作，也可采用蒸镀工艺制作；而阴极层仅可采用蒸镀工艺制作。因此，本发明实施例的掩膜版组件主要用于蒸镀阴极层，若除阴极层以外的膜层也采用蒸镀工艺制作，则本发明实施例的掩膜版组件也适用。
示例的，上述单个掩膜版1上仅开设与显示屏的局部区域对应的一个蒸镀开口11，即在掩膜版组件中多个掩膜版1上分别开设一个与显示屏的不同局部区域对应的蒸镀开口11。
当然，上述单个掩膜版1上也可开设与显示屏的不同区域对应的多个蒸镀开口11，单个掩膜版1上多个蒸镀开口11所对应的显示屏的多个局部区域的图案相互独立(即多个图案之间具有间距)。
本发明实施例的掩膜版组件采用上述两种掩膜版类型的组合方案有多种，如掩膜版组件由均开设有一个蒸镀开口11的多个掩膜版1组成，以异形屏为d形为例，掩膜版组件由图1中的掩膜版1a和图2中的掩膜版1b组成；又如掩膜版组件由均开设有多个蒸镀开口11的多个掩膜版1组成，又如掩膜版组件由均开设有一个蒸镀开口11的一个或多个掩膜版1、及均开设有多个蒸镀开口11的一个或多个掩膜版1组成。具体可根据实际显示屏的图案复杂度，合理制作相应的掩膜版组件。
若上述蒸镀开口11具有尖角区12，在掩膜版的厚度较薄时，掩膜版的尖角区12容易出现的下垂问题，而在掩膜版的厚度较厚时，采用该掩膜版制作的功能膜层在对应尖角区的区域容易产生较大的阴影问题。因此，在本发明的一些实施例中，上述掩膜版1上除尖角区12以外的其他区域的厚度为掩膜版1上尖角区12的厚度的2～3倍，使得采用该工艺处理后的掩膜版1不会出现下垂问题，同时降低采用该掩膜版1蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。当然，上述蒸镀开口11在尖角区的厚度设计也适用于制作图4中
基于上述掩膜版组件的结构，参照图5，本发明实施例还包括一种制作上述实施例所述的掩膜版组件的工艺方法，包括以下步骤：
步骤s101：按照待制作的显示屏的形状，将显示屏上的形状分割为多个，获得多个图案。
步骤s102：在多个掩膜片上分别制作与多个图案一一对应的蒸镀开口，得到多个掩膜版。即获得掩膜版组件。
根据待制作显示屏的形状复杂度，在考虑蒸镀精度的基础上，合理分割待制作显示屏的形状，使得采用上述工艺制作的掩膜版组件制作显示屏的功能膜层厚度较均匀，且精度较高。
同理，对于上述图案具有尖角区的情况，上述在多个掩膜片上分别制作与多个图案一一对应的蒸镀开口，得到多个掩膜版具体包括：
在每个掩膜片上制作与上述相应的图案相同的蒸镀开口之后，采用化学刻蚀工艺处理每个蒸镀开口的尖角区。
由于采用化学刻蚀工艺进一步处理掩膜片上蒸镀开口的尖角区，能够降低掩膜片的尖角区的厚度，使得采用该工艺处理后的掩膜版1不会出现下垂问题，同时降低采用该掩膜版1蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。
需要说明的是：上述在掩膜片上制作与上述图案相同的蒸镀开口可采用光刻蚀工艺。
考虑到若掩膜版中尖角区的厚度太厚，则采用该工艺处理后的掩膜版在进行蒸镀后，所获得的功能膜层的尖角区厚度低于其他区域，导致功能膜层不均匀；若掩膜版中尖角区的厚度过薄，则掩膜版的尖角区仍会出现的下垂问题。因此，参照图6，本发明实施例的工艺方法中上述采用化学刻蚀工艺处理蒸镀开口的尖角区具体包括：
步骤s201：采用光刻胶将掩膜片上距离尖角区的边沿5～10mm以上的区域均覆盖；
步骤s202：采用刻蚀药液腐蚀上述掩膜片上未被光刻胶附着的区域，得到尖角区的厚度为100μm的掩膜版。
由于为了防止掩膜版的尖角区出现下垂的问题，掩膜版的厚度为200～300μm，上述通过控制刻蚀药液的量、刻蚀时间及反应温度等参数，从而实现得到尖角区(此处的尖角是指距离蒸镀开口的尖角处边沿5～10mm内的区域)的厚度为100μm的掩膜版，即掩膜版上除尖角区以外的其他区域的厚度为掩膜版上尖角区的厚度的2～3倍。
本发明一些可能的实施例为采用掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工艺方法，该工艺方法包括以下步骤：
采用掩膜版组件中多个掩膜版在基板上分别进行真空蒸镀，以形成显示屏的功能膜层。
通过上述工艺方法能够制作异形屏的功能膜层，特别是阴极层，其实现过程与上述相同，此处不再赘述。
为了保证上述蒸镀后显示屏的功能膜层的精度，参照图7，上述真空蒸镀过程包括：
步骤s301：将掩膜版与基板上的对准标记对准。
步骤s302：将掩膜版与基板贴合后进行真空蒸镀。
每个掩膜版通过基板上的对准标记与基板对准后再进行真空蒸镀，能够保证多个掩膜版在基板形成的多个蒸镀图案之间的精度较高。需要说明的是：上述基板设有对准标记，该对准标记可为圆圈形或十字形。
此外，参照图8和图3，本发明实施例包括一种掩膜版1包括外周遮挡部101、悬空遮挡部102及连接部103，其中，外周遮挡部101用于遮挡与显示屏的外侧区对应的基板100区域，悬空遮挡部102用于遮挡与显示屏内形成的悬空区对应的基板100区域，悬空遮挡部102与外周遮挡部101之间的间隙形成与显示屏的形状对应的蒸镀开口11，连接部103将外周遮挡部101与悬空遮挡部102连接。
在采用本发明实施例掩膜版1在基板100上进行真空蒸镀方式来制作异形屏的功能膜层200、且异形屏内形成有悬空区时，由于掩膜版1的连接部103将用于遮挡与显示屏的外侧区对应的基板100区域的外周遮挡部101与用于遮挡与显示屏内形成的悬空区对应的基板100区域的悬空遮挡部102连接，悬空遮挡部102与外周遮挡部101之间的间隙形成与异形屏的形状对应的蒸镀开口11，使得将掩膜版1与基板100对准后进行真空蒸镀，通过该蒸镀开口11制作得到与异形屏形状相同的功能膜层200，从而解决现有技术的问题。
需要说明的是，上述外周遮挡部101和悬空遮挡部102均为掩膜片上的连续掩膜区。考虑到连接部103的面积越大，对蒸镀得到的功能膜层200的影响越大，因此，上述连接部103为连接线。
为保证外周遮挡部101和悬空遮挡部102的连接强度，上述连接部103包括多个连接线，多个连接线间隔分布，多个连接线能够将外周遮挡部101与悬空遮挡部102的不同区域连接，如图8所示，从而外周遮挡部101与悬空遮挡部102不易脱开。
若上述连接线的直径过小，外周遮挡部101和悬空遮挡部102的连接强度较小，外周遮挡部101和悬空遮挡部102容易脱开；若上述连接线的直径过大，容易导致基板100上对应连接线的区域所形成的蒸镀层厚度较薄。因此，本发明实施例中连接线的直径为0.1mm，在保证外周遮挡部101和悬空遮挡部102的连接强度的基础上，降低对基板100上对应连接线的区域所形成的蒸镀层(如阴极层)的影响。
在一些实施例中，上述连接线采用abs(acrylonitrilebutadienestyrene，丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)树脂，abs树脂具有良好的尺寸稳定性、突出的耐冲击性、耐热性、介电性能、耐磨性、表面光泽性好、易涂装和着色等优点，能够避免划伤基板100、且其上不易粘附有机材料。
当上述连接线为abs树脂时，实现连接部103连接外周遮挡部101和悬空遮挡部102的工艺方法为：将连接线进行拉伸，并加热连接线的两端，以将连接线的两端分别与外周遮挡部101、悬空遮挡部102粘结。
在另一些实施例中，连接线采用殷钢制作，由于掩膜片通常为殷钢材料制作，故掩膜版1的外周遮挡部101、悬空遮挡部102及连接部103可采用一体成型制作。
需要说明的是，上述殷钢材料的掩膜版1的工艺制作方法为：在掩膜片上用于形成悬空遮挡部102的区域、用于形成外周遮挡部101对应的区域以及与用于形成连接部103的区域涂布光刻胶，通过化学蚀刻在掩膜片上制作蒸镀开口11。上述化学蚀刻过程中，光刻胶覆盖的部分不会受到刻蚀药液的影响，其他未涂布光刻胶的区域被腐蚀形成蒸镀开口11，在刻蚀过程结束后，将光刻胶从掩膜片上剥离，得到所需的掩膜版1。
同理，若上述掩膜版具有尖角区12，掩膜版1上除尖角区12以外的其他区域的厚度为掩膜版1上尖角区12的厚度的2～3倍，使得采用该工艺处理后的掩膜版1不会出现下垂问题，同时降低采用该掩膜版1蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。
在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括：
多个掩膜版，多个所述掩膜版上分别开设有与显示屏的不同区域对应的蒸镀开口、且多个所述掩膜版的蒸镀开口所组成的图案与所述显示屏的图案相同。
2.一种制作权利要求1所述的掩膜版组件的工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：
按照待制作的显示屏的形状，将所述显示屏上的形状分割为多个，获得多个图案；
在多个掩膜片上分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀开口，得到多个掩膜版。
3.根据权利要求2所述的掩膜版组件的工艺方法，其特征在于，当所述图案具有尖角区时，所述在多个掩膜片上分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀开口具体包括：
在每个所述掩膜片上制作与相应的所述图案相同的蒸镀开口之后，采用化学刻蚀工艺处理所述蒸镀开口的尖角区。
4.根据权利要求3所述的掩膜版组件的工艺方法，其特征在于，所述采用化学刻蚀工艺处理所述蒸镀开口的尖角区具体包括：
采用光刻胶将所述掩膜片上距离所述尖角区的边沿5～10mm以上的区域均覆盖；
采用刻蚀药液腐蚀所述掩膜片上未被光刻胶附着的区域，得到尖角区的厚度为100μm的掩膜版。
5.一种采用权利要求1所述的掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：
采用掩膜版组件中多个掩膜版在基板上分别进行真空蒸镀，以形成显示屏的功能膜层。
6.根据权利要求5所述的掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工艺方法，其特征在于，所述真空蒸镀的操作具体包括：
将所述掩膜版与所述基板上的对准标记对准；
将所述掩膜版与所述基板贴合后进行真空蒸镀。
7.一种掩膜版，其特征在于，包括：
外周遮挡部，所述外周遮挡部用于遮挡与显示屏的外侧区对应的基板区域；
悬空遮挡部，所述悬空遮挡部用于遮挡与所述显示屏的悬空区对应的基板区域，所述悬空遮挡部与所述外周遮挡部之间的间隙形成与所述显示屏的图案对应的蒸镀开口；
连接部，所述连接部将所述外周遮挡部与所述悬空遮挡部连接。
8.根据权利要求7所述的掩膜版，其特征在于，所述连接部为连接线。
9.根据权利要求8所述的掩膜版，其特征在于，所述连接线的直径为0.1mm。
10.根据权利要求8所述的掩膜版，其特征在于，所述连接线采用abs树脂或殷钢制作。
技术总结