湿法除尘装置的制作方法

专利2023-04-08  18



1.本技术涉及湿法除尘技术,尤其涉及一种湿法除尘装置。


背景技术:

2.三氯氢硅是一种应用广泛的有机硅单体,是制造太阳能级与电子级多晶硅以及制造半导体级单晶硅的原料,同时也是多种有机硅合成的基本单体。三氯氢硅由经过粉碎后的工业硅与无水氯化氢在流化床反应器中进行气固相反应得到。
3.主反应为:si+3hcl

sihcl3+h2

4.主要副反应为:si+4hcl

sicl4+2h2

5.由于所述三氯氢硅的合成反应是放热反应,且温度为280摄氏度~300 摄氏度,所以产物为气态混合物,包括:氢气、氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅、硅粉尘和高沸物粉尘,高沸物粉尘的成分是本领域技术人员熟知的除硅粉尘以外的其它副反应的固体颗粒,如金属颗粒等。反应后,将所述气态混合物通入冷凝塔,所述气态混合物中的三氯氢硅、四氯化硅冷凝成液体,其它少量的三氯氢硅、四氯化硅以及大量的氢气、氯化氢和硅以及高沸物粉尘没有被冷凝成液体,未冷凝的气体为三氯氢硅的合成尾气。
6.现有技术中先使用湿法处理合成尾气,所谓湿法就是用液态氯硅烷淋洗所述合成尾气,吸收所述合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘,得到氯硅烷吸收液,再将氯硅烷吸收液通入水解塔中进行后续处理。
7.目前,一般采用在吸收塔内进行气液逆向吸收的方式处理合成尾气,具体为:直接将合成尾气从吸收塔底部通入吸收塔内,吸收塔的顶部向下喷淋液态氯硅烷,液态氯硅烷与合成尾气接触后,液态氯硅烷吸收所述合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘。但是,合成尾气在吸收塔内直接上升,上升速度较快,停留时间短,导致合成尾气与液态氯硅烷接触时间短,液态氯硅烷不能充分吸收合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘。


技术实现要素:

8.本技术提供一种湿法除尘装置,用以解决目前在吸收塔内进行气液逆向吸收合成尾气时,不能充分吸收合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘的问题。
9.本技术提供一种湿法除尘装置,包括吸收塔,所述吸收塔的内部设有多个上下分布且能向下喷液的喷淋器,相邻两个所述喷淋器之间连接有导液管,位于最上方的所述喷淋器连接有进液管;
10.相邻两个所述喷淋器之间和位于最下方的喷淋器下方均设有环形结构的挡流罩,且挡流罩的中空内径小于所述喷淋器的外径;
11.所述吸收塔的下部连接有进气管,所述吸收塔的底部设有排料阀门,所述吸收塔的上端设有排气口。
12.可选的,所有所述喷淋器、所有所述导液管和所述进液管呈同心分布,所述进液管转动并密封连接有与所述吸收塔固定连接的供液管,且所述进液管连接有能带动其转动的驱动机构。
13.可选的,所述驱动机构包括驱动电机,所述驱动电机固定在所述吸收塔上,所述驱动电机通过传动机构与所述进液管连接。
14.可选的,所述喷淋器包括喷淋盘,所述喷淋盘为中空结构,所述喷淋盘的底部连接有多个均匀分布的喷淋头;
15.其中,靠近所述喷淋盘边缘位置的所述喷淋头位于所述挡流罩中空部位的外侧方。
16.可选的,所述喷淋头为雾化喷头。
17.可选的,所述喷淋盘的上部为锥形结构,且锥形结构的小直径端位于其大直径端的上方。
18.可选的,所述挡流罩为圆台形结构,且圆台形结构的小直径端位于其大直径端的下方,圆台形结构的大直径端与所述吸收塔的内壁密封连接。
19.可选的,所述吸收塔上安装有密封门,且所述密封门为透明结构。
20.与现有技术相比,本技术的有益效果为:
21.本技术提供的湿法除尘装置,通过吸收塔内设置多个上下分布且能向下喷液的喷淋器,相邻两个喷淋器之间连接有导液管,位于最上方的喷淋器连接有进液管,以及相邻两个喷淋器之间和位于最下方的喷淋器下方均设有环形结构的挡流罩,且挡流罩的中空面积小于喷淋器的喷淋面积,吸收塔下部连接有进气管,吸收塔底部设有排料阀门,吸收塔上端设有排气口,使得合成尾气从进气管进入吸收塔下部后,在所有喷淋器和所有挡流罩的配合下,合成尾气在吸收塔内自下而上呈弯曲路径流动,进而能够降低合成尾气在吸收塔内的流动速度,以及延长合成尾气在吸收塔内的停留时间,同时所有喷淋器向下喷淋液态氯硅烷,不同高度位置喷出的液态氯硅烷在自上而下流动时与呈弯曲路径向上流动的合成尾气能够充分接触,从而能够提高合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘的吸收效果。
附图说明
22.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本技术实施例提供的湿法除尘装置的主视结构示意图;
24.图2为本技术实施例提供的湿法除尘装置的局部主视剖面结构示意图;
25.图3为图2的a区域放大结构示意图;
26.图4为本技术实施例提供的湿法除尘装置的局部侧视结构示意图。
27.附图标记说明:吸收塔1、导液管2、进液管3、挡流罩4、进气管5、排料阀门6、排气口7、供液管8、密封门9;
28.喷淋器10、喷淋盘11、喷淋头12;
29.驱动机构13、驱动电机14、传动机构15。
具体实施方式
30.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,也属于本技术保护的范围。
31.如图1-图4所示,本技术一实施例提供的湿法除尘装置,包括吸收塔1,所述吸收塔1的内部设有多个上下等距分布且能向下喷液的喷淋器10,相邻两个所述喷淋器10之间连接有导液管2,位于最上方的所述喷淋器10 连接有进液管3。
32.相邻两个所述喷淋器10之间和位于最下方的喷淋器10下方均设有环形结构的挡流罩4,且挡流罩4的中空外径小于所述喷淋器10的外径。
33.其中,挡流罩4与吸收塔1的内壁密封并固定连接。
34.所述吸收塔1的下部连接有进气管5,所述吸收塔1的底部安装有排料阀门6,所述吸收塔1的上端安装有排气口7。
35.使用时,进气管5与合成尾气输送管连接,进液管3与液态氯硅烷供应设备连接。
36.合成尾气从尾气输送管通过进气管5进入吸收塔1的下部,同时液态氯硅烷供应设备向所有喷淋器10供入液态氯硅烷,所有喷淋器10向下喷淋液态氯硅烷,其中,合成尾气在吸收塔1内自上而下呈弯曲路径流动,具体为:合成尾气进入合成塔内下部后,先流向最下方挡流罩4的中部位置,并通过最下方的挡流罩4中部位置,由于最下方的挡流罩4上方设有喷淋器10,因此,合成尾气通过最下方的挡流罩4中部位置后,向在最下方的挡流罩4上方向四周扩散,接着合成尾气向下一挡流罩4中部位置流动,以此实现合成尾气在吸收塔1内自上而下呈弯曲路径流动的效果。呈弯曲路径向上流动的合成尾气与不同高度位置喷出的液态氯硅烷在自上而下流动时接触,液态氯硅烷吸收合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘,形成氯硅烷吸收液,氯硅烷吸收液最终落入吸收塔1的底部,并通过排料阀门6,以及排料阀门6连接的输送管路通入水解塔中进行后续处理,而被液态氯硅烷吸收后的合成尾气从排气口7排出进行后续处理。
37.本技术提供的湿法除尘装置,通过吸收塔1内设置多个上下分布且能向下喷液的喷淋器10,相邻两个喷淋器10之间连接有导液管2,位于最上方的喷淋器10连接有进液管3,以及相邻两个喷淋器10之间和位于最下方的喷淋器10下方均设有环形结构的挡流罩4,使合成尾气在吸收塔1 内自下而上呈弯曲路径流动,且挡流罩4的中空面积小于喷淋器10的喷淋面积,使得合成尾气从进气管5进入吸收塔1下部后,合成尾气在吸收塔1内自下而上呈弯曲路径流动,进而能够降低合成尾气在吸收塔1内的流动速度,以及延长合成尾气在吸收塔1内的停留时间,而且所有喷淋器 10从不同高度位置喷出的液态氯硅烷,进而能使液态氯硅烷与合成尾气能够充分接触,从而提高了合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘的吸收效果。
38.为了提高液态氯硅烷的喷淋效果,进一步提高液态氯硅烷与合成尾气的接触效果,在本技术的一些实施例中,所有所述喷淋器10、所有所述导液管2和所述进液管3呈同心分布,所述进液管3的上端通过旋转接头转动并密封连接有与所述吸收塔1固定连接的供液
管8,且所述进液管3连接有能带动其转动的驱动机构13。供液管8与液态氯硅烷供应设备连接。
39.使用时,驱动机构13带动进液管3转动,进液管3带动与其连接的喷淋器10转动,该喷淋器10通过和其连接的导液管2带动其下方的喷淋器10转动,以此实现所有喷淋器10同步转动,每个喷淋器10在转动的同时向下喷淋液态氯硅烷,能够提高液态氯硅烷与合成尾气的接触效果。
40.在本技术的一些实施例中,所述驱动机构13包括驱动电机14,所述驱动电机14固定在所述吸收塔1上,所述驱动电机14通过传动机构15 与所述进液管3连接。
41.在本实施例中,传动机构15采用带传动机构15或链传动机构15。
42.在本技术的一些实施例中,所述喷淋器10包括喷淋盘11,所述喷淋盘11为中空结构,喷淋盘11的外径大于挡流罩4的中空内径,喷淋盘 11与所有所述导液管2和所述进液管3呈同心分布,所述喷淋盘11的底部连接有多个均匀分布的喷淋头12。
43.在本技术的一些实施例中,所述喷淋头12为雾化喷头。
44.为了保证氯硅烷吸收液顺利下流,在本技术的一些实施例中,所述喷淋盘11的上部为锥形结构,且锥形结构的小直径端位于其大直径端的上方。
45.为了保证氯硅烷吸收液顺利下流,在本技术的一些实施例中,所述挡流罩4为圆台形结构,且圆台形结构的小直径端位于其大直径端的下方,圆台形结构的大直径端与所述吸收塔1的内壁密封连接。
46.为了便于观察喷淋头12是否出现故障,在本技术的一些实施例中,所述吸收塔1上安装有密封门9,且所述密封门9为透明结构。
47.最后应说明的是,以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解;其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。

技术特征:
1.一种湿法除尘装置,包括吸收塔(1),其特征在于:所述吸收塔(1)的内部设有多个上下分布且能向下喷液的喷淋器(10),相邻两个所述喷淋器(10)之间连接有导液管(2),位于最上方的所述喷淋器(10)连接有进液管(3);相邻两个所述喷淋器(10)之间和位于最下方的喷淋器(10)下方均设有环形结构的挡流罩(4),且挡流罩(4)的中空内径小于所述喷淋器(10)的外径;所述吸收塔(1)的下部连接有进气管(5),所述吸收塔(1)的底部设有排料阀门(6),所述吸收塔(1)的上端设有排气口(7)。2.根据权利要求1所述的湿法除尘装置,其特征在于:所有所述喷淋器(10)、所有所述导液管(2)和所述进液管(3)呈同心分布,所述进液管(3)转动并密封连接有与所述吸收塔(1)固定连接的供液管(8),且所述进液管(3)连接有能带动其转动的驱动机构(13)。3.根据权利要求2所述的湿法除尘装置,其特征在于:所述驱动机构(13)包括驱动电机(14),所述驱动电机(14)固定在所述吸收塔(1)上,所述驱动电机(14)通过传动机构(15)与所述进液管(3)连接。4.根据权利要求2所述的湿法除尘装置,其特征在于:所述喷淋器(10)包括喷淋盘(11),所述喷淋盘(11)为中空结构,所述喷淋盘(11)的底部连接有多个均匀分布的喷淋头(12);其中,靠近所述喷淋盘(11)边缘位置的所述喷淋头(12)位于所述挡流罩(4)中空部位的外侧方。5.根据权利要求4所述的湿法除尘装置,其特征在于:所述喷淋头(12)为雾化喷头。6.根据权利要求4所述的湿法除尘装置,其特征在于:所述喷淋盘(11)的上部为锥形结构,且锥形结构的小直径端位于其大直径端的上方。7.根据权利要求1所述的湿法除尘装置,其特征在于:所述挡流罩(4)为圆台形结构,且圆台形结构的小直径端位于其大直径端的下方,圆台形结构的大直径端与所述吸收塔的内壁密封连接。8.根据权利要求1-7任一项所述的湿法除尘装置,其特征在于:所述吸收塔(1)上安装有密封门(9),且所述密封门(9)为透明结构。

技术总结
本申请提供一种湿法除尘装置,包括吸收塔,所述吸收塔的内部设有多个上下分布且能向下喷液的喷淋器,相邻两个所述喷淋器之间连接有导液管,位于最上方的所述喷淋器连接有进液管,相邻两个所述喷淋器之间和位于最下方的喷淋器下方均设有环形结构的挡流罩,且挡流罩的中空内径小于所述喷淋器的外径,所述吸收塔的下部连接有进气管,所述吸收塔的底部设有排料阀门,所述吸收塔的上端设有排气口。本申请能够降低合成尾气在吸收塔内的流动速度,以及延长合成尾气在吸收塔内的停留时间,进而能够提高合成尾气中的氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅以及少量的氢气,沉降固体硅粉尘和高沸物粉尘的吸收效果。吸收效果。吸收效果。


技术研发人员:蒋晓 张承超 张蕤 李长亭 蒋纪迎
受保护的技术使用者:阿拉善达康硅业有限公司
技术研发日:2022.08.16
技术公布日:2022/12/1
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