1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种线槽组件以及电控模组。
背景技术：2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，随着科技的发展，用于半导体镀膜的设备也在趋于更加智能化发展。半导体镀膜设备中通常会用到电机、电磁阀和烘烤照明等终端设备。但是通常用于控制这些终端设备的元器件杂乱无章的摆放，并且与元器件电连接的电线错中复杂，使得维修元器件时十分不便。
技术实现要素：3.本实用新型的实施例提供一种线槽组件，使得元器件能够有序排列，解决了以往半导体镀膜设备中元器件维修不便的问题。
4.为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：
5.一方面，本实用新型实施例提供一种线槽组件，该线槽组件包括底板和多个走线槽，其中，底板具有安装面，安装面具有第一方向和与第一方向垂直的第二方向。一部分走线槽沿着安装面的第一方向设置，另一部分走线槽沿着第二方向间隔设置，多个走线槽将安装面隔离成多个安装位，多个安装位用于安装多个元器件。
6.其中，走线槽包括第一面板和两个第二面板，第一面板的一板面与安装面贴合相连。两个第二面板并列设置于第一面板远离安装面一侧，且第一面板和两个第二面板围成u型用于供与元器件相连的电线穿过。
7.本实用新型实施例提供一种线槽组件，元器件安装在线槽组件内底板的安装面上，该底板可以用于承载元器件。多个走线槽将安装面隔离成多个安装位，从而元器件可以对应安装在合适的安装位上，元器件以此可以有序的安装在底板上。
8.此外，由于走线槽一部分沿着第一方向设置，另一部分沿着第二方向设置，这样一来，与元器件电连接的电线可以沿着横纵交错的走线槽进行有序的走线，不会杂乱排布。由于元器件和电线有序的排列使得在维修时能够方便的查找元器件和电线，第一面板和两个第二面板围成u型可以对电线进行限位，从而防止电线跑出走线槽。
9.进一步地，第二面板具有第一端和第二端，其中，第一端与第一面板相连，第二端开设有过线开口用于供电线穿过。
10.进一步地，过线开口包括一字形开口和与一字形开口相连通的椭圆形开口，其中，一字形开口位于椭圆形开口远离第一端的一侧，椭圆形开口用于供电线穿过。
11.进一步地，线槽组件还包括盖板，该盖板盖设于走线槽上，且与走线槽卡接，盖板与走线槽形成容纳腔用于容纳电线。
12.进一步地，第一方向设置的走线槽与第二方向设置的走线槽在交叉处形成第一t字型槽或者第一l型槽；
13.线槽组件还包括t型转接件和l型转接件，其中，t型转接件开设有第二t字型槽，t
型转接件安装于第一t字型槽处，且第二t字型槽用于容置电线。l型转接件开设有第二l字型槽，l型转接件安装于第二l字型槽处，且第二l字型槽用于容置电线。
14.另一方面，本实用新型实施例还提供一种电控模组，包括上述任一技术方案提及的线槽组件、多个元器件和电线。多个元器件包括控制器、驱动器、继电器模组和接线端子。其中，驱动器和继电器模组的输入端均通过电线与控制器电连接。驱动器和继电器模组的输出端均通过电线与接线端子电连接，接线端子还用于与终端设备电连接。
15.本实用新型实施例提供的一种电控模组，与上述实施例提供的线槽组件能够获得相同的技术效果，此处不再赘述。
16.进一步地，电控模组还包括多个固定板，多个固定板设置于安装位处，且固定板一板面与底板相连，固定板远离底板的一侧与元器件卡接。
17.进一步地，电控模组还包括至少两个限位件，至少两个限位件与固定板卡接。一个元器件位于两个限位件之间，且与限位件抵接。
18.进一步地，限位件包括限位本体、第一卡接部、第二卡接部和螺纹连接件，其中，第一卡接部一端与限位本体相连，另一端与固定板卡接。第二卡接部一端均与限位本体相连，另一端均与固定板卡接。
19.螺纹连接件穿过限位本体与第二卡接部抵接，从而使得第二卡接部的一部分与固定板贴合。
附图说明
20.图1为本实用新型实施例提供的一种电控模组示意图；
21.图2为本实用新型实施例提供的一种电控模组内器件之间的电连接示意图；
22.图3为本实用新型实施例提供的另一种电控模组示意图；
23.图4为本实用新型实施例提供的另一种电控模组示意图；
24.图5为本实用新型实施例提供的另一种电控模组示意图；
25.图6为本实用新型实施例提供的限位件和固定板连接示意图；
26.图7为本实用新型实施例提供的图3中的a-a方向剖视示意图；
27.图8为本实用新型实施例提供的第一面板和第二面板连接示意图；
28.图9为本实用新型实施例提供的第一t字型槽和t型转接件连接俯视示意图；
29.图10为本实用新型实施例提供的l型转接件和第一l型槽连接俯视示意图；
30.图11为本实用新型实施例提供的第一t字型槽和电线连接示意图；
31.图12为本实用新型实施例提供的第一t字型槽、t型转接件和电线连接示意图；
32.图13为本实用新型实施例提供的图12加装盖板后示意图。
具体实施方式
33.下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。
34.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用
新型的限制。
35.术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
36.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.半导体镀膜设备在对半导体镀膜时，需要用到电机、电磁阀和烘烤照明等终端设备，用于控制终端设备运转的元器件1通常安装在设备内部，但是元器件1的安装位411置不固定，从而导致维修元器件1时不便。
38.本实用新型实施例提供一种电控模组100，如图1所示，该电控模组100可以包括多个元器件1和电线2。多个元器件1可以包括控制器11、驱动器12、继电器模组13和接线端子14等。其中，该控制器11可以包括simatic s7-200、emae04控制器11、西门子cpu中央处理器st40等。驱动器12可以为通用型闭环步进驱动器12cl86c v2.0。继电器模组13品牌可以为omron欧姆龙，型号选择qx-16a2r10。本技术对上述多个元器件1种类和型号均不作限定，也可以根据需求进行选择。接线端子14可以分为：欧式接线端子系列、 插拔式接线端子系列、变压器接线端子、栅栏式接线端子系列、弹簧式接线端子系列、轨道式接线端子系列和光电耦合型接线端子系列等。本技术可以选择弹簧式接线端子系列。
39.具体地，驱动器12和继电器模组13的输入端均通过电线2与控制器11电连接。驱动器12和继电器模组13的输出端均通过电线2与接线端子14电连接，接线端子14还用于与终端设备电连接。为实现人机交互，如图2所示，在本技术的一些实施例中还可以包括组态屏幕3，组态屏幕3与控制器11相连。这样一来，通电后，用户可以通过组态屏幕3进行操作设置运行参数，数据传输给控制器11，控制器11根据设置的参数执行对应的控制指令，驱动器12接收到控制指令对电机运行进行控制。继电器模组13接收到控制指令对电磁阀和烘烤照明等运行进行控制。
40.该电控模组100还可以包括如图3所示的线槽组件4，该线槽组件4可以包括底板41和多个走线槽42，其中，底板41具有安装面，安装面具有第一方向x和与第一方向x垂直的第二方向y。一部分走线槽42沿着安装面的第一方向x设置，另一部分走线槽42沿着第二方向y间隔设置，多个走线槽42将安装面隔离成多个安装位411，多个安装位411用于安装多个元器件1（这里元器件1指代控制器11、驱动器12、继电器模组13和接线端子14等中的一种，后续不再赘述）。如图3可知，第一方向x的走线槽42为三个，第二方向y的走线槽为三个，将安装面隔离成三个安装位411。
41.在此情况下，元器件1安装在线槽组件4内底板41的安装面上，该底板41可以用于承载元器件1。多个走线槽42将安装面隔离成多个安装位411，从而元器件1可以对应安装在合适的安装位411上，元器件1以此可以有序的安装在底板41上，更加方便对元器件1的维修。
42.为使得元器件1能够牢固的固定在底板41上，在本技术的一些实施例中，该电控模组100还可以包括如图4所示的多个固定板5，多个固定板5设置于安装位411处，且固定板5一板面与底板41相连，固定板5远离底板41的一侧与元器件1卡接。
43.这样一来，如图4所示，安装元器件1时，可以将元器件1卡接在固定板5上，固定板5可以通过螺丝固定在底板41上，在此情况下，不仅可以使得元器件1进行分类固定，而且可以使得元器件1能够方便拆卸，便于维修。
44.为进一步加固元器件1在底板41上的牢固程度，在本技术的一些实施例中，该电控模组100还可以包括如图5所示的至少两个限位件6，至少两个限位件6与固定板5卡接。一个元器件1位于两个限位件6之间，且与限位件6抵接。
45.在此情况下，两个限位件6可以对元器件1进行进一步夹紧，使得半导体镀膜设备在运行时，元器件1也不会由于振动掉落。限位件6搭配固定板5可以使得元器件1可以牢固的固定在所需位置，防止移位，并且方便拆卸维修。
46.以下对上述提及的限位件6结构进行举例说明，例如，在本技术的一些实施例中，如图6所示，该限位件6可以包括限位本体61、第一卡接部62、第二卡接部63和螺纹连接件64，其中，第一卡接部62一端与限位本体61相连，另一端与固定板5卡接。第二卡接部63一端均与限位本体61相连，另一端均与固定板5卡接。螺纹连接件64穿过限位本体61与第二卡接部63抵接，从而使得第二卡接部63的一部分与固定板5贴合。
47.在此情况下，如图6所示，固定板5上具有与第一卡接部62和第二卡接部63相匹配的结构，并且，第一卡接部62和第二卡接部63可以在外力的作用下发生一定形变。安装限位件6时，可以对限位件6的第一卡接部62和第二卡接部63施加外力，使得第一卡接部62和第二卡接部63可以卡接在固定板5上。这样一来，当限位件6卡接在固定板5上时，与第一卡接部62和第二卡接部63相连的限位本体61可以对元器件1进行一定的限位。
48.以下对上述提及的走线槽42结构进行举例说明，例如，在本技术的一些实施例中，如图7所示，该走线槽42可以包括第一面板421和两个第二面板422，第一面板421的一板面与固定板5的安装面贴合相连。两个第二面板422并列设置于第一面板421远离安装面一侧，且第一面板421和两个第二面板422围成u型用于供与元器件1相连的电线2穿过。
49.这样一来，由于一部分走线槽42沿着第一方向x设置，另一部分沿着第二方向y设置，在此情况下，与元器件1电连接的电线2可以沿着横纵交错的走线槽42进行有序的走线，不会杂乱排布。由于元器件1和电线2有序的排列使得在维修时能够方便的查找元器件1和电线2，第一面板421和两个第二面板422围成u型可以对电线2进行限位，从而防止电线2跑出走线槽42。此外，可以将电线2隔离开防止触电。
50.以下对上述提及的第二面板422结构进行举例说明，例如，在本技术的一些实施例中，如图8所示，该第二面板422可以具有第一端和第二端，其中，第一端与第一面板421相连，第二端开设有过线开口4221用于供电线2穿过。
51.在此情况下，与元器件1电连接的电线2可以通过过线开口4221进行穿插，若没有该开口，电线2需要在第二面板422上跨过，从而电线2需要翘起一定高度，不仅浪费电线2，而且不美观。
52.以下对上述提及的过线开口4221结构进行举例说明，例如，在本技术的一些实施例中，如图8所示，该过线开口4221可以包括一字形开口42211和与一字形开口42211相连通
的椭圆形开口42212，其中，一字形开口42211位于椭圆形开口42212远离第一端的一侧，椭圆形开口42212用于供电线2穿过。
53.这样一来，穿插电线2时，如图8所示，用户可以对一字形开口42211处施加外力，掰开一字形开口42211，使得一字形开口42211处产生形变露出较大的开口范围，而后将电线2放置在椭圆形开口42212内，此时，用户松开一字形开口42211恢复形变后将电线2限制在椭圆形开口42212内，在此情况下，一字形开口42211和椭圆形开口42212的配合不仅可以对电线2进行一定的限位固定，而且可以使得电线2露出的部分更加美观。
54.在本技术的一些实施例中，如图9和图10所示，第一方向x设置的走线槽42与第二方向y设置的走线槽42在交叉处形成第一t字型槽423或者第一l型槽424（在本技术的另一些实施例中也可以为十字型槽，此处不再列举）。该线槽组件4还包括可以t型转接件43和l型转接件44，其中，t型转接件43开设有第二t字型槽431，t型转接件43安装于第一t字型槽423处，且第二t字型槽431用于容置电线2。l型转接件44开设有第二l字型槽，l型转接件44安装于第二l字型槽处，且第二l字型槽用于容置电线2。
55.在此情况下，如图11所示，以下以第一t字型槽423举例进行说明，在本技术的一些实施例中，第一方向x设置的走线槽42与第二方向y设置的走线槽42在交叉处（转角处）形成第一t字型槽423。通常在整个走线槽42的边角处形成第一l型槽424，其余位置形成第一t字型槽423或十字型槽。由于第一方向x和第二方向y的走线槽42并非一个整体结构，因此，走线槽42在交叉处会存在一定的间隔，两个方向的侧壁之间具有间隙。这样一来，该转角处的机械强度就会相对较弱。当电线2较多时，可能会在转角处发生偏移，从而影响电线2的限位。因此，如图12所示， t型转接件43可以分别对第一t字型槽423进行加固，并且电线2可以在第二t字型槽431内进行走线。
56.为使得电线2能够进一步稳固，在本技术的一些实施例中，该线槽组件4还可以包括如图13所示的盖板45，该盖板45盖设于走线槽42上，且与走线槽42卡接，盖板45与走线槽42形成容纳腔用于容纳电线2，与将电线2与外部隔离开防止用户触电。
57.这样一来，当电线2安装完成后，可以将盖板45盖合在走线槽42的上方，从而使得电线2在容纳腔内，盖板45可以对电线2进行进一步限位，还可以防止灰尘等颗粒物进入到容纳腔内，从而影响电线2的使用。
58.在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
59.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
技术特征：1.一种线槽组件，其特征在于，包括：底板，具有安装面，所述安装面具有第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向；多个走线槽，一部分所述走线槽沿着所述安装面的所述第一方向设置，另一部分所述走线槽沿着所述第二方向间隔设置，所述多个走线槽将所述安装面隔离成多个安装位，所述多个安装位用于安装多个元器件；其中，所述走线槽包括：第一面板，一板面与所述安装面贴合相连；两个第二面板，并列设置于所述第一面板远离所述安装面一侧，且所述第一面板和两个第二面板围成u型用于供与所述元器件相连的电线穿过。2.根据权利要求1所述的一种线槽组件，其特征在于，所述第二面板具有第一端和第二端，其中，所述第一端与所述第一面板相连，所述第二端开设有过线开口用于供所述电线穿过。3.根据权利要求2所述的一种线槽组件，其特征在于，所述过线开口包括一字形开口和与所述一字形开口相连通的椭圆形开口，其中，所述一字形开口位于所述椭圆形开口远离所述第一端的一侧，所述椭圆形开口用于供所述电线穿过。4.根据权利要求1~3任一项所述的一种线槽组件，其特征在于，所述线槽组件还包括：盖板，盖设于所述走线槽上，且与所述走线槽卡接，所述盖板与所述走线槽形成容纳腔用于容纳所述电线。5.根据权利要求1~3任一项所述的一种线槽组件，其特征在于，所述第一方向设置的走线槽与所述第二方向设置的走线槽在交叉处形成第一t字型槽或者第一l型槽；所述线槽组件还包括：t型转接件，开设有第二t字型槽，所述t型转接件安装于所述第一t字型槽处，且所述第二t字型槽用于容置所述电线；l型转接件，开设有第二l字型槽，所述l型转接件安装于所述第二l字型槽处，且所述第二l字型槽用于容置所述电线。6.一种电控模组，其特征在于，包括权利要求1~5任一项所述的线槽组件、多个元器件和电线；所述多个元器件包括控制器、驱动器、继电器模组和接线端子；其中，所述驱动器和继电器模组的输入端均通过所述电线与所述控制器电连接；所述驱动器和继电器模组的输出端均通过所述电线与所述接线端子电连接，所述接线端子还用于与终端设备电连接。7.根据权利要求6所述的一种电控模组，其特征在于，所述电控模组还包括：多个固定板，设置于所述安装位处，且所述固定板一板面与所述底板相连，所述固定板远离所述底板的一侧与所述元器件卡接。8.根据权利要求7所述的一种电控模组，其特征在于，所述电控模组还包括：至少两个限位件，与所述固定板卡接；一个所述元器件位于所述两个限位件之间，且与所述限位件抵接。9.根据权利要求8所述的一种电控模组，其特征在于，所述限位件包括：限位本体；第一卡接部，一端与所述限位本体相连，另一端与所述固定板卡接；
第二卡接部，一端均与所述限位本体相连，另一端均与所述固定板卡接；螺纹连接件，穿过所述限位本体与所述第二卡接部抵接，从而使得所述第二卡接部的一部分与所述固定板贴合。
技术总结本实用新型公开一种线槽组件以及电控模组，半导体技术领域，为解决电线和元器件杂乱摆放不易维修的问题。该线槽组件包括底板和多个走线槽，其中，底板具有安装面，安装面具有第一方向和与第一方向垂直的第二方向。一部分走线槽沿着安装面的第一方向设置，另一部分走线槽沿着第二方向间隔设置，多个走线槽将安装面隔离成多个安装位，多个安装位用于安装多个元器件。其中，走线槽包括第一面板和两个第二面板，第一面板的一板面与安装面贴合相连。两个第二面板并列设置于第一面板远离安装面一侧，且第一面板和两个第二面板围成U型用于供与元器件相连的电线穿过。本实用新型用于对电线和元器件进行限位。元器件进行限位。元器件进行限位。
技术研发人员：冯永旭 郭垒 吴煦 蔡豫 梁家禄 孙铁帅
受保护的技术使用者：鹏城半导体技术（深圳）有限公司
技术研发日：2022.08.17
技术公布日：2022/12/1
