1.本实用新型涉及半导体芯片分析技术领域，特别涉及一种钉台。
背景技术：2.现阶段对半导体芯片内部结构的分析研究，均离不开扫描电子显微镜的观察。扫描电子显微镜因其利用聚焦的很窄的高能电子束来轰击样品，通过电子束与样品的相互作用，激发出各种包含样品的物理信息，能够观察到几何分辨率可达到或优于纳米级的样品微区形貌，在半导体芯片内部结构分析中起到重要的作用。而扫描电子显微镜观察前样品的制备好坏，直接影响观察的速度与效果。
3.在芯片结构观察中，通常需要制备表面样品与截面样品，表面样品的制备较为简单，但是截面样品的制备存在一定难度。对于大面积芯片截面样品，用现有的截面样品夹具，在制备过程中通过固定螺丝夹紧两块铝块，制备效果上还能接受。
4.但是对于小面积芯片截面样品，用现有的截面样品夹具，在操作过程中无法避免的会出现样品倾斜的情况，在扫描电镜中观察时，需要倾斜样品台以弥补样品台出现的倾斜，这些弥补性的操作，往往会带来操作时间的增加，且往往会影响观察质量，大大加大了观察分析成本。针对以上问题，以下提出一种解决方案。
技术实现要素：5.本实用新型的目的是提供一种钉台，具有能够方便芯片截面样品制备，保证芯片截面样品保持垂直状态，不发生倾斜，在扫描电子显微镜观察中，提高观察效率与质量，节约成本，降低对实验人员操作要求的优点。
6.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
7.一种钉台，包括插接部、夹持部和台面部，所述夹持部位于台面部的下端面，且与台面部固定连接，所述插接部与夹持部可拆卸连接，所述插接部用于固定在扫描电子显微镜上，所述台面部包括圆台，所述圆台的上端面设有长方体凹槽，所述长方体凹槽用于放置芯片，所述圆台上对称的设有两个限位螺丝，两个所述限位螺丝分别位于长方体凹槽的两端，所述限位螺丝的一端贯穿圆台的侧壁，且位于长方体凹槽内，所述限位螺丝与圆台螺纹连接，两个所述限位螺丝用于固定芯片，以使芯片保持垂直状态，所述圆台上还设有固定螺丝，所述固定螺丝的一端贯穿圆台，且位于长方体凹槽内，所述固定螺丝与圆台螺纹连接，所述固定螺丝用于固定芯片。
8.作为优选，所述圆台的直径为10-13mm，所述圆台的高度为3-5mm，所述长方体凹槽的深度为3-5mm，所述长方体凹槽的长度为7-10mm，所述长方体凹槽的宽度为2-3mm。
9.作为优选，所述夹持部的外缘上设有夹持凹槽，所述夹持凹槽用于使弯头镊子进行夹持。
10.作为优选，所述夹持凹槽的外围直径为12mm，所述夹持凹槽的内圈直径为9mm，所述夹持凹槽的高度为2-3mm。
11.作为优选，所述插接部包括长形圆柱，所述长形圆柱的一端设有外螺纹，所述夹持部的下端面设有螺纹孔，所述长形圆柱与夹持部螺纹连接。
12.作为优选，所述长形圆柱的直径为1-3mm，所述长形圆柱的长度为6-8mm。
13.本实用新型的有益效果为：在匹配现有的9孔样品台的同时，通过长方体凹槽内三个方向上限位螺丝和固定螺丝进行限位与固定，可简单方便的进行芯片截面样品的制备，尤其是小面积截面样品，保证芯片截面样品保持垂直状态，不发生倾斜，在扫面电子显微镜观察中，提高观察效率与质量，节约成本，降低对实验人员操作要求。
附图说明
14.图1为本实用新型扫描电子显微镜观察芯片截面样品用钉台整体示意图。
15.图2为本实用新型扫描电子显微镜观察芯片截面样品用钉台正视图示意图。
16.图3为本实用新型扫描电子显微镜观察芯片截面样品用钉台侧视图示意图。
17.图4为本实用新型扫描电子显微镜观察芯片截面样品用钉台俯视图示意图。
18.附图标记：1、长形圆柱；2、夹持凹槽；3、圆台；4、限位螺丝；5、固定螺丝；6、长方体凹槽。
具体实施方式
19.以下所述仅是本实用新型的优选实施方式，保护范围并不仅局限于该实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案应当属于本实用新型的保护范围。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底部”和“顶部”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
20.如图1至图4所示，一种钉台，包括插接部、夹持部和台面部。钉台使用于扫描电子显微镜观察芯片截面时，对芯片的固定。台面部包括圆台3，圆台3的上端面设有长方体凹槽6，需要观察的芯片放置于长方体凹槽6内。圆台3的直径为10-13mm，圆台3的高度为3-5mm，长方体凹槽6的深度为3-5mm，长方体凹槽6的长度为7-10mm，长方体凹槽6的宽度为2-3mm，长方体凹槽6的尺寸均在圆台3的尺寸范围内。
21.圆台3上对称的设有两个限位螺丝4，两个限位螺丝4分别位于长方体凹槽6的两端，限位螺丝4的一端贯穿圆台3的侧壁，且位于长方体凹槽6内。限位螺丝4与圆台3螺纹连接，通过转动限位螺丝4，可以调节限位螺丝4伸入到长方体凹槽6内的长度，通过两个限位螺丝4配合，可以将放置于长方体凹槽6内的芯片两侧抵接，并使芯片保持垂直状态。
22.圆台3上还设有固定螺丝5，固定螺丝5的一端贯穿圆台3，且位于长方体凹槽6内，固定螺丝5与圆台3螺纹连接。芯片放置于长方体凹槽6内时，芯片的一侧会抵在长方体凹槽6的侧壁上。转动固定螺丝5可以将芯片的另一侧抵紧，使得芯片被固定在长方体凹槽6内部。
23.夹持部位于台面部的下端面，且与台面部固定连接，夹持部的外缘上设有夹持凹槽2。通过弯头镊子夹持在夹持凹槽2处，可以实现对钉台的取放。夹持凹槽2的外围直径为12mm，夹持凹槽2的内圈直径为9mm，夹持凹槽2的高度为2-3mm。夹持凹槽2的尺寸适配于对其进行夹持的弯头镊子的尺寸。
24.插接部与夹持部可拆卸连接，插接部包括长形圆柱1，长形圆柱1的一端设有外螺纹，夹持部的下端面设有螺纹孔，长形圆柱1与夹持部螺纹连接。长形圆柱1的直径为1-3mm，长形圆柱1的长度为6-8mm，长形圆柱1的尺寸与扫描电子显微镜的9孔样品台适配。长形圆柱1插接于扫描电子显微镜的样品台上，使得钉台整体固定在扫描电子显微镜的样品台处，便于对芯片进行观察。
25.本方案中的钉台各个部件所用到的材质均为导电材料，如铝、铜等。
26.工作原理：以准备长*宽*厚为4*4*1mm芯片截面样品为例：
27.在直径3mm，长度6mm的长形圆柱1脱离钉台的情况下，将钉台平放于桌面上；
28.将芯片放于直径12mm，高度4mm圆台3的长方体凹槽6内，其中凹槽深3mm，长7mm，宽3mm，与芯片的厚度对应；先旋转两颗限位螺丝4将芯片保持垂直状态，再旋转固定螺丝5将芯片固定在凹槽内；
29.用弯头镊子夹紧与长方体凹槽6圆台3为一体的夹持凹槽2，其中凹槽外圈直径12mm，内圈直径9mm，整体高度2mm，并旋上长形圆柱1；
30.将完整的钉台放入9孔样品台固定孔内，并旋转样品台内置螺丝固定钉台，最终完成芯片截面样品的制备，可以放入扫描电子显微镜观察截面结构。
31.本实施例的扫描电子显微镜观察芯片截面样品用钉台可方便芯片截面样品制备，保证芯片截面样品保持垂直状态，不发生倾斜，在扫描电子显微镜观察中，提高观察效率与质量，节约成本，降低对实验人员操作要求。
32.以上所述的具体实施例，对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：1.一种钉台，包括插接部、夹持部和台面部，其特征在于，所述夹持部位于台面部的下端面，且与台面部固定连接，所述插接部与夹持部可拆卸连接，所述插接部用于固定在扫描电子显微镜上，所述台面部包括圆台(3)，所述圆台(3)的上端面设有长方体凹槽(6)，所述长方体凹槽(6)用于放置芯片，所述圆台(3)上对称的设有两个限位螺丝(4)，两个所述限位螺丝(4)分别位于长方体凹槽(6)的两端，所述限位螺丝(4)的一端贯穿圆台(3)的侧壁，且位于长方体凹槽(6)内，所述限位螺丝(4)与圆台(3)螺纹连接，两个所述限位螺丝(4)用于固定芯片，以使芯片保持垂直状态，所述圆台(3)上还设有固定螺丝(5)，所述固定螺丝(5)的一端贯穿圆台(3)，且位于长方体凹槽(6)内，所述固定螺丝(5)与圆台(3)螺纹连接，所述固定螺丝(5)用于固定芯片。2.根据权利要求1所述的一种钉台，其特征在于，所述圆台(3)的直径为10-13mm，所述圆台(3)的高度为3-5mm，所述长方体凹槽(6)的深度为3-5mm，所述长方体凹槽(6)的长度为7-10mm，所述长方体凹槽(6)的宽度为2-3mm。3.根据权利要求1所述的一种钉台，其特征在于，所述夹持部的外缘上设有夹持凹槽(2)，所述夹持凹槽(2)用于使弯头镊子进行夹持。4.根据权利要求3所述的一种钉台，其特征在于，所述夹持凹槽(2)的外围直径为12mm，所述夹持凹槽(2)的内圈直径为9mm，所述夹持凹槽(2)的高度为2-3mm。5.根据权利要求1所述的一种钉台，其特征在于，所述插接部包括长形圆柱(1)，所述长形圆柱(1)的一端设有外螺纹，所述夹持部的下端面设有螺纹孔，所述长形圆柱(1)与夹持部螺纹连接。6.根据权利要求5所述的一种钉台，其特征在于，所述长形圆柱(1)的直径为1-3mm，所述长形圆柱(1)的长度为6-8mm。
技术总结本实用新型公开了一种钉台，包括插接部、夹持部和台面部，夹持部位于台面部的下端面，且与台面部固定连接，插接部与夹持部可拆卸连接，台面部包括圆台，圆台的上端面设有长方体凹槽，圆台上对称的设有两个限位螺丝，两个限位螺丝分别位于长方体凹槽的两端，限位螺丝的一端贯穿圆台的侧壁，且位于长方体凹槽内，限位螺丝与圆台螺纹连接，圆台上还设有固定螺丝，固定螺丝的一端贯穿圆台，且位于长方体凹槽内，固定螺丝与圆台螺纹连接，本实用新型结构合理，芯片放置在长方体凹槽内，通过转动两个限位螺丝，使限位螺丝抵在芯片的两侧，再通过固定螺丝将芯片固定，使得芯片在长方体凹槽内能够保持垂直状态，便于观察。便于观察。便于观察。
技术研发人员：胡建力 郭清 张斌
受保护的技术使用者：浙江大学绍兴研究院
技术研发日：2022.08.18
技术公布日：2022/12/1
