1.本实用新型涉及圆片揭膜技术领域，尤其是涉及一种多通道多区域吸附装置。
背景技术：2.相关技术中，圆片揭膜设备的底盘中心开设有真空孔，通过真空吸附圆片，便于进行揭膜操作。然而，对于特殊圆片破片(例如，因产能及设备兼容性问题，部分品种需将12inch圆片等分成1/4角片)，由于被等分为两个以上部分，在揭膜过程中，底盘中心的真空孔无法吸附两个以上角片，使得圆片容易发生裂片或损伤等情况，影响二次贴片作业。
技术实现要素：3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种多通道多区域吸附装置，多通道多区域吸附装置能够对两个以上待吸附物，例如角片进行吸附和释放，方便特殊圆片的揭膜和拿取，且圆片不易裂片及划伤。
4.根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置，包括：气压源；吸附盘，吸附盘包括两个以上第一吸附区域，用于对应吸附两个以上待吸附物；各第一吸附区域一一对应连接有第一气压转换件，第一气压转换件具有第一进气口、第一吸气口以及第一气体排放口，第一吸气口与第一吸附区域连通；两个以上第一气路切换件，与各第一气压转换件一一对应，包括第一气路入口、第一气路出口以及第二气路出口，第一气路入口与气压源连通，第一气路出口与第一进气口连通，第二气路出口与第一吸附区域一一对应连通，第一气路出口和第二气路出口与第一气路入口互异性连通。
5.根据本实用新型的多通道多区域吸附装置，通过设置包括两个以上第一吸附区域的吸附盘，以在各第一气压转换件的第一吸气口进行吸气时，两个以上第一吸附区域能够对应吸附两个以上待吸附物，例如，吸附特殊圆片的多个角片，通过设置与各第一气压转换件一一对应的两个以上第一气路切换件，以实现对各第一吸附区域进行吹气或吸气的切换，使得第一吸附区域不仅能够对待吸附物进行吸附，还能够释放待吸附物，便于后续操作，例如对特殊圆片的揭膜和拿取。
6.根据本实用新型的一些实施例，多通道多区域吸附装置还包括支撑体，支撑体围绕在吸附盘的外围，支撑体上设有围绕吸附盘的第二吸附区域，第二吸附区域连接有第二气压转换件，第二气压转换件具有第二进气口、第二吸气口和第二气体排放口，第二吸气口与第二吸附区域连通，第二气压转换件还对应有第二气路切换件，第二气路切换件包括第二气路入口、第三气路出口和第四气路出口，第二气路入口与气压源连通，第三气路出口与第二进气口连通，第四气路出口与第二吸附区域连通，第三气路出口和第四气路出口与第二气路入口互异性连通。
7.根据本实用新型的一些实施例，第一吸附区域的吸附面与第二吸附区域的吸附面位于同一平面。
8.根据本实用新型的一些实施例，两个以上第一吸附区域排布为圆形的结构。
9.根据本实用新型的一些实施例，第一气压转换件和第二气压转换件均为文氏阀。
10.根据本实用新型的一些实施例，多通道多区域吸附装置还包括加热元件，加热元件设置在吸附盘的第一吸附区域的背侧。
11.根据本实用新型的一些实施例，多通道多区域吸附装置还包括温控器，温控器的输入端连接电源，输出端连接加热元件，温控器还连接有温控开关，以控制温控器的启停。
12.根据本实用新型的一些实施例，第一气路切换件和第二气路切换件均为两位三通的电磁阀，每个电磁阀均连接一个电磁开关。
13.根据本实用新型的一些实施例，各第一吸附区域和第二吸附区域均一一对应连接有气压检测器和气压限值器，每个气压限值器均连接一个限值开关，多个限值开关并联在一起，并与报警器串联。
14.根据本实用新型的一些实施例，每个限值开关均连接有一个时间继电器，以控制限值开关的连通时间。
15.根据本实用新型的一些实施例，多通道多区域真空吸附装置还包括至少一个气压分流器，气压分流器连接在吸附盘与气压源之间的气路上，以将气压源分流为两个以上气路。
16.根据本实用新型的一些实施例，多通道多区域真空吸附装置还包括两个气压调节阀，其中一个气压调节阀设置在气压源与支撑体之间的气路上，另一个气压调节阀设置在气压源于吸附盘之间且靠近气压源的气路上。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.图1是根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置的气路连接图；
19.图2是根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置的结构示意图；
20.图3是根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置的电源转换电路图；
21.图4是根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置的温控器的电路图；
22.图5是根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置的温控器的温控开关电路图；
23.图6是根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置的气压控制及报警的电路图。
24.附图标记：
25.多通道多区域吸附装置100、
26.气压源1、
27.吸附盘2、第一吸附区域20、铁环真空指示灯21、吸附盘真空指示灯22、ul真空指示灯221、ur真空指示灯222、ll真空指示灯223、lr真空指示灯224、加热指示灯23、温控显示屏24、铁环真空显示端25、吸附盘真空显示端26、ul真空显示端261、 ur真空显示端262、ll真空显示端263、lr真空显示端264、报警器显示端27
28.第一气压转换件3、第一进气口30a、第一吸气口30b、第一气体排放口30c、
29.第一气路切换件4、第一气路入口40a、第一气路出口40b、第二气路出口40c、
30.支撑体5、第二吸附区域50、
31.第二气压转换件6、第二进气口60a、第二吸气口60b、第二气体排放口60c、
32.第二气路切换件7、第二气路入口70a、第三气路出口70b、第四气路出口70c、
33.气压分流器8、
34.气压调节阀9。
具体实施方式
35.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
36.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和 /或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
37.下面参考附图描述根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置100。
38.如图1所示，根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置100，包括气压源1、吸附盘2、两个以上第一气压转换件3和两个以上第一气路切换件4，吸附盘2包括两个以上第一吸附区域20，用于对应吸附两个以上待吸附物，各第一吸附区域20一一对应连接有第一气压转换件3，第一气压转换件3具有第一进气口30a、第一吸气口30b 以及第一气体排放30c口，第一吸气口30b与第一吸附区域20连通，两个以上第一气路切换件4与各第一气压转换件3一一对应，包括第一气路入口40a、第一气路出口40b 以及第二气路出口40c，第一气路入口40a与气压源1连通，第一气路出口40b与第一进气口30a连通，第二气路出口40c与第一吸附区域20一一对应连通，第一气路出口 40b和第二气路出口40c与第一气路入口40a互异性连通。
39.需要说明的是，气压源1用于提供压缩空气，吸附盘2用于吸附待吸附物，第一气压转换件3用于对第一吸附区域20进行吸气，使第一吸附区域20形成真空，以对待吸附去进行吸附，第一气路切换件4用于切换吸附气路和释放气路，以对待吸附物进行吸附或释放。
40.具体的，本实用新型实施例中气压源1为多通道多区域吸附装置100提供压缩空气。吸附盘2包括两个以上第一吸附区域20，可以对两个以上待吸附物进行吸附。各第一吸附区域20一一对应连接有第一气压转换件3，第一气压转换件3连接在气压源1于第一吸附区域20之间的气路管道上，第一气压转换件3具有第一进气口30a、第一吸气口 30b以及第一气体排放30c口，第一吸气口30b与第一吸附区域20连通，用于对第一吸附区域20进行吸气，以使第一吸附区域20吸附待吸附物，第一进气口30a可以与气压源1连接，第一气体排放30c口与外界连通，以向外界排气。两个以上第一气路切换件 4与各第一气压转换件3一一对应，第一气路切换件4连接在气压源1与第一气压转换件3之间，第一气路切换件4包括第一气路入口40a、第一气路出口40b以及第二气路出口40c，第一气路入口40a与气压源1连
通，第一气路出口40b与第一进气口30a连通，用于将气压源1提供的压缩空气输送至第一气压转换件3中，第二气路出口40c与第一吸附区域20一一对应连通，用于将气压源1提供的压缩空气输送至第一吸附区域 20，以释放待吸附物，第一气路出口40b和第二气路出口40c与第一气路入口40a互异性连通，使得吸附盘2可以对待吸附物进行吸附或释放，便于后续操作。
41.其中，第一气路出口40b和第二气路出口40c与第一气路入口40a互异性连通可以理解为，第一气路入口40a与第一气路出口40b连通，或者第一气路入口40a与第二气路出口40c连通，或者第一气路入口40a与第一气路出口40b和第二气路出口40c均不连通。
42.由此，根据本实用新型实施例的多通道多区域吸附装置100，通过设置包括两个以上第一吸附区域20的吸附盘2，以在各第一气压转换件3的第一吸气口30b进行吸气时，两个以上第一吸附区域20能够对应吸附两个以上待吸附物，例如，吸附特殊圆片的多个角片，通过设置与各第一气压转换件3一一对应的两个以上第一气路切换件4，以实现对各第一吸附区域20进行吹气或吸气的切换，使得第一吸附区域20不仅能够对待吸附物进行吸附，还能够释放待吸附物，便于后续操作，例如对特殊圆片的揭膜和拿取，减少了破片后裂片及划伤的风险，大大提高了产品的质量。
43.在一些实施例中，如图1所示，第一吸附区域20、第一气压转换件3和第一气路切换件4均设有4个，其中，吸附盘2上对应四个第一吸附区域20的位置各设有一个气孔，通过气孔对待吸附物进行吸附和释放，例如，对特殊圆片的每个1/4角片分别吸附和释放，便于进行揭膜和拿取操作。
44.在一些实施例中，如图1所示，气压源1为压缩空气泵。
45.在本实用新型的一些实施例中，如图1和图2所示，多通道多区域吸附装置100还包括支撑体5，支撑体5围绕在吸附盘2的外围，支撑体5上设有围绕吸附盘2的第二吸附区域50，第二吸附区域50连接有第二气压转换件6，第二气压转换件6具有第二进气口60a、第二吸气口60b和第二气体排放口60c，第二吸气口60b与第二吸附区域50 连通，第二气压转换件6还对应有第二气路切换件7，第二气路切换件7包括第二气路入口70a、第三气路出口70b和第四气路出口70c，第二气路入口70a与气压源1连通，第三气路出口70b与第二进气口60a连通，第四气路出口70c与第二吸附区域50连通，第三气路出口70b和第四气路出口70c与第二气路入口70a互异性连通。
46.需要说明的是，支撑体5用于支撑。例如，当待吸附物为圆片时，圆片上的贴膜面积大于圆片，需要支撑体5对贴膜进行支撑，在揭膜过程中页需要对支撑体5进行吸附，揭膜完成后需要将支撑体5拿走。
47.具体的，第二吸附区域50用于吸附支撑体5。第二吸附区域50连接有第二气压转换件6，第二气压转换件6连接在气压源1与第二吸附区域50之间，第二气压转换件6 具有第二进气口60a、第二吸气口60b和第二气体排放口60c，第二进气口60a可以与气压源1连接，以向第二气压转换件6输送压缩空气，第二吸气口60b与第二吸附区域 50连通，用于对第二吸附区域50进行吸气，以使第二吸附区域50吸附支撑体5，第二气体排放口60c与外界连通，以向外界排气。第二气压转换件6还对应有第二气路切换件7，第二气路切换件7连接在气压源1于第二气压转换件6之间，第二气路切换件7 包括第二气路入口70a、第三气路出口70b和第四气路出口70c，第二气路入口70a与气压源1连通，第三气路出口70b与第二进气口60a连
通，用于将气压源1提供的压缩空气输送至第二气压转换件6中，第四气路出口70c与第二吸附区域50连通，用于将气压源1提供的压缩空气输送至第二吸附区域50，以释放支撑体5，第三气路出口70b 和第四气路出口70c与第二气路入口70a互异性连通，能够对支撑体5进行吸附或释放，便于后续操作。
48.其中，第三气路出口70b和第四气路出口70c与第二气路入口70a互异性连通可以理解为，第二气路入口70a与第三气路出口70b连通，或者第二气路入口70a与第四气路出口70c连通，或者第二气路入口70a与第三气路出口70b和第四气路出口70c均不连通。
49.在一些实施例中，如图1和图2所示，支撑体5为铁环。
50.在本实用新型的一些实施例中，如图1和图2所示，第一吸附区域20的吸附面与第二吸附区域50的吸附面位于同一平面，以使待吸附物与支撑体5处于同一平面，便于后续操作。例如，当待吸附物为圆片时，便于进行揭膜操作，且圆片不易裂片及划伤。
51.在本实用新型的一些实施例中，如图1和图2所示，两个以上第一吸附区域20排布为圆形的结构，以便于对圆形待吸附物进行吸附。例如，对圆片进行吸附。
52.当然，可以理解的，两个以上第一吸附区域20还可以排布为其他形状的结构，例如，矩形等，只要能对待吸附物进行吸附即可。
53.在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，第一气压转换件3和第二气压转换件6 均为文氏阀，通过文氏阀将第一吸附区域20和第二吸附区域50的空气吸走，形成真空环境，从而实现对待吸附物和支撑体5的吸附。
54.当然，本技术不限于此；第一气压转换件3和第二气压转换件6还可以为其他结构，只要能够实现对待吸附物和支撑体5的吸附即可。
55.在本实用新型的一些实施例中，多通道多区域吸附装置100还包括加热元件，加热元件连接加热指示灯23，加热元件设置在吸附盘2的第一吸附区域20的背侧，当被吸附物为圆片时，通过加热元件对贴膜进行加热，便于揭膜，减小揭膜过程对圆片造成的划伤等。可以理解的是，加热元件可以设置在吸附盘2上，也可以与吸附盘2间隔开设置。
56.在本实用新型的一些实施例中，如图4和图5所示，多通道多区域吸附装置100还包括温控器p101，温控器p101的输入端连接电源，输出端连接加热元件，温控器p101 还连接有温控开关b201，以控制温控器的启停。通过温控器p101调节吸附盘2的温度，避免吸附盘2温度过高或过低，便于进行圆片的揭膜。
57.在一些实施例中，如图4和图5所示，温控器p101输入端连接24v直流电，输入端上还连接有保险丝e001和温控显示端v001，保险丝e001用于避免电流过大，损坏温控器p101，温控显示端v001用于显示吸附盘2的实时温度以及设定温度，温控开关 b201为继电器开关，当温控开关b201关闭时，温控器p101启动，加热元件开始加热，加热指示灯23亮，当加热到设定温度时，温控开关b201打开，温控器p101停止，加热元件停止加热，加热指示灯23灭。
58.具体的，如图3所示，24v直流电是将220v交流电通过整流电路以及变压器作用得到的，如图4所示，温控显示端v001为温控显示屏24。
59.在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，第一气路切换件4和第二气路切换件7 均为两位三通的电磁阀，通过两位三通的电磁阀，实现第一气路出口40b和第二气路出口40c与第一气路入口40a互异性连通以及第三气路出口70b和第四气路出口70c与第二气路入口70a互异性连通，每个电磁阀均连接一个电磁开关，便于控制气路连通和关闭，例如，控
制第一气路入口40a和第一气路出口40b的连通或第一气路入口40a和第二气路出口40c的连通或关闭第一气路出口40b和第二气路出口40c与第一气路入口40a 的连通。可以理解的是，电磁开关可以是手动控制，也可以是智能控制。
60.在一些实施例中，如图2所示，每个电磁阀均连接一个真空指示端，具体的，真空指示端为真空指示灯。如图6左侧所示，当第二吸附区域50对应的第二气路入口70a 与第三气路出口70b连通时，支撑体5的指示灯h102亮，即铁环真空指示灯21亮；当第一吸附区域20对应的第一气路入口40a与第一气路出口40b连通时，吸附盘真空指示灯22亮；具体的，当左上角的第一吸附区域20对应的第一气路入口40a与第一气路出口40b连通时，左上角的真空指示灯h103亮，即ul真空指示灯221亮；当右上角的第一吸附区域20对应的第一气路入口40a与第一气路出口40b连通时，右上角的真空指示灯h104亮，即ur真空指示灯222亮；当左下角的第一吸附区域20对应的第一气路入口40a与第一气路出口40b连通时，左下角的真空指示灯h105亮，即ll真空指示灯223亮；当右下角的第一吸附区域20对应的第一气路入口40a与第一气路出口 40b连通时，右下角的真空指示灯h106亮，即lr真空指示灯224亮。
61.在本实用新型的一些实施例中，各第一吸附区域20和第二吸附区域50均一一对应连接有气压检测器和气压限值器，每个气压限值器均连接一个限值开关，多个限值开关并联在一起，并与报警器串联。通过气压检测器检测各第一吸附区域20和第二吸附区域 50的气压值，通过气压限值器设定气压的最大值和最小值，当气压检测器检测到的气压值大于最大值或小于最小值时，气压限值器的限值开关关闭，使得报警器所在电路连通，进行报警。
62.在一些实施例中，如图2所示，每个气压检测器均连接真空显示端，真空显示端包括铁环真空显示端25和吸附盘真空显示端26，具体的，真空显示端为真空显示屏，如图6左侧所示，k306为铁环真空显示端25，用于显示第二吸附区域50的真空值；k307 为第一吸附区域20的左上角的真空显示端，即ul真空显示端261，用于显示第一吸附区域20的左上角的真空值；k308为第一吸附区域20的右上角的真空显示端，即ur 真空显示端262，用于显示第一吸附区域20的右上角的真空值；k309为第一吸附区域 20的左下角的真空显示端，即ll真空显示端263，用于显示第一吸附区域20的左下角的真空值；k310为第一吸附区域20的右下角的真空显示端，即lr真空显示端264，用于显示第一吸附区域20的右下角的真空值。
63.在一些实施例中，气压限值器具体为真空电磁阀。如图6右侧所示，sv01为与第二吸附区域50连接的真空电磁阀，sv02为与第一吸附区域20的左上角连接的真空电磁阀，sv03为与第一吸附区域20的右上角连接的真空电磁阀，sv04为与第一吸附区域 20的左下角连接的真空电磁阀，sv05为与第一吸附区域20的右下角连接的真空电磁阀。当各自区域的真空值超过气压限值器的范围时，对应区域的限值开关关闭。例如，当第二吸附区域50的真空值超过气压限值器的范围时，该区域的限值开关ks01关闭，使得报警器电路连通，报警器显示端27报警。ks02为第一吸附区域20左上角的限值开关， ks03为第一吸附区域20右上角的限值开关，ks04为第一吸附区域20左下角的限值开关，ks05为第一吸附区域20右下角的限值开关。
64.具体的，报警器显示端27为闪光蜂鸣器。当然，可以理解的，报警器显示端27还可以为其他形式。
65.在本实用新型的一些实施例中，如图6右侧所示，每个限值开关均连接有一个时间
继电器，以控制限值开关的连通时间。通过时间继电器可以控制报警的时长。
66.在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，多通道多区域真空吸附装置还包括至少一个气压分流器8，气压分流器8连接在吸附盘2与气压源1之间的气路上，以将气压源1分流为两个以上气路。
67.如图1所示，在一些实施例中多通道多区域真空吸附装置包括三个气压分流器8，具体的，气压分流器8为三通器，其中一个气压分流器8连接在气压源1与吸附盘2之间且靠近气压源1的气路管道上，将气压源1分成两路气路，另外两个气压分流器8连接在前述气压分流器8与吸附盘2之间的气路管道上，分别将两路气路各分为两路气路，形成四路气路。
68.其中，气路管道采用直径6mm的气管。
69.在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，多通道多区域真空吸附装置还包括两个气压调节阀9，其中一个气压调节阀9设置在气压源1与支撑体5之间的气路上，另一个气压调节阀9设置在气压源1于吸附盘2之间且靠近气压源1的气路上。通过气压调节阀9调节气路管道的气压。
70.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
71.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
72.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
73.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
74.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。
技术特征：1.一种多通道多区域吸附装置，其特征在于，包括：气压源(1)；吸附盘(2)，所述吸附盘(2)包括两个以上第一吸附区域(20)，用于对应吸附两个以上待吸附物；各所述第一吸附区域(20)一一对应连接有第一气压转换件(3)，所述第一气压转换件(3)具有第一进气口(30a)、第一吸气口(30b)以及第一气体排放(30c)口，所述第一吸气口(30b)与所述第一吸附区域(20)连通；两个以上第一气路切换件(4)，与各所述第一气压转换件(3)一一对应，包括第一气路入口(40a)、第一气路出口(40b)以及第二气路出口(40c)，所述第一气路入口(40a)与所述气压源(1)连通，所述第一气路出口(40b)与所述第一进气口(30a)连通，所述第二气路出口(40c)与所述第一吸附区域(20)一一对应连通，所述第一气路出口(40b)和所述第二气路出口(40c)与所述第一气路入口(40a)互异性连通。2.根据权利要求1所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，还包括支撑体(5)，所述支撑体(5)围绕在所述吸附盘(2)的外围，所述支撑体(5)上设有围绕所述吸附盘(2)的第二吸附区域(50)，所述第二吸附区域(50)连接有第二气压转换件(6)，所述第二气压转换件(6)具有第二进气口(60a)、第二吸气口(60b)和第二气体排放口(60c)，所述第二吸气口(60b)与所述第二吸附区域(50)连通，所述第二气压转换件(6)还对应有第二气路切换件(7)，所述第二气路切换件(7)包括第二气路入口(70a)、第三气路出口(70b)和第四气路出口(70c)，所述第二气路入口(70a)与所述气压源(1)连通，所述第三气路出口(70b)与所述第二进气口(60a)连通，所述第四气路出口(70c)与所述第二吸附区域(50)连通，所述第三气路出口(70b)和所述第四气路出口(70c)与所述第二气路入口(70a)互异性连通。3.根据权利要求2所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，所述第一吸附区域(20)的吸附面与所述第二吸附区域(50)的吸附面位于同一平面。4.根据权利要求1所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，两个以上所述第一吸附区域(20)排布为圆形的结构。5.根据权利要求2所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，所述第一气压转换件(3)和所述第二气压转换件(6)均为文氏阀。6.根据权利要求1所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，还包括加热元件，所述加热元件设置在所述吸附盘(2)的所述第一吸附区域(20)的背侧。7.根据权利要求6所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，还包括温控器，所述温控器的输入端连接电源，输出端连接所述加热元件，所述温控器还连接有温控开关，以控制所述温控器的启停。8.根据权利要求2所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，所述第一气路切换件(4)和所述第二气路切换件(7)均为两位三通的电磁阀，每个所述电磁阀均连接一个电磁开关。9.根据权利要求2所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，各所述第一吸附区域(20)和所述第二吸附区域(50)均一一对应连接有气压检测器和气压限值器，每个所述气压限值器均连接一个限值开关，多个所述限值开关并联在一起，并与报警器串联。10.根据权利要求9所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，每个所述限值开关均
连接有一个时间继电器，以控制限值开关的连通时间。11.根据权利要求2所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，还包括至少一个气压分流器(8)，所述气压分流器(8)连接在所述吸附盘(2)与所述气压源(1)之间的气路上，以将所述气压源(1)分流为两个以上气路。12.根据权利要求11所述的多通道多区域吸附装置，其特征在于，还包括两个气压调节阀(9)，其中一个所述气压调节阀(9)设置在所述气压源(1)与所述支撑体(5)之间的气路上，另一个所述气压调节阀(9)设置在所述气压源(1)于所述吸附盘(2)之间且靠近所述气压源(1)的气路上。
技术总结本实用新型公开了一种多通道多区域吸附装置，包括气压源、吸附盘、两个以上第一气压转换件和两个以上第一气路切换件，吸附盘包括两个以上第一吸附区域，各第一吸附区域一一对应连接有第一气压转换件，第一气压转换件具有第一进气口、第一吸气口以及第一气体排放口，第一吸气口与第一吸附区域连通，两个以上第一气路切换件与各第一气压转换件一一对应，包括第一气路入口、第一气路出口以及第二气路出口，第一气路入口与气压源连通，第一气路出口与第一进气口连通，第二气路出口与第一吸附区域一一对应连通，第一气路出口和第二气路出口与第一气路入口互异性连通。该吸附装置能够对两个以上待吸附物进行吸附和释放。以上待吸附物进行吸附和释放。以上待吸附物进行吸附和释放。
技术研发人员：季莉莉 李伟
受保护的技术使用者：通富微电子股份有限公司
技术研发日：2022.07.12
技术公布日：2022/12/2
