1.本实用新型涉及硅片吸盘技术领域，具体涉及一种节距可调的吸盘组件。
背景技术：2.随着硅片大小厚度规格不断增多从原来两种规格发展到现在不下十几种，各生产工艺段对产品及其治具等的切换的也要求更快更频繁。作为扩散退火工艺接触硅片最重要的陶瓷吸盘组件需要不停的由人工去更换、组装、调试等工作以满足产品切换要求。切换一次产品所需工作耗时耗力往往需要两人两天的工作量。
3.为节约切换产品所带来的人工工时以及产能损失，设计一种经过简单处理即可随时切换的兼容性或通用性设备迫在眉睫。
技术实现要素：4.为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中的缺陷。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种节距可调的吸盘组件，包括：
6.吸盘座，设有调节孔；
7.夹紧调节机构，包括移动轴、夹紧驱动单元；所述移动轴穿过所述吸盘座的调节孔，将若干吸盘座串连，所述夹紧驱动单元驱动吸盘座沿所述移动轴移动；
8.节距调节机构，包括调节销、节距驱动单元；所述调节销包括前端的调节部与后端的连接部，所述调节部为楔形，所述调节部前端的宽度小于后端的宽度；所述节距驱动单元与所述连接部连接，驱动调节部的至少一部分插入相邻的所述吸盘座之间的间隙。
9.作为本实用新型的一种优选方式，所述调节部的宽度均匀变化。
10.作为本实用新型的一种优选方式，所述节距调节机构还包括与所述移动轴平行的滑轨，所述调节销的连接部设有滚轮，所述滚轮沿所述滑轨移动，所述节距驱动单元与所述滑轨连接。
11.作为本实用新型的一种优选方式，所述吸盘座包括至少两个调节孔，所述移动轴至少设有两个。
12.作为本实用新型的一种优选方式，所述移动轴的两端分别设有限位板，所述吸盘座位于两限位板之间。
13.作为本实用新型的一种优选方式，还包括沿移动轴移动的移动挡板，所述夹紧驱动单元与所述移动挡板连接。
14.作为本实用新型的一种优选方式，所述移动挡板位于所述吸盘座的一侧。
15.作为本实用新型的一种优选方式，所述吸盘座的两侧设有与所述调节部配合的调节槽。
16.作为本实用新型的一种优选方式，所述调节槽的斜度与所述调节部的斜度一致。
17.作为本实用新型的一种优选方式，所述吸盘座设有通气孔，所述调节孔避开所述通气孔。
18.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
19.本实用新型所述的一种节距可调的吸盘组件，通过夹紧调节机构与节距调节机构的配合实现吸盘座的节距调节，提高吸盘组件的节距调节效率。
附图说明
20.为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
21.图1是本实用新型的吸盘组件示意图。
22.图2是本实用新型的吸盘组件侧面剖视示意图。
23.图3是本实用新型的吸盘组件顶面剖视示意图。
24.图4是本实用新型的吸盘组件的调节销示意图。
25.图5是本实用新型的吸盘组件的第一种吸盘座示意图。
26.图6是本实用新型的吸盘组件的第二种吸盘座示意图。
27.说明书附图标记说明：1、吸盘座；11、调节槽；12、通气孔；13、安装部；14、调距部；21、移动轴；22、夹紧驱动单元；31、调节销；311、滚轮；312、调节部；313、连接部；32、节距驱动单元；33、滑轨；4、安装座；41、限位板；42、移动挡板；5、吸盘。
具体实施方式
28.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
29.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第二”、“第一”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
30.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。此外，术语“包括”意图在于覆盖不排他的包含，例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备，没有限定于已列出的步骤或单元而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
32.参照图1～6所示，本实用新型一种节距可调的吸盘组件的实施例，包括：
33.吸盘座1，设有调节孔。所述吸盘座1用于安装吸盘5，所述吸盘5用于吸附硅片等片状物料。所述吸盘座1有若干个，依次连接。
34.所述吸盘座1包括至少两种不同的规格，参考附图所示5～6，所述吸盘座1包括与吸盘5连接的安装部13、用于调距的调距部14。所述吸盘5通过安装部13与所述吸盘座1连接。所述调距部14用于与调节销31接触。优选的，两种规格的吸盘座1交错设置。
35.夹紧调节机构，包括移动轴21、夹紧驱动单元22。夹紧调节机构用于实现吸盘座1调距后的夹紧，避免吸盘座1在工作时偏移。
36.所述移动轴21为直杆，且至少有两根，最优为四根。优选的，所述移动轴21水平设置，多个移动轴21互相平行。所述移动轴21穿过所述吸盘座1的调节孔，将若干吸盘座1串连，随着所述移动轴21的数量增加，所述吸盘座1沿所述移动轴21移动的稳定性也提高。与所述移动轴21的数量对应的是吸盘座1的调节孔的数量，所述吸盘座1的调节孔的数量与所述移动轴21的数量一致。
37.所述夹紧驱动单元22用于实现所述吸盘座1沿移动轴21方向的移动，实现所述吸盘座1的夹紧与释放，所述夹紧驱动单元22驱动吸盘座1沿所述移动轴21移动。
38.所述移动轴21的两端分别设有限位板41，所述吸盘座1位于两限位板41之间。还包括沿移动轴21移动的移动挡板42，所述夹紧驱动单元22与所述移动挡板42连接。
39.所述移动轴21安装于安装座4，所述限位板41位于所述移动轴21的两端，避免吸盘座1脱离所述移动轴21。所述移动挡板42设于移动轴21上，且可沿移动轴21移动，所述吸盘座1位于移动挡板42和限位板41之间。所述夹紧驱动单元22为液压缸或气缸，所述夹紧驱动单元22安装于安装座4上，所述夹紧驱动单元22的移动端与所述移动挡板42连接，所述夹紧驱动单元22驱动移动端伸出或缩回，即驱动所述移动挡板42沿所述移动轴21移动。
40.当需要夹紧时，所述夹紧驱动单元22驱动所述移动挡板42靠近吸盘座1的方向移动，直至将吸盘座1夹紧于移动挡板42与限位板41之间。当需要释放时，所述夹紧驱动单元22驱动所述移动挡板42向远离吸盘座1的方向移动，便于节距调节机构的调节销31插入所述吸盘座1之间的间隙、调节吸盘座1的间距。
41.节距调节机构，包括调节销31、节距驱动单元32。所述节距调节机构用于调节所述吸盘座1之间的间距。
42.所述调节销31包括前端的调节部312与后端的连接部313，所述调节部312为楔形，所述调节部312前端的宽度小于后端的宽度。所述调节销31楔形的调节部312用于插入所述吸盘座1之间的间隙，调节部312前窄后宽，当调节部312插入的深度越深，则吸盘座1之间的间隙越大。通过调节所述调节销31的调节部312插入深度可调节。
43.所述节距驱动单元32与所述连接部313连接，驱动调节部312的至少一部分插入相邻的所述吸盘座1之间的间隙。所述节距驱动单元32可为液压缸或气缸，其移动端与所述调节销31的连接部313直接或间接连接。所述节距驱动单元32驱动所述调节销31向靠近所述移动座或远离所述移动座的方向移动，调节所述调节销31的调节部312插入所述移动座间隙的深度。
44.作为优选，所述节距调节机构还包括与所述移动轴21平行的滑轨33，所述调节销31的连接部313设有滚轮311，所述滚轮311沿所述滑轨33移动，所述节距驱动单元32与所述滑轨33连接。所述调节销31通过滚轮311沿滑轨33移动，便于调节销31随移动座的位置改变
而调整位置。所述节距驱动单元32的移动端连接所述滑轨33，通过推动滑轨33向靠近所述移动座或远离所述移动座的方向移动，调节调节销31插入所述移动座间隙的深度。所述调节销31插入方向与所述移动轴21垂直。
45.在操作中，当需要调节吸盘组件的节距时，所述夹紧驱动单元22驱动移动挡板42向远离吸盘座1的方向移动，吸盘座1即被释放，所述节距驱动单元32驱动调节销31移动，调整所述调节销31插入所述吸盘座1间隙的深度，所述节距驱动单元32调节完毕后，所述夹紧驱动单元22驱动移动挡板42向远离吸盘座1的方向靠近，吸盘座1即被夹紧，节距调整完成。
46.作为优选，所述调节部312的宽度均匀变化，便于对所述吸盘座1进行不同节距的调节。所述吸盘座1的两侧设有与所述调节部312配合的调节槽11。所述调节槽11的斜度与所述调节部312的斜度一致。所述调节槽11用于与所述调节部312配合，所述调节槽11设于所述吸盘座1的两侧，且为楔形，所述调节槽11的斜度与所述调节销31的楔形斜度一致，便于所述调节部312与所述调节槽11配合。
47.所述吸盘座1设有通气孔12，所述调节孔避开所述通气孔12。所述吸盘座1设计有通气孔12以确保吸盘5通气通真空。
48.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
49.原吸盘组件由多达到50片吸盘按一定间距安装在一个固定的吸盘座上。切换产品时需要将所有吸盘拆下并安装到其他不同间距的吸盘座上。其工作需要有经验的人员进行相对繁琐精密的组装与调试。
50.本实用新型所述的一种节距可调的吸盘组件，将这些吸盘安装在一个可活动并等节距调节机构上以实现自动调节的目的。其独特之处在于它采用锥形锲插入各吸盘安装座之间通过锲入深度来调节其间距。
51.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
技术特征：1.一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，包括：吸盘座，设有调节孔；夹紧调节机构，包括移动轴、夹紧驱动单元；所述移动轴穿过所述吸盘座的调节孔，将若干吸盘座串连，所述夹紧驱动单元驱动吸盘座沿所述移动轴移动；节距调节机构，包括调节销、节距驱动单元；所述调节销包括前端的调节部与后端的连接部，所述调节部为楔形，所述调节部前端的宽度小于后端的宽度；所述节距驱动单元与所述连接部连接，驱动调节部的至少一部分插入相邻的所述吸盘座之间的间隙。2.根据权利要求1所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述调节部的宽度均匀变化。3.根据权利要求1所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述节距调节机构还包括与所述移动轴平行的滑轨，所述调节销的连接部设有滚轮，所述滚轮沿所述滑轨移动，所述节距驱动单元与所述滑轨连接。4.根据权利要求1所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘座包括至少两个调节孔，所述移动轴至少设有两个。5.根据权利要求1所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述移动轴的两端分别设有限位板，所述吸盘座位于两限位板之间。6.根据权利要求1所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，还包括沿移动轴移动的移动挡板，所述夹紧驱动单元与所述移动挡板连接。7.根据权利要求6所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述移动挡板位于所述吸盘座的一侧。8.根据权利要求1所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘座的两侧设有与所述调节部配合的调节槽。9.根据权利要求8所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述调节槽的斜度与所述调节部的斜度一致。10.根据权利要求1所述的一种节距可调的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘座设有通气孔，所述调节孔避开所述通气孔。
技术总结本实用新型公开了一种节距可调的吸盘组件，包括：吸盘座，设有调节孔；夹紧调节机构，包括移动轴、夹紧驱动单元；所述移动轴穿过所述吸盘座的调节孔，将若干吸盘座串连，所述夹紧驱动单元驱动吸盘座沿所述移动轴移动；节距调节机构，包括调节销、节距驱动单元；所述调节销包括前端的调节部与后端的连接部，所述调节部为楔形，所述调节部前端的宽度小于后端的宽度；所述节距驱动单元与所述连接部连接，驱动调节部的至少一部分插入相邻的所述吸盘座之间的间隙。本实用新型通过夹紧调节机构与节距调节机构的配合实现吸盘座的节距调节，提高吸盘组件的节距调节效率。盘组件的节距调节效率。盘组件的节距调节效率。
技术研发人员：吴廷斌 张学强 张建伟 罗银兵 李学文
受保护的技术使用者：罗博特科智能科技股份有限公司
技术研发日：2022.07.13
技术公布日：2022/12/2
