本实用新型涉及等离子设备技术领域，具体涉及一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置。
背景技术：
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
等离子刻蚀机可以蚀刻很多种不同材料的工件，在对工件上料比较麻烦，目前现有的垂直式等离子蚀刻机的上料装置有以下缺点，物料车无法自动进出且运输时不稳定，降低了工作效率，无法满足人们的使用需求，降低了垂直式等离子蚀刻机的上料装置的实用性。
技术实现要素：
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，具备物料车可以自动进出且运输时稳定等优点，解决了现有的垂直式等离子蚀刻机的上料装置，物料车无法自动进出且运输时不稳定的问题。
本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，包括底板，所述底板顶部的右侧固定连接有蚀刻机主体，所述底板顶部的左侧设置有壳体，所述壳体的右侧贯穿至蚀刻机主体的内腔，所述壳体内腔的正面和背面均设置有驱动装置，所述壳体内腔的底部开设有滑槽，所述壳体的内腔设置有辅助装置。
本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其中，所述辅助装置包括支撑板，所述支撑板底部的两侧均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接有底座，所述底座的底部通过活动轴活动连接有与滑槽配合使用的滚轮。
本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其中，所述驱动装置包括电机，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的外侧套接有齿轮，所述齿轮的表面啮合有齿条板，所述齿条板的外侧与壳体内腔的正面和背面固定连接。
本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其中，所述齿条板的两侧均固定连接有与齿轮配合使用的限位板，所述齿轮的表面固定连接有齿牙一，所述齿条板的顶部固定连接有与齿牙一配合使用的齿牙二。
本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其中，所述电机的内侧固定连接有安装板，所述安装板的内侧与支撑板的正面和背面固定连接。
本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其中，所述壳体底部的两侧均固定连接有支架，所述支架的底部与底板的顶部固定连接，所述壳体的顶部开设有通槽。
本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其中，所述支撑板顶部的两侧均固定连接有固定柱，所述固定柱的顶部贯穿至通槽的顶部并固定连接有与蚀刻机主体配合使用的上料小车。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型通过设置底板、蚀刻机主体、壳体、驱动装置、滑槽、辅助装置、安装板、支架、固定柱和上料小车的相互配合，达到了物料车可以自动进出且运输时稳定等优点，解决了现有的垂直式等离子蚀刻机的上料装置，物料车无法自动进出且运输时不稳定的问题，提高了工作效率，可以满足人们的使用需求，提高了垂直式等离子蚀刻机的上料装置的实用性。
2、本实用新型通过设置底座、滚轮和滑槽相互配合，对支撑柱和壳体起到减小摩擦的作用，解决了支撑柱和壳体在使用时由于摩擦力过大，出现损坏的现象，从而延长了支撑柱和壳体的使用寿命，通过设置安装板，对电机起到固定的作用，这样电机在使用时效果更好，避免了电机在使用时出现晃动，从而导致电机出现使用效果不好的情况，通过设置支架，增加了壳体与底板之间的摩擦，避免壳体出现晃动的现象，增加了壳体的稳定性。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型壳体结构示意图；
图3为本实用新型壳体结构俯视图。
图中：1、底板；2、蚀刻机主体；3、壳体；4、驱动装置；401、电机；402、转轴；403、齿轮；404、齿条板；5、滑槽；6、辅助装置；601、支撑板；602、支撑柱；603、底座；604、滚轮；7、安装板；8、支架；9、固定柱；10、上料小车。
具体实施方式
以下将以图式揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本实用新型，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
请参阅图1-3，本实用新型的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，包括底板1，底板1顶部的右侧固定连接有蚀刻机主体2，底板1顶部的左侧设置有壳体3，壳体3底部的两侧均固定连接有支架8，通过设置支架8，增加了壳体3与底板1之间的摩擦，避免壳体3出现晃动的现象，增加了壳体3的稳定性，支架8的底部与底板1的顶部固定连接，壳体3的顶部开设有通槽，壳体3的右侧贯穿至蚀刻机主体2的内腔，壳体3内腔的正面和背面均设置有驱动装置4，驱动装置4包括电机401，电机401的内侧固定连接有安装板7，通过设置安装板7，对电机401起到固定的作用，这样电机401在使用时效果更好，避免了电机401在使用时出现晃动，从而导致电机401出现使用效果不好的情况，安装板7的内侧与支撑板601的正面和背面固定连接，电机401的输出端固定连接有转轴402，转轴402的外侧套接有齿轮403，齿轮403的表面啮合有齿条板404，齿条板404的两侧均固定连接有与齿轮403配合使用的限位板，齿轮403的表面固定连接有齿牙一，齿条板404的顶部固定连接有与齿牙一配合使用的齿牙二，齿条板404的外侧与壳体3内腔的正面和背面固定连接，壳体3内腔的底部开设有滑槽5，壳体3的内腔设置有辅助装置6，辅助装置6包括支撑板601，支撑板601顶部的两侧均固定连接有固定柱9，固定柱9的顶部贯穿至通槽的顶部并固定连接有与蚀刻机主体2配合使用的上料小车10，支撑板601底部的两侧均固定连接有支撑柱602，支撑柱602的底部固定连接有底座603，通过设置底座603、滚轮604和滑槽5相互配合，对支撑柱602和壳体3起到减小摩擦的作用，解决了支撑柱602和壳体3在使用时由于摩擦力过大，出现损坏的现象，从而延长了支撑柱602和壳体3的使用寿命，底座603的底部通过活动轴活动连接有与滑槽5配合使用的滚轮604，通过设置底板1、蚀刻机主体2、壳体3、驱动装置4、滑槽5、辅助装置6、安装板7、支架8、固定柱9和上料小车10的相互配合，达到了物料车可以自动进出且运输时稳定等优点，解决了现有的垂直式等离子蚀刻机的上料装置，物料车无法自动进出且运输时不稳定的问题，提高了工作效率，可以满足人们的使用需求，提高了垂直式等离子蚀刻机的上料装置的实用性。
在使用本实用新型时，使用者首先通过外置控制器打开电机401，电机401通过转轴402带动齿轮403开始转动，齿轮403通过与齿条板404的啮合带动安装板7和支撑板601开始移动，支撑板601通过支撑柱602和底座603带动滚轮604在滑槽5内平稳的移动，也是为了支撑板601在移动时更加稳定，同时支撑板601通过固定柱9带动上料小车10开始移动，上料小车10移动至蚀刻机主体2上下料的对接区域进行上料，从而达到了物料车可以自动进出且运输时稳定等优点。
以上所述仅为本实用新型的实施方式而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理的内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本实用新型的权利要求范围之内。
1.一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的右侧固定连接有蚀刻机主体(2)，所述底板(1)顶部的左侧设置有壳体(3)，所述壳体(3)的右侧贯穿至蚀刻机主体(2)的内腔，所述壳体(3)内腔的正面和背面均设置有驱动装置(4)，所述壳体(3)内腔的底部开设有滑槽(5)，所述壳体(3)的内腔设置有辅助装置(6)。
2.根据权利要求1所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述辅助装置(6)包括支撑板(601)，所述支撑板(601)底部的两侧均固定连接有支撑柱(602)，所述支撑柱(602)的底部固定连接有底座(603)，所述底座(603)的底部通过活动轴活动连接有与滑槽(5)配合使用的滚轮(604)。
3.根据权利要求1所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述驱动装置(4)包括电机(401)，所述电机(401)的输出端固定连接有转轴(402)，所述转轴(402)的外侧套接有齿轮(403)，所述齿轮(403)的表面啮合有齿条板(404)，所述齿条板(404)的外侧与壳体(3)内腔的正面和背面固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述齿条板(404)的两侧均固定连接有与齿轮(403)配合使用的限位板，所述齿轮(403)的表面固定连接有齿牙一，所述齿条板(404)的顶部固定连接有与齿牙一配合使用的齿牙二。
5.根据权利要求3所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述电机(401)的内侧固定连接有安装板(7)，所述安装板(7)的内侧与支撑板(601)的正面和背面固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述壳体(3)底部的两侧均固定连接有支架(8)，所述支架(8)的底部与底板(1)的顶部固定连接，所述壳体(3)的顶部开设有通槽。
7.根据权利要求2所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述支撑板(601)顶部的两侧均固定连接有固定柱(9)，所述固定柱(9)的顶部贯穿至通槽的顶部并固定连接有与蚀刻机主体(2)配合使用的上料小车(10)。
技术总结