本发明涉及一种对衬底进行处理的衬底处理装置。衬底例如为半导体晶圆、液晶显示器用衬底、有机el(electroluminescence，电致发光)用衬底、fpd(flatpaneldisplay，平板显示器)用衬底、光显示器用衬底、磁盘用衬底、光盘用衬底、磁光盘用衬底、光掩模用衬底及太阳电池用衬底。
背景技术：
日本专利特开2017-41588号公报公开了一种衬底处理装置。以下，通过划括号来标记日本专利特开2017-41588号公报中所记载的符号。衬底处理装置(1)具备热处理块(ba)。热处理块(ba)具备搬送空间(aa)、主搬送机构(tar)及主搬送机构(tal)。主搬送机构(tar)与主搬送机构(tal)设置在搬送空间(aa)中。主搬送机构(tar)与主搬送机构(tal)分别搬送衬底。热处理块(ba)具备2个热处理单元(har)及2个热处理单元(hal)。热处理单元(har)配置在搬送空间(aa)的右方。热处理单元(hal)配置在搬送空间(aa)的左方。2个热处理单元(har)以排列在上下方向的方式配置。2个热处理单元(hal)以排列在上下方向的方式配置。主搬送机构(tar)向热处理单元(har)接近。主搬送机构(tal)向热处理单元(hal)接近。
技术实现要素：
[发明要解决的问题]
要求进一步提高衬底处理装置的处理量(单位时间内能够处理的衬底的数量)。然而，就日本专利特开2017-41588号公报所示的衬底处理装置(1)的构成来说，难以进一步提高处理量。
本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够提高衬底处理装置的处理量的衬底处理装置。
[解决问题的技术手段]
本发明为了达成这种目的，采用如下构成。即，本发明是一种衬底处理装置，具备：搬送空间，在前后方向上延伸；第1搬送机构，设置在所述搬送空间中；第2搬送机构，设置在所述搬送空间中；第1热处理部，对衬底进行热处理；及第2热处理部，对衬底进行热处理；且所述第1热处理部、所述搬送空间及第2热处理部以依序排列在与前后方向正交的宽度方向的方式配置，所述第1热处理部具备以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第1热处理单元，所述第2热处理部具备以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第2热处理单元，且所述第1搬送机构将衬底搬送到所述第1热处理单元，所述第2搬送机构将衬底搬送到所述第2热处理单元。
第1热处理部与搬送空间以排列在宽度方向的方式配置。第1热处理部具备多个第1热处理单元。第1热处理单元分别对1片衬底进行热处理。第1搬送机构将衬底搬送到第1热处理单元。
第2热处理部与搬送空间以排列在宽度方向的方式配置。更具体来说，搬送空间在宽度方向上配置在第1热处理部与第2热处理部之间。第2热处理部具备多个第2热处理单元。第2热处理单元分别对1片衬底进行热处理。第2搬送机构将衬底搬送到第2热处理单元。
第1热处理单元以排列在前后方向的方式配置。因此，能够相对容易地增加第1热处理部中所包含的第1热处理单元的数量。因此，第1热处理部能够对相对较多的衬底并行地进行热处理。同样地，第2热处理单元以排列在前后方向的方式配置。因此，能够相对容易地增加第2热处理部中所包含的第2热处理单元的数量。因此，第2热处理部能够对相对较多的衬底并行地进行热处理。因此，能够适当地提高衬底处理装置的处理量。
在所述衬底处理装置中，优选所述第1搬送机构能够相对于所述第1热处理单元在前后方向上移动，所述第2搬送机构能够与所述第1搬送机构分开地相对于所述第2热处理单元在前后方向上移动。由于第1搬送机构能够相对于第1热处理单元在前后方向上移动，所以第1搬送机构能够适当地接近各第1热处理单元。由于第2搬送机构能够相对于第2热处理单元在前后方向上移动，所以第2搬送机构能够适当地接近各第2热处理单元。第2搬送机构的移动与第1搬送机构的移动分开。因此，第1搬送机构能够高效率地接近第1热处理单元。第2搬送机构能够高效率地接近第2热处理单元。
在所述衬底处理装置中，优选所述第1搬送机构具备：第1水平移动部，能够相对于所述第1热处理单元在前后方向上移动；第1臂部，支撑在所述第1水平移动部上，且能够相对于所述第1水平移动部绕第1轴线旋转；及第1保持部，固定在所述第1臂部上，且保持衬底；且所述第1轴线与上下方向平行，在俯视下，所述第1轴线相对于所述第1水平移动部的相对位置固定，在俯视下，所述第1保持部与所述第1轴线的距离固定，所述第2搬送机构具备：第2水平移动部，能够相对于所述第2热处理单元在前后方向上移动；第2臂部，支撑在所述第2水平移动部上，且能够相对于所述第2水平移动部绕第2轴线旋转；及第2保持部，固定在所述第2臂部上，且保持衬底；且所述第2轴线与上下方向平行，在俯视下，所述第2轴线相对于所述第2水平移动部的相对位置固定，俯视下的所述第2保持部与所述第2轴线的距离固定。
第1搬送机构具备第1水平移动部、第1臂部及第1保持部。第1臂部支撑在第1水平移动部上。第1保持部固定在第1臂部上。这样，第1保持部间接地支撑在第1水平移动部上。同样地，第2保持部间接地支撑在第2水平移动部上。
第1水平移动部能够相对于第1热处理单元在前后方向上移动。因此，第1保持部能够相对于第1热处理单元在前后方向上移动。第1臂部能够相对于第1水平移动部绕第1轴线旋转。因此，第1保持部能够相对于第1水平移动部绕第1轴线旋转。因此，第1保持部能够适当地接近第1热处理单元。同样地，第2保持部能够适当地接近各第2热处理单元。
在俯视下，第1轴线相对于第1水平移动部的相对位置固定。因此，第1臂部支撑在第1水平移动部上的构造简单。第1保持部固定在第1臂部上。进而，在俯视下，第1保持部与第1轴线的距离固定。因此，第1保持部支撑在第1臂部上的构造简单。这样，第1搬送机构的构造简单。因此，能够有效地减小俯视下的第1搬送机构的设置空间。因此，能够有效地减小俯视下的搬送空间的面积。同样地，第2搬送机构的构造简单。因此，能够有效地减小俯视下的第2搬送机构的设置空间。因此，能够进一步有效地减小俯视下的搬送空间的面积。
在所述衬底处理装置中，优选所述第1水平移动部在前后方向上移动的同时，所述第1臂部绕所述第1轴线旋转，由此，使保持在所述第1保持部的衬底朝向所述第1热处理单元在宽度方向上直线地移动，所述第2水平移动部在前后方向上移动的同时，所述第2臂部绕所述第2轴线旋转，由此，使保持在所述第2保持部的衬底朝向所述第2热处理单元在宽度方向上直线地移动。通过第1水平移动部在前后方向上移动，第1保持部在前后方向上平行移动。通过第1臂部绕第1轴线旋转，第1保持部绕第1轴线旋转。通过第1水平移动部及第1臂部同时并行地动作，第1保持部一边在前后方向上平行移动，一边绕第1轴线旋转。由此，使保持在第1保持部的衬底在宽度方向上直线地移动。进而，使保持在第1保持部的衬底朝向第1热处理单元在宽度方向上移动。因此，即使在前后方向上的1个第1热处理单元的长度较短的情况下，第1搬送机构也能够适当地将衬底搬送到第1热处理单元。同样地，第2水平移动部在前后方向上移动的同时，第2臂部绕第2轴线旋转，由此，使保持在第2保持部的衬底朝向第2热处理单元在宽度方向上直线地移动。因此，即使在前后方向上的1个第2热处理单元的长度较短的情况下，第2搬送机构也能够适当地将衬底搬送到第2热处理单元。
在所述衬底处理装置中，优选前后方向上的1个所述第1热处理单元的长度为衬底半径的3倍以下，前后方向上的1个所述第2热处理单元的长度为衬底半径的3倍以下。由于前后方向上的1个第1热处理单元的长度为衬底半径的3倍以下，所以第1热处理单元的尺寸相对较小。因此，能够适当地减小第1热处理单元的设置空间。由于前后方向上的1个第2热处理单元的长度为衬底半径的3倍以下，所以第2热处理单元的尺寸相对较小。因此，能够适当地减小第2热处理单元的设置空间。
即使在第1搬送机构具有所述简单构造的情况下，第1搬送机构也能够朝向第1热处理单元在宽度方向上直线地搬送衬底。因此，能够将具有所述简单构造的第1搬送机构适当地应用于相对较小的第1热处理单元。而且，通过将具有所述简单构造的第1搬送机构应用于相对较小的第1热处理单元，能够有效地减小衬底处理装置的占据面积。同样地，通过将具有所述简单构造的第2搬送机构应用于相对较小的第2热处理单元，能够有效地减小衬底处理装置的占据面积。
在所述衬底处理装置中，优选所述第1热处理单元分别具有位于所述第1热处理单元的中心的假想的第1中心点，在前后方向上相邻的2个所述第1中心点之间的距离为衬底半径的3倍以下，所述第2热处理单元分别具有位于所述第2热处理单元的中心的假想的第2中心点，在前后方向上相邻的2个所述第2中心点之间的距离为衬底半径的3倍以下。由于在前后方向上相邻的2个第1中心点之间的距离为衬底半径的3倍以下，所以在前后方向上相邻的2个第1中心点之间的距离相对较小。因此，第1热处理单元的尺寸相对较小，且排列在前后方向的2个第1热处理单元相互近接。因此，能够适当地减小第1热处理单元的设置空间。即，能够适当地减小第1热处理部的设置空间。同样地，由于在前后方向上相邻的2个第2中心点之间的距离为衬底半径的3倍以下，所以第2热处理单元的尺寸相对较小，且排列在前后方向的2个第2热处理单元相互近接。因此，能够适当地减小第2热处理单元的设置空间。即，能够适当地减小第2热处理部的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置的占据面积。
通过对省空间的第1热处理部应用具有简单构造的第1搬送机构，能够有效地减小衬底处理装置的占据面积。同样地，通过对省空间的第2热处理部应用具有简单构造的第2搬送机构，能够有效地减小衬底处理装置的占据面积。
在所述衬底处理装置中，优选宽度方向上的所述搬送空间的长度为衬底半径的5倍以下。能够减小俯视下的搬送空间的面积。因此，能够减小衬底处理装置的占据面积(设置面积)。
在所述衬底处理装置中，优选所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理包含：预处理，是对进行液体处理前的衬底进行的热处理；及后处理，是对进行了所述液体处理后的衬底进行的热处理；且所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理包含所述预处理及所述后处理。第1热处理部与第2热处理部分别对进行液体处理前的衬底进行预处理。因此，能够高效率地对衬底进行预处理。第1热处理部与第2热处理部分别对进行了液体处理后的衬底进行后处理。因此，能够高效率地对衬底进行后处理。
在所述衬底处理装置中，优选所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理包含疏水化处理及加热处理，且所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理包含所述疏水化处理及所述加热处理。第1热处理部与第2热处理部分别对衬底进行疏水化处理。因此，能够高效率地对衬底进行疏水化处理。第1热处理部与第2热处理部分别对衬底进行加热处理。因此，能够高效率地对衬底进行加热处理。
在所述衬底处理装置中，优选所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同。由此，能够高效率地对衬底进行热处理。
在所述衬底处理装置中，优选衬底处理装置具备：第1前载置部，配置在所述第1搬送机构的前方，能够供所述第1搬送机构载置衬底；及第2前载置部，配置在所述第2搬送机构的前方，能够供所述第2搬送机构载置衬底；且所述第1前载置部与所述第2前载置部以排列在上下方向的方式配置，所述第2前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠。第1前载置部与第2前载置部以排列在上下方向的方式配置。第2前载置部在俯视下与第1前载置部重叠。因此，能够减小俯视下的第1前载置部与第2前载置部的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置的占据面积。
在所述衬底处理装置中，优选衬底处理装置具备对衬底进行液体处理的液体处理部，且所述液体处理部配置在所述第1搬送机构能够搬送衬底的区域的外部，且配置在所述第2搬送机构能够搬送衬底的区域的外部。液体处理部配置在第1搬送机构无法接近的位置。因此，第1搬送机构不向液体处理部搬送衬底。因此，能够适当地防止第1搬送机构所负担的衬底的搬送量变得过大。同样地，液体处理部配置在第2搬送机构无法接近的位置。因此，第2搬送机构不向液体处理部搬送衬底。因此，能够适当地防止第2搬送机构所负担的衬底的搬送量变得过大。
在所述衬底处理装置中，优选所述衬底处理装置具备液体处理用搬送机构，该液体处理用搬送机构配置在所述第1搬送机构及所述第2搬送机构的后方，且将衬底搬送到所述液体处理部，且所述液体处理部配置在与所述液体处理用搬送机构邻接的位置。衬底处理装置具备液体处理用搬送机构。因此，能够适当地将衬底搬送到液体处理部。液体处理用搬送机构配置在第1搬送机构的后方。因此，能够适当地防止第1搬送机构与液体处理用搬送机构干涉。液体处理用搬送机构配置在第2搬送机构的后方。因此，能够适当地防止第2搬送机构与液体处理用搬送机构干涉。液体处理部配置在与液体处理用搬送机构邻接的位置。因此，液体处理用搬送机构能够容易地接近液体处理部。
在所述衬底处理装置中，优选所述衬底处理装置具备：第3搬送机构，设置在所述搬送空间中，且搬送衬底；第4搬送机构，设置在所述搬送空间中，且搬送衬底；第3热处理部，对衬底进行热处理；及第4热处理部，对衬底进行热处理；且所述第3热处理部、所述搬送空间及第4热处理部以依序排列在宽度方向的方式配置，所述第3搬送机构与所述第4搬送机构配置在所述第1搬送机构与所述第2搬送机构的上方，所述第3热处理部在俯视下与所述第1热处理部重叠，所述第4热处理部在俯视下与所述第2热处理部重叠，所述第3热处理部具备以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第3热处理单元，所述第4热处理部具备以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第4热处理单元，且所述第3搬送机构将衬底搬送到所述第3热处理单元，所述第4搬送机构将衬底搬送到所述第4热处理单元。第3搬送机构与第4搬送机构配置在第1搬送机构与第2搬送机构的上方。因此，能够减小俯视下的第1搬送机构、第2搬送机构、第3搬送机构及第4搬送机构的设置空间。换句话说，能够减小俯视下的搬送空间的设置面积。第3热处理部在俯视下与第1热处理部重叠。因此，能够减小俯视下的第1热处理部与第3热处理部的设置空间。第4热处理部在俯视下与第2热处理部重叠。因此，能够减小俯视下的第2热处理部与第4热处理部的设置空间。第3热处理部与搬送空间以排列在宽度方向的方式配置。第3热处理部具备多个第3热处理单元。第3热处理单元分别对1片衬底进行热处理。第3搬送机构将衬底搬送到第3热处理单元。第4热处理部与搬送空间以排列在宽度方向的方式配置。更具体来说，搬送空间在宽度方向上配置在第3热处理部与第4热处理部之间。第4热处理部具备多个第4热处理单元。第4热处理单元分别对1片衬底进行热处理。第4搬送机构将衬底搬送到第4热处理单元。第3热处理单元以排列在前后方向的方式配置。因此，能够相对容易地增加第3热处理部中所包含的第3热处理单元的数量。因此，第3热处理部能够对相对较多的衬底并行地进行热处理。第4热处理单元以排列在前后方向的方式配置。因此，能够相对容易地增加第4热处理部中所包含的第4热处理单元的数量。因此，第4热处理部能够对相对较多的衬底并行地进行热处理。因此，能够适当地提高衬底处理装置的处理量。
在所述衬底处理装置中，优选所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同，所述第3热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同，所述第4热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同。由此，能够高效率地对衬底进行热处理。
在所述衬底处理装置中，优选所述衬底处理装置具备：第1前载置部，配置在所述第1搬送机构的前方，能够供所述第1搬送机构载置衬底；第2前载置部，配置在所述第2搬送机构的前方，能够供所述第2搬送机构载置衬底；第3前载置部，配置在所述第3搬送机构的前方，能够供所述第3搬送机构载置衬底；及第4前载置部，配置在所述第4搬送机构的前方，能够供所述第4搬送机构载置衬底；且所述第1前载置部、所述第2前载置部、所述第3前载置部及所述第4前载置部以排列在上下方向的方式配置，所述第2前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠，所述第3前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠，所述第4前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠。第1前载置部、第2前载置部、第3前载置部及第4前载置部以排列在上下方向的方式配置。第2前载置部在俯视下与第1前载置部重叠。第3前载置部在俯视下与第1前载置部重叠。第4前载置部在俯视下与第1前载置部重叠。因此，能够减小俯视下的第1前载置部、第2前载置部、第3前载置部及第4前载置部的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置的占据面积。
在所述衬底处理装置中，优选所述衬底处理装置具备移载传送用搬送机构，该移载传送用搬送机构配置在所述第1前载置部、所述第2前载置部、所述第3前载置部及所述第4前载置部的前方；且所述移载传送用搬送机构包含：在收容衬底的载具与所述第1前载置部之间搬送衬底，在所述载具与所述第2前载置部之间搬送衬底，在所述载具与所述第3前载置部之间搬送衬底，且在所述载具与所述第4前载置部之间搬送衬底。移载传送用搬送机构在载具与第1前载置部之间搬送衬底。因此，能够经由第1前载置部在移载传送用搬送机构与第1搬送机构之间搬送衬底。同样地，移载传送用搬送机构在载具与第2前载置部之间搬送衬底。因此，能够经由第2前载置部在移载传送用搬送机构与第2搬送机构之间搬送衬底。移载传送用搬送机构在载具与第3前载置部之间搬送衬底。因此，能够经由第3前载置部在移载传送用搬送机构与第3搬送机构之间搬送衬底。移载传送用搬送机构在载具与第4前载置部之间搬送衬底。因此，能够经由第4前载置部在移载传送用搬送机构与第4搬送机构之间搬送衬底。
在所述衬底处理装置中，优选所述衬底处理装置具备对衬底进行液体处理的液体处理部，且所述液体处理部为所述第1搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部，所述第2搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部，所述第3搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部，且所述第4搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部。液体处理部配置在第1搬送机构无法接近的位置。因此，第1搬送机构不向液体处理部搬送衬底。因此，能够适当地防止第1搬送机构所负担的衬底的搬送量变得过大。同样地，液体处理部配置在第2搬送机构无法接近的位置。因此，第2搬送机构不向液体处理部搬送衬底。因此，能够适当地防止第2搬送机构所负担的衬底的搬送量变得过大。液体处理部配置在第3搬送机构无法接近的位置。因此，第3搬送机构不向液体处理部搬送衬底。因此，能够适当地防止第3搬送机构负担的衬底的搬送量变得过大。液体处理部配置在第4搬送机构无法接近的位置。因此，第4搬送机构不向液体处理部搬送衬底。因此，能够适当地防止第4搬送机构所负担的衬底的搬送量变得过大。
在所述衬底处理装置中，优选所述衬底处理装置具备液体处理用搬送机构，该液体处理用搬送机构配置在所述第1搬送机构、所述第2搬送机构、所述第3搬送机构及所述第4搬送机构的后方，且将衬底搬送到所述液体处理部，所述液体处理部配置在与所述液体处理用搬送机构在宽度方向上并排的位置、及所述液体处理用搬送机构的后方位置中的至少任一位置。衬底处理装置具备液体处理用搬送机构。因此，能够适当地将衬底搬送到液体处理部。液体处理用搬送机构配置在第1搬送机构的后方。因此，能够适当地防止第1搬送机构与液体处理用搬送机构干涉。同样地，液体处理用搬送机构配置在第2搬送机构、第3搬送机构及第4搬送机构的后方。因此，能够适当地防止第2搬送机构、第3搬送机构及第4搬送机构与液体处理用搬送机构干涉。液体处理部配置在与液体处理用搬送机构在宽度方向上并排的位置、及液体处理用搬送机构的后方位置中的至少任一位置。因此，液体处理用搬送机构能够容易地接近液体处理部。
在所述衬底处理装置中，优选所述衬底处理装置具备：第1后载置部，配置在所述第1搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第1搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；第2后载置部，配置在所述第2搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第2搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；第3后载置部，配置在所述第3搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第3搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；及第4后载置部，配置在所述第4搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第4搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；且所述第1后载置部、所述第2后载置部、所述第3后载置部及所述第4后载置部以排列在上下方向的方式配置，所述第2后载置部在俯视下与所述第1后载置部重叠，所述第3后载置部在俯视下与所述第1后载置部重叠，所述第4后载置部在俯视下与所述第1后载置部重叠。第1后载置部、第2后载置部、第3后载置部及第4后载置部以排列在上下方向的方式配置。第2后载置部在俯视下与第1后载置部重叠。第3后载置部在俯视下与第1后载置部重叠。第4后载置部在俯视下与第1后载置部重叠。因此，能够减小俯视下的第1后载置部、第2后载置部、第3后载置部及第4后载置部的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置的占据面积。第1搬送机构及液体处理用搬送机构能够将衬底载置到第1后载置部。因此，能够经由第1后载置部在第1搬送机构与液体处理用搬送机构之间搬送衬底。同样地，第2搬送机构及液体处理用搬送机构能够将衬底载置到第2后载置部。因此，能够经由第2后载置部在第2搬送机构与液体处理用搬送机构之间搬送衬底。第3搬送机构及液体处理用搬送机构能够将衬底载置到第3后载置部。因此，能够经由第3后载置部在第3搬送机构与液体处理用搬送机构之间搬送衬底。第4搬送机构及液体处理用搬送机构能够将衬底载置到第4后载置部。因此，能够经由第4后载置部在第4搬送机构与液体处理用搬送机构之间搬送衬底。
附图说明
为了说明发明而图示了目前认为优选的几个方式，但要理解发明并不限定于图示那样的构成及方案。
图1是实施方式的衬底处理装置的俯视图。
图2是表示衬底处理装置的右部构成的右侧视图。
图3是表示宽度方向上的衬底处理装置的中央部构成的右侧视图。
图4是表示衬底处理装置的左部构成的左侧视图。
图5是移载传送部的前视图。
图6是表示移载传送部的内部构成的前视图。
图7是热处理块的前视图。
图8是热处理块的放大俯视图。
图9是例示热处理部的保养位置的俯视图。
图10是例示热处理部的保养位置的前视图。
图11a是第1框架与第2框架的俯视图，图11b是第1框架与第2框架的前视图，图11c是第1框架的右侧视图。
图12a是可动部件的俯视图，图12b是可动部件的前视图，图12c是可动部件的右侧视图。
图13是示意性地表示衬底所通过的衬底处理装置的要素的图。
图14a－14r是表示搬送机构的动作例的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的衬底处理装置。
<衬底处理装置的概要>
图1是实施方式的衬底处理装置的俯视图。衬底处理装置1对衬底(例如半导体晶圆)w进行处理。
衬底w例如为半导体晶圆、液晶显示器用衬底、有机el(electroluminescence)用衬底、fpd(flatpaneldisplay)用衬底、光显示器用衬底、磁盘用衬底、光盘用衬底、磁光盘用衬底、光掩模用衬底及太阳电池用衬底。衬底w具有较薄的平板形状。衬底w在俯视下具有大致圆形状。
衬底处理装置1具备储存部11、移载传送部21、热处理块31及液体处理块61。储存部11保管多个载具c。载具c收容多片衬底w。载具c例如为foup(frontopeningunifiedpod，前开式晶圆盒)。移载传送部21从载具c搬出衬底w，且向载具c搬入衬底w。热处理块31对衬底w进行热处理。液体处理块61对衬底w进行液体处理。
储存部11与移载传送部21连接。载具c在储存部11与移载传送部21之间被搬送。移载传送部21与热处理块31连接。衬底w在移载传送部21与热处理块31之间被搬送。热处理块31与液体处理块61连接。衬底w在热处理块31与液体处理块61之间被搬送。
储存部11、移载传送部21、热处理块31及液体处理块61以依序排列成1列的方式配置。将储存部11、移载传送部21、热处理块31及液体处理块61排列的方向称为“前后方向x”。前后方向x是水平的。将前后方向x中从液体处理块61朝向储存部11的方向称为“前方”。将与前方相反的方向称为“后方”。将与前后方向x正交的水平方向称为“宽度方向y”或“侧方”。将“宽度方向y”的一方向适当地称为“右方”。将与右方相反的方向称为“左方”。将垂直方向称为“上下方向z”。上下方向z与前后方向x正交，且与宽度方向y正交。在各图中，适当地示出前、后、右、左、上、下作为参考。
衬底处理装置1还具备前载置部81及后载置部83。前载置部81配置在移载传送部21与热处理块31之间。前载置部81供载置衬底w。衬底w经由前载置部81在移载传送部21与热处理块31之间被搬送。后载置部83配置在热处理块31与液体处理块61之间。后载置部83供载置衬底w。衬底w经由后载置部83在热处理块31与液体处理部61之间被搬送。
以下说明储存部11、移载传送部21、热处理块31、液体处理块61、前载置部81及后载置部83。
<储存部11>
参照图1－4。图2是表示衬底处理装置1的右部构成的右侧视图。图3是表示宽度方向y上的衬底处理装置1的中央部构成的右侧视图。图4是表示衬底处理装置1的左部构成的左侧视图。
储存部11具备多个架板13。各架板13供载置多个载具c。架板13具有大致水平的板形状。多个架板13以排列在上下方向z的方式配置。
根据载具c的状况，能够将载具c分类为若干个类别。例如，载具c被分类为在储存部11与未图示的外部搬送机构之间交接的载具c(称为“前一种载具c”)、及除此之外的载具c(称为“后一种载具c”)。此处，外部搬送机构是衬底处理装置1的外部机器。外部搬送机构搬送载具c。外部搬送机构例如设置在储存部11的上方。外部搬送机构例如为oht(overheadhoisttransfer，高架提升传输小车)。前一种载具c进而被分类为储存部11从外部搬送机构接收的载具c、及储存部11交付给外部搬送机构的载具c。后一种载具c进而被分类为收容未处理的衬底w的载具c、未收容衬底w的载具c、及收容已处理的衬底w的载具c。
也可以针对所述的载具c每种类别，改变载置在架板13上的载具c的位置。
储存部11具备搬送载具c的载具搬送机构15。载具搬送机构15配置在架板13与移载传送部21之间。载具搬送机构15能够将载具c载置到架板13上，且能够获取架板13上的载具c。进而，载具搬送机构15能够在架板13与移载传送部21之间搬送载具c。
载具搬送机构15具备导轨部16a、水平移动部16b、垂直移动部16c、第1臂部16d、第2臂部16e及保持部16f。导轨部16a设置为固定。导轨部16a在大致宽度方向y上延伸。水平移动部16b支撑在导轨部16a上。水平移动部16b能够相对于导轨部16a在大致宽度方向y上移动。水平移动部16b在大致上下方向z上延伸。垂直移动部16c支撑在水平移动部16b上。垂直移动部16c能够相对于水平移动部16b在大致上下方向z上移动。第1臂部16d支撑在垂直移动部16c上。第1臂部16d能够相对于垂直移动部16c绕旋转轴线a16d旋转。旋转轴线a16d是与大致上下方向z平行的假想线。第2臂部16e在支撑第1臂部16d上。第2臂部16e能够相对于第1臂部16d绕旋转轴线a16e旋转。旋转轴线a16e是与大致上下方向z平行的假想线。保持部16f支撑在第2臂部16e上。保持部16f保持1个载具c。具体来说，保持部16f固持载具c的上部。
参照图2－4。载具搬送机构15还具备垂直移动部16g、第1臂部16h、第2臂部16i及保持部16j。垂直移动部16g、第1臂部16h、第2臂部16i及保持部16j分别具有与垂直移动部16c、第1臂部16d、第2臂部16e及保持部16f大致相同的形状及构造。垂直移动部16g支撑在水平移动部16b上。垂直移动部16g能够与垂直移动部16c分开地动作。第1臂部16h支撑在垂直移动部16g上。第2臂部16i支撑在第1臂部16h上。保持部16j支撑在第2臂部16i上。
<移载传送部21>
参照图1－5。图5是移载传送部21的前视图。移载传送部21具备载具载置部22a1、22a2、22b1、22b2。在载具载置部22a1、22a2、22b1、22b2分别载置有1个载具c。
载具载置部22a1、22a2以排列在上下方向z的方式配置。载具载置部22a2配置在载具载置部22a1的上方。载具载置部22b1、22b2以排列在上下方向z的方式配置。载具载置部22b2配置在载具载置部22b1的上方。载具载置部22a1配置在与载具载置部22b1大致相同的高度位置。载具载置部22a1、22b1以排列在宽度方向y的方式配置。载具载置部22a1配置在载具载置部22b1的右方。载具载置部22a2配置在与载具载置部22b2大致相同的高度位置。载具载置部22a2、22b2以排列在宽度方向y的方式配置。载具载置部22a2配置在载具载置部22b2的右方。
在不区分载具载置部22a1、22a2的情况下，记载为“载具载置部22a”。在不区分载具载置部22b1、22b2的情况下，记载为“载具载置部22b”。
载具载置部22a、22b配置在载具搬送机构15的后方。载具搬送机构15能够将载具c载置到载具载置部22a、22b上。载具搬送机构15能够获取载具载置部22a、22b上的载具c。
参照图1－4、6。图6是表示移载传送部21的内部构成的前视图。移载传送部21具备搬送空间23。搬送空间23配置在载具载置部22a、22b的后方。搬送空间23具有大致箱形状。搬送空间23在俯视、侧视及前视下为大致矩形。
移载传送部21具备框架24。框架24被设置为搬送空间23的骨架(skeleton)。框架24划定搬送空间23的形状。框架24例如为金属制。
移载传送部21具备移载传送用搬送机构25。移载传送用搬送机构25设置在搬送空间23中。移载传送用搬送机构25在载置于载具载置部22a、22b的载具c与热处理块31之间搬送衬底w。
移载传送用搬送机构25具备2个搬送机构26a、26b。搬送机构26b配置在与搬送机构26a大致相同的高度位置。搬送机构26a、26b以排列在宽度方向y的方式配置。搬送机构26b配置在搬送机构26a的左方。搬送机构26a配置在载具载置部22a的后方。搬送机构26b配置在载具载置部22b的后方。搬送机构26a在载置于载具载置部22a的载具c与热处理块31之间搬送衬底w。搬送机构26b在载置于载具载置部22b的载具c与热处理块31之间搬送衬底w。搬送机构26b能够与搬送机构26a分开地搬送衬底w。
搬送机构26a具备支柱27a、垂直移动部27b、旋转部27c及保持部27d、27e。支柱27a支撑在框架24上。支柱27a固定在框架24上。支柱27a无法相对于框架24移动。支柱27a在大致上下方向z上延伸。垂直移动部27b支撑在支柱27a上。垂直移动部27b能够相对于支柱27a在大致上下方向z上移动。垂直移动部27b无法相对于支柱27a在大致水平方向上移动。旋转部27c支撑在垂直移动部27b上。旋转部27c能够相对于垂直移动部27b绕旋转轴线a27c旋转。旋转轴线a27c是与大致上下方向z平行的假想线。保持部27d、27e支撑在旋转部27c上。保持部27d、27e能够相对于旋转部27c进退移动。更具体来说，保持部27d、27e能够在由旋转部27c的朝向决定的水平的一方向上往复移动。水平的一方向例如为旋转轴线a27c的径向。保持部27d、27e可相互分开地进退移动。保持部27d、27e分别将1片衬底w以水平姿势保持。
这样，保持部27d、27e能够在上下方向z上平行移动。保持部27d、27e能够绕旋转轴线a27c旋转。保持部27d、27e能够相对于旋转部27c进退移动。
搬送机构26b除为左右对称的方面以外，具有与搬送机构26a大致相同的构造及形状。即，搬送机构26b具备支柱27a、垂直移动部27b、旋转部27c及保持部27d、27e。
这样，在本说明书中，在不同要素具有相同构造的情况下，通过对该构造标注共通的符号而省略详细的说明。
<热处理块31>
<<热处理块31的概要>>
参照图1－4、7。图7是热处理块31的前视图。热处理块31具有大致箱形状。热处理块31在俯视、侧视及前视下为大致矩形。
热处理块31具备搬送空间32及热处理用搬送机构33。热处理用搬送机构33设置在搬送空间32中。热处理用搬送机构33搬送衬底w。
热处理用搬送机构33具备多个(例如8个)搬送机构34a1、34a2、34a3、34a4、34b1、34b2、34b3、34b4。在不区分搬送机构34a1－34a4、34b1－34b4的情况下，将搬送机构34a1－34a4、34b1－34b4统称为搬送机构34。搬送机构34分别搬送衬底w。
热处理块31具备多个(例如8个)热处理部37a1、37a2、37a3、37a4、37b1、37b2、37b3、37b4。在不区分热处理部37a1－37a4、37b1－37b4的情况下，将热处理部37a1－37a4、37b1－37b4统称为热处理部37。热处理部37分别对衬底w进行热处理。
热处理部37a1具备多个(例如7个)热处理单元38a1。同样地，热处理部37a2－37a4、37b1－37b4分别具备多个(例如7个)热处理单元38a2－38a4、38b1－38b4。在不区分热处理单元38a1－38a4、38b1－38b4的情况下，将热处理单元38a1－38a4、38b1－38b4统称为热处理单元38。热处理单元38分别对1片衬底w进行热处理。
热处理块31具备多个(例如8个)检查部41a1、41a2、41a3、41a4、41b1、41b2、41b3、41b4。在不区分检查部41a1－41a4、41b1－41b4的情况下，将检查部41a1－41a4、41b1－41b4统称为检查部41。检查部41检查衬底w。
检查部41a1具备1个检查单元42a1。同样地，检查部41a2－41a4、41b1－41b4分别具备1个检查单元42a2－42a4、42b1－42b4。在不区分检查单元42a1－42a4、42b1－42b4的情况下，将检查单元42a1－42a4、42b1－42b4统称为检查单元42。检查单元42检查1片衬底w。
搬送机构34a1向热处理部37a1搬送衬底w。搬送机构34a1不向热处理部37a1以外的热处理部37搬送衬底w。对于热处理部37a1，主要由搬送机构34a1搬送衬底w。具体来说，搬送机构34a1向热处理单元38a搬送衬底w。同样地，搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4分别向热处理部37a2－37a4、37b1－37b4搬送衬底w。具体来说，搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4分别向热处理单元38a2－38a4、38b1－38b4搬送衬底w。
搬送机构34a1将衬底w搬送到检查部41a1。搬送机构34a1不向检查部41a1以外的检查部41搬送衬底w。对于检查部41a1，主要由搬送机构34a1搬送衬底w。具体来说，搬送机构34a向检查单元42a1搬送衬底w。同样地，搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4分别向检查部41a2－41a4、41b1－41b4搬送衬底w。具体来说，搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4分别向检查单元42a2－42a4、42b1－42b4搬送衬底w。
<<热处理块31的各要素的配置>>
对搬送空间32、热处理用搬送机构33、热处理部37及检查部41的配置进行说明。
参照图1。搬送空间32在俯视下配置在宽度方向y上的热处理块31的中央部。搬送空间32在俯视下具有大致矩形形状。搬送空间32在大致前后方向x上延伸。搬送空间32与移载传送部21的搬送空间23相接。搬送空间32配置在搬送机构26a的左方且后方。搬送空间32配置在搬送机构26b的右方且后方。
图8是热处理块31的放大俯视图。宽度方向y上的搬送空间32的长度l1例如为衬底w的半径r的5倍以下。长度l1为衬底w的半径r的4倍以上。长度l1比前后方向x上的搬送空间32的长度l2短。这样，长度l1相对较小。
参照图7、8。搬送空间32具有位于搬送空间32的中心的假想的中心点j。图7、8表示通过中心点j且与宽度方向y正交的假想面k。搬送机构34a1－34a4配置在假想面k的右方。搬送机构34b1－34b4配置在假想面k的左方。
搬送机构34b1配置在与搬送机构34a1大致相同的高度位置。搬送机构34a1、34b1以排列在宽度方向y的方式配置。搬送机构34b1配置在搬送机构34a1的左方。搬送机构34b1配置在与搬送机构34a1左右对称的位置。具体来说，搬送机构34b1配置在相对于假想面k与搬送机构34a1左右对称的位置。
搬送机构34a2、34b2的相对位置关系与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。搬送机构34a3、34b3的相对位置关系与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。搬送机构34a4、34b4的相对位置关系与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。
参照图7。搬送机构34a2、34b2配置在搬送机构34a1、34b1的上方。搬送机构34a3、34b3配置在搬送机构34a2、34b2的上方。搬送机构34a4、34b4配置在搬送机构34a3、34b3的上方。
搬送机构34a1－34a4以排列在上下方向z的方式配置。搬送机构34a2在俯视下与搬送机构34a1重叠。搬送机构34a3在俯视下与搬送机构34a1重叠。搬送机构34a4在俯视下与搬送机构34a1重叠。
搬送机构34b1－34b4以排列在上下方向z的方式配置。搬送机构34b2在俯视下与搬送机构34b1重叠。搬送机构34b3在俯视下与搬送机构34b1重叠。搬送机构34b4在俯视下与搬送机构34b1重叠。
参照图1、2、4、7、8。热处理部37a1、搬送空间32及热处理部37b1以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。换句话说，搬送空间32在大致宽度方向y上配置在热处理部37a1与热处理部37b1之间。同样地，热处理部37a2、搬送空间32及热处理部37b2以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。热处理部37a3、搬送空间32及热处理部37b3以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。热处理部37a4、搬送空间32与热处理部37b4以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。
具体来说，热处理部37a1－37a4配置在搬送空间32的右方的位置。热处理部37b1－37b4配置在搬送空间32的左方的位置。
参照图7。热处理部37a1配置在与搬送机构34a1大致相同的高度位置。热处理部37a1配置为与搬送机构34a1在大致宽度方向y上并排。热处理部37a1配置在搬送机构34a1的右方的位置。同样地，热处理部37a2－37a4分别配置在与搬送机构34a2－34a4大致相同的高度位置。热处理部37a2－37a4分别配置为与搬送机构34a2－34a4在大致宽度方向y上并排。热处理部37a2－37a4分别配置在搬送机构34a2－34a4的右方的位置。
热处理部37b1配置在与搬送机构34b1大致相同的高度位置。热处理部37b1配置为与搬送机构34b1在大致宽度方向y上并排。热处理部37b1配置在搬送机构34b1的左方的位置。同样地，热处理部37b2－37b4分别配置在与搬送机构34b2－34b4大致相同的高度位置。热处理部37b2－37b4分别配置为与搬送机构34b2－34b4在大致宽度方向y上并排。热处理部37b2－37b4分别配置在搬送机构34b2－34b4的左方的位置。
热处理部37a1、搬送机构34a1、搬送机构34b1及热处理部37b1以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。同样地，热处理部37a2、搬送机构34a2、搬送机构34b2及热处理部37b2以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。热处理部37a3、搬送机构34a3、搬送机构34b3及热处理部37b3以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。热处理部37a4、搬送机构34a4、搬送机构34b4及热处理部37b4以依序排列在大致宽度方向y的方式配置。
参照图2、7。热处理部37a1－37a4以排列在上下方向z的方式配置。热处理部37a2配置在热处理部37a1的上方。热处理部37a3配置在热处理部37a2的上方。热处理部37a4配置在热处理部37a3的上方。热处理部37a2在俯视下与热处理部37a1重叠。热处理部37a3在俯视下与热处理部37a1重叠。热处理部37a4在俯视下与热处理部37a1重叠。
参照图4、7。热处理部37b1－37b4以排列在上下方向z的方式配置。热处理部37b2配置在热处理部37b1的上方。热处理部37b3配置在热处理部37b2的上方。热处理部37b4配置在热处理部37b3的上方。热处理部37b2在俯视下与热处理部37b1重叠。热处理部37b3在俯视下与热处理部37b1重叠。热处理部37b4在俯视下与热处理部37b1重叠。
参照图7。热处理部37b1配置在与热处理部37a1大致相同的高度位置。热处理部37b1隔着搬送空间32与热处理部37a1相向。热处理部37b1配置在与热处理部37a1左右对称的位置。具体来说，热处理部37b1配置在相对于假想面k与热处理部37a1左右对称的位置。
热处理部37a2、37b2的相对位置关系与热处理部37a1、37b1的相对位置关系相同。热处理部37a3、37b3的相对位置关系与热处理部37a1、37b1的相对位置关系相同。热处理部37a4、37b4的相对位置关系与热处理部37a1、37b1的相对位置关系相同。
参照图1、2、4。检查部41a1－41a4配置在搬送空间32的右方的位置。检查部41b1－41b4配置在搬送空间32的左方的位置。
虽然省略了图示，但检查部41a1－41a4、41b1－41b4分别配置在与搬送机构34a1－34a4、34b1－34b4大致相同的高度位置。检查部41a1－41a4分别配置在搬送机构34a1－34a4的右方。检查部41b1－41b4分别配置在搬送机构34b1－34b4的左方。
检查部41a1－41a4以排列在上下方向z的方式配置。检查部41b1－41b4以排列在上下方向z的方式配置。
检查部41b1配置在与检查部41a1大致相同的高度位置。检查部41b1隔着搬送空间32与检查部41a1相向。检查部41b1配置在与检查部41a1左右对称的位置。具体来说，检查部41b1配置在相对于假想面k与检查部41a1左右对称的位置。
检查部41a2、41b2的相对位置关系与检查部41a1、41b1的相对位置关系相同。检查部41a3、41b3的相对位置关系与检查部41a1、41b1的相对位置关系相同。检查部41a4、41b4的相对位置关系与检查部41a1、41b1的相对位置关系相同。
参照图8。多个(例如2个或3个)热处理单元38a1以排列在大致前后方向x的方式配置。多个(例如2个或3个)热处理单元38b1以排列在大致前后方向x的方式配置。
前后方向x上的1个热处理单元38a1的长度la为衬底w的半径r的3倍以下。长度la大于衬底w的半径r的2倍。
热处理单元38a1分别具有位于热处理单元38a1的中心的假想的第1中心点ga1。在大致前后方向x上相邻的2个第1中心点ga1之间的距离da为衬底w的半径r的3倍以下。距离da大于衬底w的半径r的2倍。
前后方向x上的1个热处理单元38b1的长度lb为衬底w的半径r的3倍以下。长度lb大于衬底w的半径r的2倍。长度lb与长度la大致相等。
热处理单元38b1分别具有位于热处理单元38b1的中心的假想的第2中心点gb1。在大致前后方向x上相邻的2个第2中心点gb1之间的距离db为衬底w的半径r的3倍以下。距离db大于衬底w的半径r的2倍。距离db与距离da大致相等。
参照图2。多个(例如2个或3个)热处理单元38a1以排列在大致上下方向z的方式配置。
多个热处理单元38a1与1个检查单元42a1在侧视下配置为矩阵状。例如，多个热处理单元38a1与1个检查单元42a1在前后方向x上配置为3列，且在上下方向z上配置为3段。检查单元42a1在俯视下与至少1个以上的热处理单元38a1重叠。
参照图4。多个(例如2个或3个)热处理单元38b1以排列在大致上下方向z的方式配置。
多个热处理单元38b1与1个检查单元42b1在侧视下配置为矩阵状。例如，多个热处理单元38b1与1个检查单元42b1在前后方向x上配置为3列，且在上下方向z上配置为3段。检查单元42b1在俯视下与至少1个以上的热处理单元38b1重叠。
热处理单元38a2、38a3、38a4分别与热处理单元38a1同样地配置。热处理单元38b2、38b3、38b4分别与热处理单元38b1同样地配置。检查单元42a2、42a3、42a4分别与检查单元42a1同样地配置。检查单元42b2、42b3、42b4分别与检查单元42b1同样地配置。
<<热处理块31的搬送机构34的构造>>
参照图3、8来说明搬送机构34a1的构造。搬送机构34a1具备导轨部35a、水平移动部35b、垂直移动部35c、臂部35d及保持部35e。导轨部35a设置为固定。导轨部35a在大致水平方向上延伸。具体来说，导轨部35a在大致前后方向x上延伸。导轨部35a从比第1中心点ga1中的任一个靠前方的位置延伸到比第1中心点ga1中的任一个靠后方的位置。水平移动部35b支撑在导轨部35a上。水平移动部35b能够相对于导轨部35a在大致水平方向上移动。具体来说，水平移动部35b能够相对于导轨部35a在大致前后方向x上移动。水平移动部35b在大致上下方向z上延伸。上下方向z上的水平移动部35b的长度比前后方向x上的导轨部35a的长度短。垂直移动部35c支撑在水平移动部35b上。垂直移动部35c能够相对于水平移动部35b在大致上下方向z上移动。垂直移动部35c从水平移动部35b向右方突出。臂部35d支撑在垂直移动部35c上。臂部35d能够相对于垂直移动部35c绕旋转轴线a35d旋转。旋转轴线a35d是与大致上下方向z平行的假想线。旋转轴线a35d例如通过臂部35d。旋转轴线a35d例如位于水平移动部35b的右方。臂部35d从垂直移动部35c在水平方向上延伸。保持部35e支撑在臂部35d上。保持部35e固定在臂部35d上。旋转轴线a35d未通过保持部35e。保持部35e配置在偏离旋转轴线a35d的位置。保持部35e将1片衬底w以水平姿势保持。
搬送机构34a1还具备臂部35f及保持部35g。臂部35f与保持部35g分别具有与臂部35d及保持部35e大致相同的形状及构造。臂部35f配置在臂部35d的下方。臂部35f支撑在垂直移动部35c上。臂部35f能够相对于垂直移动部35c绕旋转轴线a35f旋转。旋转轴线a35f是与大致上下方向z平行的假想线。旋转轴线a35f位于与旋转轴线a35d相同的轴线上。臂部35f能够与臂部35d分开地旋转。保持部35g固定在臂部35f上。
这样，保持部35e、35g分别能够在前后方向x及上下方向z上平行移动。进而，保持部35e、35g分别能够绕旋转轴线a35d旋转。但是，保持部35e、35g均无法在宽度方向y上平行移动。
图8表示在俯视下通过旋转轴线a35d且与大致前后方向x平行的假想线e。假想线e通过旋转轴线a35f。在俯视下，旋转轴线a35d、a35f在假想线e上移动。在俯视下，旋转轴线a35d、a35f无法移动到偏离假想线e的位置。
在俯视下，旋转轴线a35d相对于水平移动部35b的相对位置固定，且在俯视下，保持部35e与旋转轴线a35d的距离固定。因此，搬送机构34a1的构造简单。以下进行具体说明。
在俯视下，旋转轴线a35d相对于水平移动部35b的相对位置固定。例如，即使臂部35d相对于水平移动部35b绕旋转轴线a35d旋转，旋转轴线a35d在俯视下也保持在水平移动部35b的右方的位置。因此，水平移动部35b支撑臂部35d的构造相对简单。在俯视下，保持部35e与旋转轴线a35d的距离固定。例如，即使臂部35d相对于水平移动部35b及垂直移动部35c绕旋转轴线a35d旋转，保持部35e与旋转轴线a35d的距离也保持为固定。因此，臂部35d支撑保持部35e的构造相对简单。
同样地，在俯视下，旋转轴线a35f相对于水平移动部35b的相对位置固定，且在俯视下，保持部35g与旋转轴线a35f的距离固定。因此，即使着眼于保持部35g，搬送机构34a1的构造也较为简单。具体来说，水平移动部35b支撑臂部35f的构造相对简单，且臂部35f支撑保持部35g的构造也相对简单。
搬送机构34a2－34a4分别具有与搬送机构34a1大致相同的构造。搬送机构34b1－34b4除为左右对称的方面以外，具有与搬送机构34a1大致相同的构造及形状。
搬送机构34a1能够相对于热处理单元38a1在大致前后方向x上移动。更具体来说，搬送机构34a1的水平移动部35b、垂直移动部35c、臂部35d、保持部35e、臂部35f及保持部35g能够相对于热处理单元38a1在大致前后方向x上移动。同样地，搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4分别能够相对于热处理单元38a2－38a4、38b1－38b4在大致前后方向x上移动。
搬送机构34a1能够相对于检查单元42a1在大致前后方向x上移动。同样地，搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4分别能够相对于检查单元42a2－42a4、42b1－42b4在大致前后方向x上移动。
各搬送机构34分别能够相互分开地在大致前后方向x上移动。具体来说，搬送机构34a1－34a4、34b1－34b4的水平移动部35b分别能够相互分开地在大致前后方向x上移动。例如，搬送机构34a1能够与除搬送机构34a1以外的搬送机构34分开地在大致前后方向x上移动。
图8示意性地表示搬送机构34a1能够搬送衬底w的区域ba。图8示意性地表示搬送机构34b1能够搬送衬底w的区域bb。区域ba、bb分别具有在前后方向x上较长的椭圆形状。例如，前后方向x上的区域ba的长度大于宽度方向y上的区域ba的长度。热处理部37a1配置在区域ba的内部。热处理部37b1配置在区域bb的内部。热处理部37b1配置在区域ba的外部。热处理部37a1配置在区域bb的外部。
搬送机构34a2、34a3、34a4能够搬送衬底w的区域在俯视下与区域ba大致相同。搬送机构34b2、34b3、34b4能够搬送衬底w的区域在俯视下与区域bb大致相同。
搬送机构34a1是本发明中的第1搬送机构的例子。搬送机构34b1是本发明中的第2搬送机构的例子。搬送机构34a2是本发明中的第3搬送机构的例子。搬送机构34b2是本发明中的第4搬送机构的例子。
搬送机构34a1的导轨部35a是本发明中的第1导轨部的例子。搬送机构34a1的水平移动部35b是本发明中的第1水平移动部的例子。搬送机构34a1的垂直移动部35c是本发明中的第1垂直移动部的例子。搬送机构34a1的臂部35d、35f是本发明中的第1臂部的例子。搬送机构34a1的旋转轴线a35d、a35f是本发明中的第1轴线的例子。搬送机构34a1的保持部35e、35g是本发明中的第1保持部的例子。
搬送机构34b1的导轨部35a是本发明中的第2导轨部的例子。搬送机构34b1的水平移动部35b是本发明中的第2水平移动部的例子。搬送机构34b1的垂直移动部35c是本发明中的第2垂直移动部的例子。搬送机构34b1的臂部35d、35f是本发明中的第2臂部的例子。搬送机构34b1的旋转轴线a35d、a35f是本发明中的第2轴线的例子。搬送机构34b1的保持部35e、35g是本发明中的第2保持部的例子。
<<热处理块31的热处理单元38的构造>>
参照图1说明热处理单元38的构造。此外，热处理单元38a1－38a4、38b1－38b4的构造基本上大致相同。
热处理单元38具备第1平板39a。第1平板39a具有大致圆盘形状。1片衬底w载置在第1平板39a上。例如，搬送机构34a1能够将衬底w载置在热处理单元38a1的第1平板39a上。搬送机构34a1能够获取热处理单元38a1的第1平板39a上的衬底w。
热处理单元38具备第2平板39b。第2平板39b设置在与第1平板39a大致相同的高度位置。第1平板39a与第2平板39b以排列在大致宽度方向y的方式配置。第2平板39b具有大致圆盘形状。1片衬底w载置在第2平板39b上。
热处理单元38具备未图示的局部搬送机构。局部搬送机构在第1平板39a与第2平板39b之间搬送衬底w。
热处理单元38具备未图示的第1调温部。第1调温部安装在第1平板39a及局部搬送机构中的至少任一个上。在第1调温部安装在第1平板39a的情况下，第1调温部调整第1平板39a上的衬底w的温度。在第1调温部安装在局部搬送机构的情况下，第1调温部调整保持在局部搬送机构的衬底w的温度。第1调温部将衬底w调整为第1温度。第1调温部例如将衬底w冷却。第1调温部例如为热交换器。热交换器例如具有供热媒(冷却水)流动的流路。
热处理单元38具备未图示的第2调温部。第2调温部安装在第2平板39b上。第2调温部调整第2平板39b上的衬底w的温度。第2调温部将衬底w调整为高于第1温度的第2温度。第2调温部例如将衬底w加热。第2调温部例如为加热器。
如上所述，热处理部37分别对衬底w进行热处理。更详细地说，热处理部37a1对衬底w进行的热处理包含疏水化处理、加热处理及冷却处理。疏水化处理是一边向衬底w供给包含六甲基二硅氮烷(hmds：hexamethyldisilazane)的处理气体，一边将衬底w调整为特定的温度的处理。疏水化处理是为了提高衬底w与涂膜的密接性而进行的。加热处理是将衬底w加热。冷却处理是将衬底w冷却。
热处理部37b1对衬底w进行的热处理包含疏水化处理、加热处理及冷却处理。这样，热处理部37b1对衬底w进行的热处理与热处理部37a1对衬底w进行的热处理相同。
热处理部37a2－37a4、37b2－37b4对衬底w进行的热处理包含疏水化处理、加热处理及冷却处理。这样，热处理部37a2－37a4、37b2－37b4对衬底w进行的热处理与热处理部37a1对衬底w进行的热处理相同。
参照图2。如上所述，热处理部37a1具备多个(例如7个)热处理单元38a1。此处，1个以上的热处理单元38a1相当于进行疏水化处理的疏水化处理单元ahp。其它1个以上的热处理单元38a1相当于进行加热处理的加热单元hp。剩余的1个以上的热处理单元38a1相当于进行冷却处理的冷却单元cp。例如，热处理部37a1具备2个疏水化处理单元ahp、4个加热单元hp及1个冷却单元cp。
参照图2、4。同样地，热处理部37a2－37a4、37b1－37b4分别具备2个疏水化处理单元ahp、4个加热单元hp、1个冷却单元cp及热处理单元38。
热处理单元38的构造在疏水化处理单元ahp、加热单元hp与冷却单元cp之间可以是不同的。例如，疏水化处理单元ahp还可以具备向第2平板39b上的衬底w供给处理气体的气体供给部。例如，冷却单元cp也可以不具备第2平板39b、局部搬送机构及第2调温部。
此处，能将热处理分类为预处理与后处理。预处理是对进行液体处理前的衬底w进行的热处理。后处理是对进行液体处理后的衬底w进行的热处理。液体处理是在液体处理块61中对衬底w进行的处理。热处理部37a1对衬底w进行的热处理也可以包含预处理与后处理。预处理可以包含所述疏水化处理。后处理可以包含所述热处理与冷却处理。同样地，热处理部37a2－37a4、37b1－37b4对衬底w进行的热处理也可以分别包含预处理与后处理。
热处理部37a1是本发明中的第1热处理部的例子。热处理部37b1是本发明中的第2热处理部的例子。热处理部37a2是本发明中的第3热处理部的例子。热处理部37b2是本发明中的第4热处理部的例子。
热处理单元38a1是本发明中的第1热处理单元的例子。热处理单元38b1是本发明中的第2热处理单元的例子。热处理单元38a2是本发明中的第3热处理单元的例子。热处理单元38b2是本发明中的第4热处理单元的例子。
<<热处理块31的检查单元42的构造>>
参照图1说明检查单元42的构造。此外，检查单元42a1－42a4、42b1－42b4的构造大致相同。
检查单元42具备平板43a。平板43a具有大致圆盘形状。1片衬底w载置在平板43a上。例如，搬送机构34a1能够将衬底w载置到检查单元42a1的平板43a上。搬送机构34a1能够获取检查单元42a1的平板43a上的衬底w。
检查单元42具备摄像部43b。摄像部43b例如配置在平板43a的上方。摄像部43b拍摄平板43a上的衬底w的上表面。
检查单元42也可以具备未图示的驱动部。驱动部使平板43a与摄像部43b中的至少任一个移动，而改变平板43a与摄像部43b的相对位置。通过驱动部改变平板43a与摄像部43b的相对位置，能够改变由摄像部43b拍摄的衬底w的上表面的范围。
检查单元42基于由摄像部43b拍摄的图像，检查衬底w的上表面。以下例示由检查单元42进行的检查的内容。
·测定衬底w的上表面的形状
·特定出衬底w的上表面的状态
·检测衬底w的上表面的缺陷
此处，衬底w的上表面意味着包含衬底w的上表面本身、形成在衬底w的上表面的涂膜、及形成在衬底w的上表面的图案中的至少任一个。所述“测定衬底w的上表面的形状”例如包含测定、检查形成在衬底w的上表面的涂膜的膜厚，或测定、检查衬底w的切边宽度。
<<热处理块31的各要素的支撑构造>>
参照图1、7。图1、7表示位于处理位置的热处理部37。处理位置是用于对衬底w进行热处理的热处理部37的位置。
将热处理部37a1的处理位置适当地称为处理位置pa1。同样地，将热处理部37a2－37a4、37b1－37b4的处理位置分别适当地称为处理位置pa2－pa4、pb1－pb4。
图9是例示热处理部37的保养位置的俯视图。图10是例示热处理部37的保养位置的前视图。保养位置是用于进行热处理部37的保养的热处理部37的位置。保养例如意味着包含热处理部37的检查、保养、调整、修理及修缮等。各热处理部37以能够移动到处理位置与保养位置的方式设置。
将热处理部37a1的保养位置适当地称为保养位置qa1。同样地，将热处理部37a2－37a4、37b1－37b4的保养位置分别适当地称为保养位置qa2－qa4、qb1－qb4。
处理位置pa1是本发明中的第1处理位置的例子。处理位置pb1、pa2、pb2分别是本发明中的第2、第3、第4处理位置的例子。保养位置qa1是本发明中的第1保养位置的例子。保养位置qb1、qa2、qb2分别是本发明中的第2、第3、第4保养位置的例子。
以下，说明热处理部37、搬送机构34及检查部41的支撑构造。
参照图1－4、7、8。热处理块31具备框架45。框架45被设置为热处理块31的骨架(skeleton)。框架45划定热处理块31的形状。框架45例如为金属制。
框架45包含第1框架46及第2框架47。第2框架47配置在与第1框架46大致相同的高度位置。第1框架46与第2框架47以排列在水平方向的方式配置。具体来说，第1框架46与第2框架47以排列在宽度方向y的方式配置。第2框架47配置在第1框架46的左方。第1框架46划定热处理块31的右部的形状。第2框架47划定热处理块31的左部的形状。
第1框架46支撑搬送机构34a1－34a4、热处理部37a1－37a4及检查部41a1－41a4。第2框架47支撑搬送机构34b1－34b4、热处理部37b1－37b4及检查部41b1－41b4。
图11a是第1框架与第2框架的俯视图。图11b是第1框架与第2框架的前视图。图11c是第1框架的右侧视图。第1框架46与第2框架47在前视下具有左右对称的形状。第1框架46与第2框架47在俯视下分别具有大致矩形形状。
第1框架46具备基座部48a。基座部48a具有大致水平的板形状或箱形状。基座部48a在俯视下具有大致矩形形状。
第1框架46具有多个(例如4个)支柱48b。支柱48b分别与基座部48a连接。支柱48b分别从基座部48a向上方延伸。
第1框架46包含杆48c。杆48c配置在比基座部48a高的位置。杆48c将支柱48b彼此连结。杆48c在大致水平方向上延伸。
第1框架46具备空间48d。空间48d由基座部48a、支柱48b及杆48c划分。空间48d具有大致长方体形状。
第2框架47具有与第1框架46相同的构造。第2框架47具有与第1框架46相同的形状。第2框架47相当于使第1框架46绕与上下方向z平行的轴芯旋转180度所得的构成。第2框架47包含基座部48a、支柱48b、杆48c及空间48d。
第1框架46的空间48d是本发明中的“第1框架46的内部”的例子。第1框架46的空间48d的外部是本发明中的“第1框架46的外部”的例子。第2框架47的空间48d是本发明中的“第2框架47的内部”的例子。第2框架47的空间48d的外部是本发明中的“第2框架47的外部”的例子。
第2框架47与第1框架46连结。具体来说，第2框架47的基座部48a与第1框架46的基座部48a连结。
更具体来说，第1框架46的基座部48a具有位于比第1框架46的支柱48b更靠左方的左部。第2框架47的基座部48a具有位于比第2框架47的支柱48b更靠右方的右部。第2框架47的基座部48a的右部与第1框架46的基座部48a的左部连结。第2框架47的支柱48b不与第1框架46的支柱48b接触。第2框架47的支柱48b配置在第1框架46的支柱48b的左方。
第2框架47能够与第1框架46分离。
搬送空间32形成在第1框架46与第2框架47之间。具体来说，搬送空间32形成在第1框架46的左方且第2框架47的右方。更详细地说，搬送空间32形成在第1框架46的支柱48b的左方且比第2框架47的支柱48b更靠右方。
参照图2－4、7、9、10。热处理块31具备多个(例如8个)可动部件51a1、51a2、51a3、51a4、51b1、51b2、51b3、51b4。在不区分可动部件51a1－51a4、51b1－51b4的情况下，将可动部件51a1－51a4、51b1－51b4统称为可动部件51。
可动部件51a1－51a4支撑在第1框架46上。可动部件51a1－51a4能够相对于第1框架46移动。可动部件51b1－51b4支撑在第2框架47上。可动部件51b1－51b4能够相对于第2框架47移动。
热处理块31具备多个引导部55及多个滑动部56。引导部55固定在第1框架46及第2框架47上。引导部55例如固定在第1框架46及第2框架47的杆48c上。滑动部56个别地固定在可动部件51a1－51a4、51b1－51b4上。各滑动部56仅固定在可动部件51a1－51a4、51b1－51b4中的任一个上。各滑动部56支撑在引导部55上。固定在可动部件51a1－51a4上的滑动部56由固定在第1框架46上的引导部55支撑。经由引导部55与滑动部56，可动部件51a1－51a4支撑在第1框架46上。固定在可动部件51b1－51b4上的滑动部56由固定在第2框架47上的引导部55支撑。经由引导部55与滑动部56，可动部件51b1－51b4支撑在第2框架47上。
各滑动部56能够相对于引导部55移动。具体来说，滑动部56能够相对于引导部55滑动。滑动部56例如能够相对于引导部55在大致宽度方向y上移动。通过滑动部56相对于引导部55移动，各可动部件51相对于框架45移动。例如，通过固定在可动部件51a1的滑动部56相对于引导部55移动，可动部件51a1相对于第1框架46移动。例如，通过固定在可动部件51b1的滑动部56相对于引导部55移动，可动部件51b1相对于第2框架47移动。
各滑动部56能够相互分开地相对于引导部55移动。因此，各可动部件51能够相互分开地相对于第1框架46及第2框架47中的至少任一个移动。
图12a是可动部件51a1的俯视图。图12b是可动部件51a1的前视图。图12c是可动部件51a1的右侧视图。以下，说明可动部件51a1的构造。
可动部件51a1具备底板52a。底板52a具有大致水平的板形状。底板52a在俯视下具有大致矩形形状。所述滑动部56例如固定在底板52a。
可动部件51具备多个(例如4个)支柱52b。支柱52b分别与底板52a连接。支柱52b分别从底板52a向上方延伸。
可动部件51具备多个(例如2个)搁板52c。各搁板52c配置在底板52a的上方。各搁板52c支撑在支柱52b上。各搁板52c具有大致水平的板形状。各搁板52c在俯视下比底板52a小。
可动部件51具备多个壁部52d。壁部52d与搁板52c连接。壁部52d具有大致垂直的板形状。具体来说，壁部52d具有与前后方向x大致垂直的板形状。搁板52c与壁部52d将底板52a的上方的空间分成多个(例如9个)小空间(槽)52e。多个槽52e在侧视下配置为矩阵状。
可动部件51具备1个顶板52f。顶板52f配置在搁板52c的上方。顶板52f配置在槽52e的上方。顶板52f支撑在支柱52b上。顶板52f具有大致水平的板形状。顶板52f在俯视下比底板52a小。顶板52f在俯视下具有与搁板52c大致相同的宽度。
可动部件51a2－51a4、51b1－51b4具备与可动部件51a1大致相同的构造。
参照图2、7、9、10。可动部件51a1支撑热处理部37a1。具体来说，热处理单元38a1设置在可动部件51a1的底板52a上及搁板52c上。各热处理单元38a1配置在1个槽52e中。各热处理单元38a1在俯视下与搁板52c及顶板52f重叠。
参照图3、7、9、10。可动部件51a1支撑搬送机构34a1。具体来说，搬送机构34a1设置在可动部件51a1的底板52a上。搬送机构34a1在俯视下不与搁板52c及顶板52f重叠。更详细地说，搬送机构34a1的导轨部35a设置在可动部件51a1的底板52a上。搬送机构34a1的导轨部35a在俯视下不与搁板52c及顶板52f重叠。搬送机构34a1的导轨部35a固定在第1可动部件51a1(具体来说为底板52a)上。
参照图2。可动部件51a1支撑检查部41a1。例如，1个检查单元42a1载置在可动部件51a1的搁板52c上。检查单元42a1配置在1个槽52e中。检查单元42a1在俯视下与搁板52c及顶板52f重叠。
热处理块31具备电气装置部57a1。可动部件51a1支撑电气装置部57a1。例如，电气装置部57a1载置在可动部件51a1的搁板52c上。电气装置部57a1配置在可动部件51a1的1个槽52e中。电气装置部57a1在俯视下与搁板52c及顶板52f重叠。
此处，电气装置部57a1是与搬送机构34a1、热处理部37a1及检查部41a1中的至少任一个相关联的电气零件。电气装置部57a1例如对搬送机构34a1、热处理部37a1及检查部41a1中的至少任一个进行电气控制。电气装置部57a1例如对搬送机构34a1、热处理部37a1及检查部41a1中的至少任一个供给电力。
参照图2、4、7、9、10。同样地，可动部件51a2－51a4、51b1－51b4分别支持热处理部37a2－37a4、37b1－37b4、搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4及检查部41a2－41a4、41b1－41b4。
热处理块31具备电气装置部57a2－57a4、57b1－57b4。可动部件51a2－51a4、51b1－51b4分别支撑电气装置部57a2－57a4、57b1－57b4。在不区分电气装置部57a1－57a4、57b1－57b4的情况下，将电气装置部57a1－57a4、57b1－57b4统称为电气装置部57。
如上所述，第1框架46经由可动部件51a1支撑搬送机构34a1、热处理部37a1、检查部41a1及电气装置部57a1。同样地，第1框架46经由可动部件51a2－51a4支撑搬送机构34a2－34a4、热处理部37a2－37a4、检查部41a2－41a4及电气装置部57a2－57a4。第2框架47经由可动部件51b1－51b4支撑搬送机构34b1－34b4、热处理部37b1－37b4、检查部41b1－41b4及电气装置部57b1－57b4。
热处理部37a1配置在比搬送机构34a1更远离第2框架47的位置。搬送机构34a1配置在热处理部37a1与第2框架47之间。具体来说，搬送机构34a1在宽度方向y上配置在热处理部37a1与第2框架47之间。同样地，热处理部37a2－37a4配置在比搬送机构34a2－34a4更远离第2框架47的位置。搬送机构34a2－34a4配置在热处理部37a2－37a4与第2框架47之间。
热处理部37b1配置在比搬送机构34b1更远离第1框架46的位置。搬送机构34b1配置在热处理部37b1与第1框架46之间。具体来说，搬送机构34b1在宽度方向y上配置在热处理部37b1与第1框架46之间。同样地，热处理部37b2－37b4配置在比搬送机构34b2－34b4更远离第1框架46的位置。搬送机构34b2－34b4配置在热处理部37b2－37b4与第1框架46之间。
参照图1、7、9、10。通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1相对于第1框架46移动。具体来说，通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1相对于第1框架46在大致水平方向上移动。更具体来说，通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1相对于第1框架46在大致宽度方向y上移动。
通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1与搬送机构34a1、检查部41a1及电气装置部57a1一体地移动。
通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1能够移动到处理位置pa1与保养位置qa1。此外，在热处理部37a1移动到处理位置pa1及保养位置qa1时，可动部件51a1未从第1框架46脱离，而保持为支撑在第1框架46上的状态。因此，第1框架46能够经由可动部件51a1在处理位置pa1支撑热处理部37a1。进而，第1框架46能够经由可动部件51a1在保养位置qa1支撑热处理部37a1。
保养位置qa1是与处理位置pa1大致相同的高度位置。保养位置qa1为处理位置pa1的右方。通过热处理部37a1向右方移动，热处理部37a1能够从处理位置pa1移动到保养位置qa1。通过热处理部37a1向左方移动，热处理部37a1能够从保养位置qa1移动到处理位置pa1。
在热处理部37a1位于处理位置pa1时，所有热处理部37a1均位于第1框架46的空间48d。即，在热处理部37a1位于处理位置pa1时，所有热处理部37a1均位于第1框架46的内部。
在热处理部37a1位于保养位置qa1时，热处理部37a1的至少一部分位于第1框架46的空间48d的外部。即，在热处理部37a1位于保养位置qa1时，热处理部37a1的至少一部分位于第1框架46的外部。在热处理部37a1位于保养位置qa1时位于第1框架46的外部的热处理部37a1的部分比在热处理部37a1位于处理位置pa1时位于第1框架46的外部的热处理部37a1的部分大。在热处理部37a1位于保养位置qa1时，热处理部37a1的至少一部分位于第1框架46的右方。优选在热处理部37a1位于保养位置qa1时，热处理部37a1的一半以上位于第1框架46的外部。
此外，在热处理部37a1位于保养位置qa1时，所有热处理部37a1均位于第2框架47的外部。即使在热处理部37a1位于处理位置pa1时，所有热处理部37a1也均位于第2框架47的外部。
再次对可动部件51a1与热处理部37a1进行说明。将从第2框架47朝向第1框架46的方向称为第1方向。在本实施方式中，第1方向为右方。通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1能够相对于第1框架46朝第1方向移动。通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，可动部件51a1能够将热处理部37a1的至少一部分从第1框架46朝第1方向拉出。
在热处理部37a1位于处理位置pa1时，所有检查部41a1均位于第1框架46的内部。在热处理部37a1位于处理位置pa1时，所有电气装置部57a1均位于第1框架46的内部。在热处理部37a1位于保养位置qa1时，检查部41a1的至少一部分位于第1框架46的外部。在热处理部37a1位于保养位置qa1时，电气装置部57a1的至少一部分位于第1框架46的外部。
通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1相对于第2框架47移动。具体来说，通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1相对于第2框架47在大致水平方向上移动。更具体来说，通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1相对于第2框架47在大致宽度方向y上移动。
通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1与搬送机构34b1、检查部41b1及电气装置部57b1一体地移动。
通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1能够移动到处理位置pb1与保养位置qb1。此外，在热处理部37b1移动到处理位置pb1及保养位置qb1时，可动部件51b1未从第2框架47脱离，而保持为支撑在第2框架47上的状态。因此，第2框架47能够经由可动部件51b1在处理位置pb1支撑热处理部37b1。进而，第2框架47能够经由可动部件51b1在保养位置qb1支撑热处理部37b1。
保养位置qb1是与处理位置pb1大致相同的高度位置。保养位置qb1为处理位置pb1的左方。通过热处理部37b1向左方移动，热处理部37b1能够从处理位置pb1移动到保养位置qb1。通过热处理部37b1向右方移动，热处理部37b1能够从保养位置qb1移动到处理位置pb1。
在热处理部37b1位于处理位置pb1时，所有热处理部37b1均位于第2框架47的内部。
在热处理部37b1位于保养位置qb1时，热处理部37b1的至少一部分位于第2框架47的外部。这样，在热处理部37b1位于保养位置qa1时位于第2框架47的外部的热处理部37b1的部分比在热处理部37b1位于处理位置pb1时位于第2框架47的外部的热处理部37b1的部分大。在热处理部37b1位于保养位置qb1时，热处理部37b1的至少一部分位于第2框架47的左方。优选在热处理部37b1位于保养位置qb1时，热处理部37b1的一半以上位于第2框架47的外部。
此外，在热处理部37b1位于保养位置qb1时，所有热处理部37b1均位于第1框架46的外部。在热处理部37b1位于处理位置pb1时，所有热处理部37b1也均位于第1框架46的外部。
再次对可动部件51b1与热处理部37b1进行说明。将与第1方向相反的方向称为第2方向。在本实施方式中，第2方向为左方。通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1能够相对于第2框架47在第2方向上移动。通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，可动部件51b1能够将热处理部37b1的至少一部分从第2框架47朝第2方向拉出。
在热处理部37b1位于处理位置pb1时，所有检查部41b1均位于第2框架47的内部。在热处理部37b1位于处理位置pb1时，所有电气装置部57b1均位于第2框架47的内部。在热处理部37b1位于保养位置qb1时，检查部41b1的至少一部分位于第2框架47的外部。在热处理部37b1位于保养位置qb1时，电气装置部57b1的至少一部分位于第2框架47的外部。
可动部件51a2－51a4与可动部件51a1同样地移动。可动部件51b2－51b4与可动部件51b1同样地移动。
热处理部37a2－37a4与热处理部37a1同样地移动。保养位置qa2位于保养位置qa1的上方。保养位置qa3位于保养位置qa2的上方。保养位置qa4位于保养位置qa3的上方。
热处理部37b2－37b4与热处理部37b1同样地移动。保养位置qb2位于保养位置qb1的上方。保养位置qb3位于保养位置qb2的上方。保养位置qb4位于保养位置qb3的上方。
热处理部37a1－37a4、37b1－37b4能够相互分开地移动。热处理部37a1－37a4、37b1－37b4能够互不干涉地移动到保养位置qa1－qa4、qb1－qb4。
可动部件51a1是本发明中的第1可动部件的例子。可动部件51b1是本发明中的第2可动部件的例子。可动部件51a2是本发明中的第3可动部件的例子。可动部件51b2是本发明中的第4可动部件的例子。
<液体处理块61>
参照图1－4。液体处理块61具有大致箱形状。液体处理块61在俯视及侧视下为大致矩形。虽然省略了图示，但液体处理块61在前视下也为大致矩形。
液体处理块61具有框架62。框架62被设置为液体处理块61的骨架(skeleton)。框架62划定液体处理块61的形状。框架62例如为金属制。
液体处理块61具备搬送空间63。搬送空间63在俯视下配置在宽度方向y上的液体处理块61的中央部。搬送空间63在大致前后方向x上延伸。搬送空间63与热处理块31的搬送空间32相接。
液体处理块61具备液体处理用搬送机构67。液体处理用搬送机构67设置在搬送空间63中。即，液体处理用搬送机构67配置在热处理用搬送机构33的后方。液体处理用搬送机构67搬送衬底w。
参照图3。搬送空间63具备2个搬送空间64a、64b。搬送空间64b配置在搬送空间64a的上方。
液体处理块61具备间隔壁65。间隔壁65具有水平的板形状。间隔壁65配置在搬送空间64a与搬送空间64b的边界。间隔壁65将搬送空间64a与搬送空间64b隔开。
液体处理用搬送机构67包含2个搬送机构68a、68b。搬送机构68a、68b以排列在上下方向z的方式配置。搬送机构68b配置在搬送机构68a的上方。搬送机构68a设置在搬送空间64a中。搬送机构68a配置在间隔壁65的下方。搬送机构68b设置在搬送空间64b中。搬送机构68b配置在间隔壁65的上方。搬送机构68a、68b分别搬送衬底w。搬送机构68a能够与搬送机构68b分开地搬送衬底w。
参照图1、3。搬送机构68a具备支柱69a、69b、垂直移动部69c、水平移动部69d、旋转部69e及保持部69f、69g。支柱69a、69b支撑在框架62上。支柱69a、69b固定在框架62上。支柱69a、69b无法相对于框架62移动。支柱69b配置在与支柱69a大致相同的高度位置。支柱69a、69b以排列在大致前后方向x的方式配置。支柱69a配置在搬送空间64a的左前部。支柱69b配置在搬送空间64a的左后部。支柱69a、69b在上下方向z上延伸。垂直移动部69c支撑在支柱69a、69b上。垂直移动部69c能够相对于支柱69a、69b在大致上下方向z上移动。垂直移动部69c在大致前后方向x上延伸。水平移动部69d支撑在垂直移动部69c上。水平移动部69d能够相对于垂直移动部69c在大致前后方向x上移动。旋转部69e支撑在水平移动部69d上。旋转部69e能够相对于水平移动部69d绕旋转轴线a69e旋转。旋转轴线a69e是与大致上下方向z平行的假想线。旋转轴线a69e例如位于水平移动部69d的右方。保持部69f、69g支撑在旋转部69e上。保持部69f、69g能够相对于旋转部69e进退移动。更具体来说，保持部69f、69g能够在由旋转部69e的朝向决定的水平的一方向上往复移动。水平的一方向例如为旋转轴线a69e的径向。保持部69f、69g能够相互分开地进退移动。保持部69f、69g分别将1片衬底w以水平姿势保持。
这样，保持部69f、69g能够在前后方向x及上下方向z上平行移动。保持部69f、69g能够绕旋转轴线a69e旋转。保持部69f、69g能够相对于旋转部69e进退移动。
搬送机构68b具有与搬送机构68a大致相同的构造。即，搬送机构68b具备支柱69a、69b、垂直移动部69c、水平移动部69d、旋转部69e及保持部69f、69g。
参照图1。液体处理块61具备液体处理部71。液体处理部71配置在搬送空间63的侧方。液体处理部71配置在与液体处理用搬送机构67邻接的位置。液体处理部71配置在与液体处理用搬送机构67大致相同的高度位置。液体处理部71配置在与液体处理用搬送机构67在大致宽度方向y上并排的位置。具体来说，液体处理部71配置在液体处理用搬送机构67的右方的位置及液体处理用搬送机构67的左方的位置。
参照图8。液体处理部71配置在热处理用搬送机构33能够搬送衬底w的区域的外部。液体处理部71配置在区域ba的外部。具体来说，下述旋转保持部75a配置在区域ba的外部。液体处理部71配置在区域bb的外部。具体来说，下述旋转保持部75a配置在区域bb的外部。同样地，液体处理部71配置在搬送机构34a2－34a4、34b2－34b4能够搬送衬底w的区域的外部。
液体处理部71对衬底w进行液体处理。液体处理是向衬底w供给处理液的处理。液体处理例如为涂布处理。处理液例如为涂膜材料。涂布处理是对衬底w涂布涂膜材料，在衬底w上形成涂膜的处理。涂膜材料例如为抗蚀剂膜材料。涂膜例如为抗蚀剂膜。
参照图1－4。液体处理部71具备多个(例如2个)液体处理部72、73。液体处理部72配置在与搬送机构68a大致相同的高度位置。液体处理部72配置在间隔壁65的下方。液体处理部73配置在与搬送机构68b大致相同的高度位置。液体处理部73配置在间隔壁65的上方。搬送机构68a将衬底w搬送到液体处理部72。搬送机构68b将衬底w搬送到液体处理部73。
液体处理部72配置在与搬送机构68a邻接的位置。液体处理部72具备配置在搬送机构68a的右方的液体处理部72r、及配置在搬送机构68a的左方的液体处理部72l。液体处理部73配置在与搬送机构68b邻接的位置。液体处理部73具备配置在搬送机构68b的右方的液体处理部73r、及配置在搬送机构68b的左方的液体处理部73l。
液体处理部72r、73r以排列在上下方向z的方式配置。液体处理部73r配置在液体处理部72r的上方。液体处理部72l、73l以排列在上下方向z的方式配置。液体处理部73l配置在液体处理部72l的上方。
液体处理部72r具备多个(例如4个)液体处理单元74。液体处理部72r的液体处理单元74在前后方向x及上下方向z上配置为矩阵状。例如，2个液体处理单元74配置在液体处理部72r的下段。剩余的2个液体处理单元74配置在液体处理部72r的上段。配置在液体处理部72r的下段的2个液体处理单元74以排列在前后方向x的方式配置。配置在液体处理部72r的上段的2个液体处理单元74以排列在前后方向x的方式配置。配置在液体处理部72r的上段的2个液体处理单元74在俯视下与配置在液体处理部72r的下段的2个液体处理单元74重叠。配置在液体处理部72r的下段的2个液体处理单元74收容在一个腔室76中。配置在液体处理部72r的上段的2个液体处理单元74收容在另一个腔室76中。
液体处理部72l具备多个(例如4个)液体处理单元74。液体处理部72l的液体处理单元74除为左右对称的方面以外，配置为与液体处理部72r的液体处理单元74相同。
液体处理部73r具备多个(例如4个)液体处理单元74。液体处理部73r的液体处理单元74配置为与液体处理部72r的液体处理单元74相同。
液体处理部73l具备多个(例如4个)液体处理单元74。液体处理部73l的液体处理单元74除为左右对称的方面以外，配置为与液体处理部72r的液体处理单元74相同。
液体处理单元74具备旋转保持部75a、喷嘴75b及承杯75c。旋转保持部75a将1片衬底w以水平姿势保持。例如，搬送机构68a能够将衬底w载置在液体处理部72的液体处理单元74的旋转保持部75a上。例如，搬送机构68a能够获取液体处理部72的液体处理单元74的旋转保持部75a上的衬底w。旋转保持部75a能够使所保持的衬底w绕与上下方向z平行的轴线旋转。喷嘴75b向衬底w喷出处理液。处理液例如为涂布液。喷嘴75b设置为可移动到处理位置与退避位置。处理位置为保持在旋转保持部75a的衬底w的上方的位置。在喷嘴75b位于处理位置时，喷嘴75b在俯视下与保持在旋转保持部75a的衬底w重叠。在喷嘴75b位于退避位置时，喷嘴75b在俯视下不与保持在旋转保持部75a的衬底w重叠。承杯75c配置在旋转保持部75a的周围。承杯75c回收处理液。
<前载置部81>
参照图1、3、6、8。前载置部81跨及移载传送部21与热处理块31配置。前载置部81跨及移载传送部21的搬送空间23与热处理块31的搬送空间32而配置。
前载置部81配置在移载传送用搬送机构25的后方。前载置部81配置在搬送机构26a的左方且后方。前载置部81配置在搬送机构26b的右方且后方。移载传送用搬送机构25在载具c与前载置部81之间搬送衬底w。
前载置部81配置在热处理用搬送机构33的前方。
前载置部81具备多个(例如8个)载置部82a1、82a2、82a3、82a4、82b1、82b2、82b3、82b4。在不区分载置部82a1－82a4、82b1－82b4的情况下，将载置部82a1－82a4、82b1－82b4统称为载置部82。各载置部82供载置衬底w。移载传送用搬送机构25能够将衬底w载置到各载置部82上。具体来说，搬送机构26a、26b分别能够将衬底w载置在各载置部82上。移载传送用搬送机构25能够获取各载置部82上的衬底w。具体来说，搬送机构26a、26b分别能够获取各载置部82上的衬底w。
多个载置部82以排列在大致上下方向z的方式配置。载置部82b1在俯视下与载置部82a1重叠。同样地，载置部82a2－82a4、82b2－82b4在俯视下与载置部82a1重叠。各载置部82配置在与假想面k交叉的位置(参照图8)。
载置部82a2、82b2配置在载置部82a1、82b1的上方。载置部82a3、82b3配置在载置部82a2、82b2的上方。载置部82a4、82b4配置在载置部82a3、82b3的上方。
载置部82a1、82b1配置在与搬送机构34a1、34b1大致相同的高度位置。载置部82a1、82b1配置在搬送机构34a1的前方且左方。载置部82a1、82b1配置在搬送机构34b1的前方且右方。搬送机构34a1、34b1分别能够将衬底w载置在载置部82a1、82b1上。搬送机构34a1、34b1分别能够获取载置部82a1、82b1上的衬底w。
载置部82a2、82b2与搬送机构34a2、34b2的相对位置关系和载置部82a1、82b1与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。载置部82a3、82b3与搬送机构34a3、34b3的相对位置关系和载置部82a1、82b1与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。载置部82a4、82b4与搬送机构34a4、34b4的相对位置关系和载置部82a1、82b1与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。
各载置部82具备多个(例如2个)平板85。多个平板85以排列在大致上下方向z的方式配置。1片衬底w载置在1个平板85上。因此，各载置部82能够载置多个衬底w。
载置部82a1是本发明中的第1前载置部的例子。载置部82b1是本发明中的第2前载置部的例子。载置部82a2是本发明中的第3前载置部的例子。载置部82b2是本发明中的第4前载置部的例子。
<后载置部83>
参照图1、3、8。后载置部83跨及热处理块31与液体处理块61而配置。后载置部83跨及热处理块31的搬送空间32与液体处理块61的搬送空间63而配置。
后载置部83配置在热处理用搬送机构33的后方。后载置部83配置在液体处理用搬送机构67的前方。
后载置部83具备多个(例如8个)载置部84a1、84a2、84a3、84a4、84b1、84b2、84b3、84b4。在不区分载置部84a1－84a4、84b1－84b4的情况下，将载置部84a1－84a4、84b1－84b4统称为载置部84。各载置部84供载置衬底w。液体处理用搬送机构67能够将衬底w载置到各载置部84上。液体处理用搬送机构67能够获取各载置部84上的衬底w。
多个载置部84以排列在大致上下方向z的方式配置。载置部84b1在俯视下与载置部84a1重叠。同样地，载置部84a2－84a4、84b2－84b4在俯视下与载置部84a1重叠。各载置部84配置在与假想面k交叉的位置(参照图8)。
载置部84a2、84b2配置在载置部84a1、84b1的上方。载置部84a3、84b3配置在载置部84a2、84b2的上方。载置部84a4、84b4配置在载置部84a3、84b3的上方。
载置部84a1、84b1配置在与搬送机构34a1、34b1大致相同的高度位置。载置部84a1、84b1配置在搬送机构34a1的后方且左方。载置部84a1、84b1配置在搬送机构34b1的后方且右方。搬送机构34a1、34b1分别能够将衬底w载置到载置部84a1、84b1上。搬送机构34a1、34b1分别能够获取载置部84a1、84b1上的衬底w。
载置部84a2、84b2与搬送机构34a2、34b2的相对位置关系和载置部84a1、84b1与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。载置部84a3、84b3与搬送机构34a3、34b3的相对位置关系和载置部84a1、84b1与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。载置部84a4、84b4与搬送机构34a4、34b4的相对位置关系和载置部84a1、84b1与搬送机构34a1、34b1的相对位置关系相同。
载置部84a1、84a2、84b1、84b2配置在与搬送机构68a大致相同的高度位置。载置部84a1、84a2、84b1、84b2配置在搬送机构68a的前方。搬送机构68a能够将衬底w载置到载置部84a1、84a2、84b1、84b2上。搬送机构68a能够获取载置部84a1、84a2、84b1、84b2上的衬底w。
载置部84a3、84a4、84b3、84b4配置在与搬送机构68b大致相同的高度位置。载置部84a3、84a4、84b3、84b4配置在搬送机构68b的前方。搬送机构68b能够将衬底w载置到载置部84a3、84a4、84b3、84b4上。搬送机构68b能够获取载置部84a3、84a4、84b3、84b4上的衬底w。
各载置部84具有与载置部82大致相同的构造。具体来说，各载置部84具备多个(例如2个)平板85。各载置部84能够载置多个衬底w。
载置部84a1是本发明中的第1后载置部的例子。载置部84b1是本发明中的第2后载置部的例子。载置部84a2是本发明中的第3后载置部的例子。载置部84b2是本发明中的第4后载置部的例子。
<控制部>
参照图1。衬底处理装置1具备控制部91。控制部91例如设置在移载传送部21。控制部91控制储存部11、移载传送部21、热处理块31及液体处理块61。更具体来说，控制部91控制载具搬送机构15、移载传送用搬送机构25、热处理用搬送机构33、热处理部37、检查部41、电气部57、液体处理用搬送机构67及液体处理部71。
控制部91是通过执行各种处理的中央运算处理装置(cpu)、成为运算处理的作业区域的ram(random-accessmemory，随机存取存储器)、及固定盘等存储介质等而实现。存储介质中存储着用于处理衬底w的处理方案(处理程序)、或用于识别各衬底w的信息等各种信息。
<衬底处理装置1的动作例>
以下说明储存部11与移载传送部21的动作例、及移载传送部21、热处理块31与液体处理块61的动作例。
<<储存部11与移载传送部21的动作例>>
未图示的外部搬送机构将收容未处理的衬底w的载具c载置到架板13上。载具搬送机构15将收容未处理的衬底w的载具c从架板13载置到载具载置部22a。搬送机构26a从载具载置部22a上的载具c搬出衬底w。搬送机构26a从载具载置部22a上的载具c搬出所有衬底w后，载具搬送机构15从载具载置部22a向载具载置部22b搬送未收容衬底w的载具c。此时，载具搬送机构15也可以将未收容衬底w的载具c暂时载置到架板13上。搬送机构26b将处理过的衬底w搬入到载具载置部22b上的载具c。之后，载具搬送机构15从载具载置部22b向架板13搬送收容处理过的衬底w的载具c。外部搬送机构从架板13获取收容处理过的衬底w的载具c。
<<移载传送部21、热处理块31与液体处理块61的动作例>>
图13是示意性地表示衬底w所通过的衬底处理装置1的要素(例如搬送机构或处理部)的图。
搬送机构26a将衬底w从载具载置部22a上的载具c搬送到载置部82a1－82a4、82b1－82b4。例如，搬送机构26a可以每次将1片衬底w载置到各载置部82上。例如，搬送机构26a也可以每次将2片衬底w载置到各载置部82上。例如，搬送机构26a也可以将2片衬底w同时载置到各载置部82上。
搬送机构34a1将衬底w从载置部82a1搬送到热处理单元38a1(具体来说为疏水化处理单元ahp)。热处理部37a1的疏水化处理单元ahp对衬底w进行疏水化处理。搬送机构34a1将衬底w从热处理部37a1的疏水化处理单元ahp搬送到载置部84a1。
搬送机构34b1将衬底w从载置部82b1搬送到热处理单元38b1(具体来说为疏水化处理单元ahp)。热处理部37b1的疏水化处理单元ahp对衬底w进行疏水化处理。搬送机构34b1将衬底w从热处理部37b1的疏水化处理单元ahp搬送到载置部84b1。
搬送机构34a2－34a4、34b2－34b4分别与搬送机构34a1、34b1同样地搬送衬底w。搬送机构34a1－34a4、34b1－34b4并行地动作。热处理部37a2－37a4、37b2－37b4分别与热处理部37a1、37b1同样地对衬底w进行热处理。热处理部37a1－37a4、37b1－37b4并行地动作。
搬送机构68a将衬底w从载置部84a1、84a2、84b1、84b2搬送到液体处理部72。液体处理部72对衬底w进行液体处理。搬送机构68a将衬底w从液体处理部72搬送到载置部84a1、84a2、84b1、84b2。
搬送机构68b将衬底w从载置部84a3、84a4、84b3、84b4搬送到液体处理部73。液体处理部73对衬底w进行液体处理。搬送机构68b将衬底w从液体处理部73搬送到载置部84a3、84a4、84b3、84b4。
搬送机构34a1将衬底w从载置部84a1搬送到热处理单元38a1(具体来说为加热单元hp)。热处理部37a1的加热单元hp对衬底w进行加热处理。搬送机构34a1将衬底w从热处理部37a1的加热单元hp搬送到其它热处理单元38a1(具体来说为冷却单元cp)。热处理部37a1的冷却单元cp对衬底w进行冷却处理。搬送机构34a1将衬底w从热处理部37a1的冷却单元cp搬送到检查部41a1。检查部41a1检查衬底w。搬送机构34a1将衬底w从检查部41a1搬送到载置部82a1。
搬送机构34b1将衬底w从载置部84b1搬送到热处理单元38b1(具体来说为加热单元hp)。热处理部37b1的加热单元hp对衬底w进行加热处理。搬送机构34b1将衬底w从热处理部37b1的加热单元hp搬送到其它热处理单元38b1(具体来说为冷却单元cp)。热处理部37b1的冷却单元cp对衬底w进行冷却处理。搬送机构34b1将衬底w从热处理部37b1的冷却单元cp搬送到检查部41b1。检查部41b1检查衬底w。搬送机构34b1将衬底w从检查部41b1搬送到载置部82b1。
搬送机构34a2－34a4、34b2－34b4分别与搬送机构34a1、34b1同样地搬送衬底w。搬送机构34a1－34a4、34b1－34b4并行地动作。热处理部37a2－37a4、37b2－37b4分别与热处理部37a1、37b1同样地对衬底w进行热处理。热处理部37a1－37a4、37b1－37b4并行地动作。检查部41a2－41a4、41b2－41b4分别与检查部41a1、41b1同样地检查衬底w。检查部41a1－41a4、41b1－41b4并行动作。
搬送机构26b从载置部82a1－82a4、82b1－82b4向载具载置部22b上的载具c搬送衬底w。
<<搬送机构34的详细动作例>>
图14a－14r是表示搬送机构34a1的动作例的俯视图。例示了搬送机构34a1向载置部82a1接近，接着，向热处理单元38a1接近的动作。图14a－14r简略地图示出搬送机构34a1。
在以下说明中，为了区分排列在大致前后方向x的3个热处理单元38a1，将这些热处理单元38a1记载为热处理单元u1、u2、u3。热处理单元u2配置在热处理单元u1的后方。热处理单元u3配置在热处理单元u2的后方。
在以下说明中，将旋转轴线a35d、a35f简称为旋转轴线a35。旋转轴线a35在俯视下在假想线e上移动。在图14a－14r中，将朝逆时针方向旋转简记为“旋转”。在图14a－14r中，将朝顺时针方向旋转简记为“旋转”或“朝相反方向旋转”。
图14a－14r表示假想线e上的点e1、e2、e3、e4、e5、e6、e7。点e1是旋转轴线a35能够移动的最前方的位置。点e7是旋转轴线a35能够移动的最后方的位置。点e4是在俯视下与热处理单元u2在大致宽度方向y上相向的位置。更具体来说，热处理单元u2具有假想的平板中心点v2。平板中心点v2在俯视下位于热处理单元u2的第1平板39a的中心。将在俯视下通过平板中心点v2且与大致宽度方向y平行的假想线称为假想线f2。点e4是在俯视下假想线e与假想线f2交叉的位置。
点e2、e3位于比点e1更靠后方且比点e4更靠前方。点e3位于比点e2更靠后方。点e5、e6位于比点e4更靠后方且比点e7更靠前方。点e6位于比点e5更靠后方。点e2、e6是根据旋转轴线a35、保持部35e、35g与热处理单元u2的位置关系而预先决定。点e3是根据旋转轴线a35、保持部35e、35g与载置部82a1的位置关系而预先决定。点e5是根据旋转轴线a35、保持部35e、35g与载置部84a1的位置关系而预先决定。
在以下说明中，将载置部82a1所具备的2个平板85称为平板85a、85b。衬底w经由平板85a从移载传送用搬送机构25被交付给搬送机构34a1。衬底w经由平板85b从搬送机构34a1被交付给移载传送用搬送机构25。
参照图14a。旋转轴线a35位于比点e3更靠后方。臂部35d朝向前方。保持部35e位于旋转轴线a35的前方。臂部35f朝向与臂部35d相反的方向。即，臂部35f朝向后方。保持部35g位于旋转轴线a35的后方。保持部35e保持1片衬底w。保持在保持部35e的衬底w例如为处理过的衬底w。保持在保持部35e的衬底w例如为从检查部41a1搬出的衬底w。保持部35g未保持衬底w。在载置部82a1的平板85b，未载置衬底w。
参照图14a－14d。水平移动部35b相对于导轨部35a朝前方移动。旋转轴线a35通过点e3、e2前进到点e1为止。当旋转轴线a35到达点e1时，水平移动部35b停止移动。
当旋转轴线a35前进到点e3时，臂部35d未旋转。由此，旋转轴线a35与保持部35e的相对位置关系未发生改变。保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝前方平行移动。
当旋转轴线a35从点e3前进到点e1时，臂部35d旋转。由此，当旋转轴线a35从点e3前进到点e1时，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝前方且左方移动。
当旋转轴线a35到达点e1时，臂部35d停止旋转。当旋转轴线a35位于点e1时，保持部35e位于旋转轴线a35的前方且左方。当旋转轴线a35位于点e1时，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w在俯视下与载置部82a1的平板85b重叠。当旋转轴线a35位于点e1时，保持部35e将衬底w载置到载置部82a1的平板85b上。
当旋转轴线a35通过点e3、e2并前进到点e1时，臂部35f未旋转。由此，旋转轴线a35与保持部35g的相对位置关系未发生改变。保持部35g朝前方平行移动。
参照图14d－14e。水平移动部35b相对于导轨部35a朝后方移动。旋转轴线a35从点e1后退。
当旋转轴线a35从点e1后退时，臂部35d朝相反方向旋转。由此，保持部35e朝后方且右方移动。当保持部35e朝后方且右方移动时，保持部35e未保持衬底w。保持部35e移动到不与载置部82a1重叠的位置。当旋转轴线a35从点e1后退时，臂部35f未旋转。由此，保持部35g朝后方平行移动。
参照图14e－14f。垂直移动部35c相对于水平移动部35b在大致上下方向z上移动。由此，保持部35e、35g在大致上下方向z上平行移动。保持部35e移动到与平板85a大致相同的高度位置。在平板85a上载置着1片衬底w。平板85a上的衬底w例如为未处理的衬底w。
参照图14f－14g。水平移动部35b再次朝前方移动。旋转轴线a35再次前进到点e1。当旋转轴线a35到达点e1时，水平移动部35b停止移动。
当旋转轴线a35前进到点e1时，臂部35d旋转。由此，在旋转轴线a35前进到点e1时，保持部35e朝前方且左方移动。
当旋转轴线a35到达点e1时，臂部35d停止旋转。当旋转轴线a35位于点e1时，保持部35e位于旋转轴线a35的前方且左方。当旋转轴线a35位于点e1时，保持部35e在俯视下与载置部82a1的平板85a重叠。当旋转轴线a35位于点e1时，保持部35e获取平板85a上的衬底w。
当旋转轴线a35前进到点e1时，臂部35f未旋转。由此，保持部35g朝前方平行移动。
参照图14g－14k。水平移动部35b再次朝后方移动。旋转轴线a35从点e1后退到点e4。当旋转轴线a35到达点e4时，水平移动部35b停止移动。
当旋转轴线a35从点e1后退到点e3时，臂部35d朝相反方向旋转。由此，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝后方且右方移动。
当旋转轴线a35到达点e3时，臂部35d停止旋转。当旋转轴线a35位于点e3时，臂部35d朝向前方。保持部35e位于旋转轴线a35的前方。
当旋转轴线a35从点e3后退到点e4时，臂部35d未旋转。由此，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝后方平行移动。
当旋转轴线a35从点e1后退到点e2时，臂部35f未旋转。由此，保持部35g朝后方平行移动。
当旋转轴线a35从点e2后退到点e4时，臂部35f旋转。由此，保持部35g朝右方移动。更详细地说，保持部35g沿着假想线f2移动。保持部35g一边绕旋转轴线a35旋转，一边从点e4沿着假想线f2朝右方移动。保持部35g从点e4沿着假想线f2向热处理单元u2靠近。
这样，水平移动部35b在大致前后方向x上移动的同时，臂部35f绕旋转轴线a35旋转，由此，保持部35g朝向热处理单元u2在大致宽度方向y上直线地移动。
当旋转轴线a35到达点e4时，臂部35f停止旋转。当旋转轴线a35位于点e4时，臂部35f朝向右方。当旋转轴线a35位于点e4时，保持部35g位于旋转轴线a35的右方。当旋转轴线a35位于点e4时，保持部35g在俯视下与热处理单元u2的第1平板39a重叠。当旋转轴线a35位于点e4时，保持部35g获取热处理单元u2的第1平板39a上的衬底w。此处，热处理单元u2的第1平板39a上的衬底w例如为已由热处理单元u2进行了处理的衬底w。
参照图14k－14m。水平移动部35b朝前方移动。旋转轴线a35从点e4前进到点e2。当旋转轴线a35到达点e2时，水平移动部35b停止向前方的移动。
当旋转轴线a35从点e4前进到点e2时，臂部35d未旋转。由此，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝前方平行移动。
当旋转轴线a35从点e4前进到点e2时，臂部35f朝相反方向旋转。由此，保持部35g及保持在保持部35g的衬底w朝左方移动。更详细地说，保持部35g及保持在保持部35g的衬底w沿着假想线f2移动。保持部35g及保持在保持部35g的衬底w朝向点e4沿着假想线f2朝左方移动。保持部35g及保持在保持部35g的衬底w沿着假想线f2远离热处理单元u2。在热处理单元u2的第1平板39a，未载置衬底w。
这样，水平移动部35b在大致前后方向x上移动的同时，臂部35f绕旋转轴线a35旋转，由此，保持部35g以远离热处理单元u2的方式在大致宽度方向y上直线地移动。由此，保持在保持部35g的衬底w也以远离热处理单元u2的方式在大致宽度方向y上直线地移动。
当旋转轴线a35到达点e2时，臂部35f的反向旋转结束。当旋转轴线a35位于点e2时，臂部35f朝向后方。当旋转轴线a35位于点e2时，保持部35g及保持在保持部35g的衬底w位于旋转轴线a35的后方。
参照图14m－14n。水平移动部35b朝后方移动。旋转轴线a35从点e2后退到点e6。
当旋转轴线a35从点e2后退到点e6时，臂部35d未旋转。由此，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝后方平行移动。当旋转轴线a35从点e2后退到点e6时，臂部35f未旋转。由此，保持部35g及保持在保持部35g的衬底w朝后方平行移动。
参照图14n－14p。水平移动部35b朝前方移动。旋转轴线a35从点e6前进到点e4。当旋转轴线a35到达点e4时，水平移动部35b停止移动。
当旋转轴线a35从点e6前进到点e4时，臂部35d朝相反方向旋转。由此，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝右方移动。更详细地说，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w沿着假想线f2移动。保持部35e及保持在保持部35e的衬底w从点e4沿着假想线f2朝右方移动。保持部35e及保持在保持部35e的衬底w从点e4沿着假想线f2向热处理单元u2靠近。
这样，水平移动部35b在大致前后方向x上移动的同时，臂部35d绕旋转轴线a35旋转，由此，保持部35e朝向热处理单元u2在大致宽度方向y上直线地移动。由此，使保持在保持部35e的衬底w朝向热处理单元u2在大致宽度方向y上直线地移动。
当旋转轴线a35到达点e4时，臂部35d停止旋转。当旋转轴线a35位于点e4时，臂部35d朝向右方。当旋转轴线a35位于点e4时，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w位于旋转轴线a35的右方。当旋转轴线a35位于点e4时，保持部35e及保持在保持部35e的衬底w在俯视下与热处理单元u2的第1平板39a重叠。保持部35e将衬底w载置在热处理单元u2的第1平板39a上。
当旋转轴线a35从点e6前进到点e4时，臂部35f未旋转。由此，保持部35g及保持在保持部35g的衬底w朝前方平行移动。
参照图14p－14r。水平移动部35b朝后方移动。旋转轴线a35从点e4后退到点e6。
当旋转轴线a35从点e4后退到点e6时，臂部35d旋转。由此，保持部35e朝左方移动。更详细地说，保持部35e沿着假想线f2移动。保持部35e朝向点e4沿着假想线f2朝左方移动。保持部35e沿着假想线f2远离热处理单元u2。保持部35e未保持衬底w。
这样，水平移动部35b在大致前后方向x上移动的同时，臂部35d绕旋转轴线a35旋转，由此，保持部35e以远离热处理单元u2的方式在大致宽度方向y上直线地移动。
当旋转轴线a35到达点e6时，臂部35d的旋转结束。当旋转轴线a35位于点e6时，臂部35d朝向前方。当旋转轴线a35位于点e6时，保持部35e位于旋转轴线a35的前方。
当旋转轴线a35从点e4后退到点e5时，臂部35f未旋转。由此，保持部35g及保持在保持部35g的衬底w朝后方平行移动。
当旋转轴线a35从点e5后退到点e6时，臂部35f朝相反方向旋转。由此，保持部35g及保持在保持部35g的衬底w朝左方且后方移动。
之后，虽省略图示，但搬送机构34a1向载置部84a1接近。例如，通过水平移动部35b进一步朝后方移动，旋转轴线a35后退到点e7。当旋转轴线a35从点e5后退到点e7时，保持部35g朝相反方向旋转。然后，当旋转轴线a35位于点e7时，保持部35g将衬底w载置到载置部84a1。
搬送机构34a2－34a4、34b1－34b4也与搬送机构34a1同样地动作。
在所述动作例中，搬送机构34a1从载置部82a1(平板85a)向热处理单元38a1(u2)搬送了衬底w(参照图14f－14p)。但并不限于此。例如，搬送机构34a1能够不将衬底w载置到热处理单元38a1上，而在载置部82a1与载置部84a1之间搬送衬底w。
为了方便起见，参照图14a－14r，说明搬送机构34a1未将衬底w载置到热处理单元38a1上，而将衬底w从载置部82a1搬送到载置部84a1的动作例。
首先，保持部35e获取载置部82a1上的衬底w(图14f－14g)。之后，保持部35e移动到图14n所示的位置。保持部35e及保持在保持部35e的衬底w位于旋转轴线a35的前方。
接着，在水平移动部35b向前方移动的同时，臂部35d旋转。由此，保持在保持部35e的衬底w沿着假想线f2向热处理单元u2靠近(图14n－14p)。当保持部35e到达图14p所示的位置时，保持部35e未将衬底w载置到热处理单元u2上。保持部35e在第1平板39a的上方的空间保持着衬底w。保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝旋转轴线a35的右方移动。
接着，水平移动部35b进一步前进，并且臂部35d进一步旋转。由此，臂部35d及保持部35e进行与图14k－14m所示的臂部35f及保持部35g大致相同的动作。保持在保持部35e的衬底w沿着假想线f2远离热处理单元u2。保持部35e及保持在保持部35e的衬底w朝旋转轴线a35的后方移动。
之后，水平移动部35b后退。由此，保持部35e向载置部84a1接近，将衬底w载置到载置部84a1上。
这样，保持部35e能够利用热处理单元38a1所具有的空间，绕旋转轴线a35回转。保持部35e能够不将衬底w载置到热处理单元38a1上，而从旋转轴线a35的前方位置移动到旋转轴线a35的后方位置。因此，在保持部35e接近载置部82a1后，保持部35e能够接近载置部84a1。因此，搬送机构34a1能够不将衬底w载置到热处理单元38a1上，而将衬底w从载置部82a1搬送到载置部84a1。
通过搬送机构34a1进行与所述动作例相反的工序，保持部35e能够利用热处理单元38a1所具有的空间，从旋转轴线a35的后方位置移动到旋转轴线a35的前方位置。因此，搬送机构34a1能够不将衬底w载置到热处理单元38a1上，而将衬底w从载置部84a1搬送到载置部82a1。
此外，臂部35d、35f分别能够绕旋转轴线a35旋转约250度左右。
<实施方式的效果>
热处理部37a1与搬送空间32以排列在大致宽度方向y的方式配置。热处理部37a1具备多个热处理单元38a1。热处理单元38a1分别对1片衬底w进行热处理。搬送机构34a1向热处理单元38a1搬送衬底。此处，热处理单元38a1以排列在大致前后方向x的方式配置。因此，能够相对容易地增加热处理部37a1中所包含的热处理单元38a1的数量。因此，热处理部37a1能够对相对较多的衬底w并行地进行热处理。因此，能够适当地提高衬底处理装置1的处理量。
同样地，热处理部37b1与搬送空间32以排列在大致宽度方向y的方式配置。更具体来说，搬送空间32在大致宽度方向y上配置在热处理部37a1与热处理部37b1之间。热处理部37b1具备多个热处理单元38b1。热处理单元38b1分别对1块衬底w进行热处理。搬送机构34b1将衬底w搬送到热处理单元38b1。此处，热处理单元38b1以排列在大致前后方向x的方式配置。因此，能够相对容易地增加热处理部37b1中所包含的热处理单元38b1的数量。因此，热处理部37b1能够对相对较多的衬底w并行地进行热处理。因此，能够适当地提高衬底处理装置1的处理量。
此处，热处理部37a1中所包含的热处理单元38a1的数量为12个以下。因此，能够适当地防止搬送机构34a1所负担的衬底w的搬送量变得过大。同样地，热处理部37b1中所包含的热处理单元38a1的数量为12个以下。因此，能够适当地防止搬送机构34b1所负担的衬底w的搬送量变得过大。
搬送机构34a1能够相对于热处理单元38a1在大致前后方向x上移动。因此，搬送机构34a1能够适当地接近热处理单元38a1。搬送机构34b1能够相对于热处理单元38b1在大致前后方向x上移动。因此，搬送机构34b1能够适当地接近热处理单元38b1。
搬送机构34b1能够与搬送机构34a1分开地移动。因此，搬送机构34a1、34b1分别能够高效率地接近热处理单元38a1、38b1。
搬送机构34a1具备水平移动部35b、臂部35d、35f及保持部35e、35g。臂部35d、35f支撑在水平移动部35b上。保持部35e、35g固定在臂部35d、35f上。这样，保持部35e、35g间接地支撑在水平移动部35b上。水平移动部35b能够相对于热处理单元38a1在大致前后方向x上移动。因此，保持部35e、35g能够相对于热处理单元38a1在大致前后方向x上移动。臂部35d、35f能够相对于水平移动部35b绕旋转轴线a35d、a35f旋转。因此，保持部35e、35g能够相对于水平移动部35b绕旋转轴线a35d、a35f旋转。因此，保持部35e、35g能够适当地接近热处理单元38a1。
搬送机构34b1具有与搬送机构34a1大致相同的构造。因此，搬送机构34b1的保持部35e、35g能够适当地接近热处理单元38b1。
在俯视下，旋转轴线a35d、a35f相对于水平移动部35b的相对位置固定。因此，臂部35d、35f支撑在水平移动部35b上的构造简单。保持部35e、35g固定在臂部35d、35f上。进而，在俯视下，保持部35e与旋转轴线a35d的距离固定。在俯视下，保持部35g与旋转轴线a35f的距离固定。因此，保持部35e、35g支撑在臂部35d、35f上的构造简单。这样，搬送机构34a1的构造简单。其结果，搬送机构34a1的尺寸相对较小。例如，臂部35d、35f的尺寸相对较小。因此，能够有效地减小俯视下的搬送机构34a1的设置空间。因此，能够有效地减小俯视下的搬送空间32的面积。
顺带来说，搬送机构68a在俯视下，旋转轴线a69e相对于水平移动部69d的相对位置固定，但在俯视下，保持部69f与旋转轴线a69e的距离不固定。进而，在俯视下，保持部69g与旋转轴线a69e的距离不固定。因此，搬送机构68a的构造相对复杂。以下进行具体说明。
在俯视下，旋转轴线a69e相对于水平移动部69d的相对位置固定。例如，即使旋转部69e相对于水平移动部69d绕旋转轴线a69e旋转，旋转轴线a69e在俯视下也保持在水平移动部69d的右方的位置。因此，水平移动部69d支撑旋转部69e的构造相对简单。但是，在俯视下保持部69f与旋转轴线a69e的距离不固定。例如，在保持部69f相对于旋转部69e进退移动时，保持部69f在俯视下接近旋转轴线a69e或远离旋转轴线a69e。因此，旋转部69e支撑保持部69f的构造相对复杂。因此，旋转部69e的尺寸相对较大。同样地，在俯视下，保持部69g与旋转轴线a69e的距离不固定。因此，旋转部69e支撑保持部69g的构造也相对复杂。因此，旋转部69e的尺寸更大。
搬送机构34b1具有与搬送机构34a1大致相同的构造。因此，搬送机构34b1的构造简单。因此，能够有效地减小俯视下的搬送机构34b1的设置空间。因此，能够进一步有效地减小俯视下的搬送空间32的面积。
关于搬送机构34a1，通过水平移动部35b在大致前后方向x上移动，保持部35e、35g在大致前后方向x上平行移动。通过臂部35d绕旋转轴线a35d旋转，保持部35e绕旋转轴线a35d旋转。通过臂部35f绕旋转轴线a35f旋转，保持部35g绕旋转轴线a35f旋转。此处，水平移动部35b在大致前后方向x上移动的同时，臂部35d绕旋转轴线a35d旋转，由此使保持在保持部35e的衬底w朝向热处理单元38a1在大致宽度方向y上直线地移动。同样地，水平移动部35b在大致前后方向x上移动的同时，臂部35f绕旋转轴线a35f旋转，由此使保持在保持部35g的衬底w朝向热处理单元38a1在大致宽度方向y上直线地移动。因此，即使在前后方向x上的1个热处理单元38a1的长度la较短的情况下，搬送机构34a1也能够将衬底w适当地搬送到热处理单元38a1。
关于搬送机构34b1，水平移动部35b在大致前后方向x上移动的同时，臂部35d、35f绕旋转轴线a35d、a35f旋转，由此，也使保持在保持部35e、35g的衬底w朝向热处理单元38b1在大致宽度方向y上直线地移动。因此，即使在前后方向x上的1个热处理单元38b1的长度lb较短的情况下，搬送机构34b1也能够将衬底w适当地搬送到热处理单元38b1。
前后方向x上的1个热处理单元38a1的长度la为衬底w的半径r的3倍以下。这样，热处理单元38a1的尺寸相对较小。因此，能够适当地减小热处理单元38a1的设置空间。前后方向x上的1个热处理单元38b1的长度lb为衬底w的半径r的3倍以下。这样，热处理单元38b1的尺寸相对较小。因此，能够适当地降低热处理单元38b1的设置空间。
如上所述，搬送机构34a1朝向热处理单元38a1在大致宽度方向y上直线地搬送衬底w。因此，即使长度la为衬底w的半径r的3倍以下，搬送机构34a1也能够将衬底w适当地搬送到热处理单元38a1。同样地，搬送机构34b1朝向热处理单元38b1在大致宽度方向y上直线地搬送衬底w。因此，即使长度lb为衬底w的半径r的3倍以下，搬送机构34b1也能够将衬底w适当地搬送到热处理单元38b1。
在大致前后方向x上相邻的2个第1中心点ga1之间的距离da为衬底w的半径r的3倍以下。这样，距离da相对较小。因此，热处理单元38a1的尺寸相对较小，且排列在大致前后方向x的2个热处理单元38a1相互近接。因此，能够适当地减小热处理单元38a1的设置空间。即，能够适当地减小热处理部37a1的设置空间。同样地，在大致前后方向x上相邻的2个第2中心点gb1之间的距离db为衬底w的半径r的3倍以下。这样，热处理单元38b1的尺寸相对较小，且排列在大致前后方向x的2个热处理单元38b1相互近接。因此，能够适当地减小热处理单元38b1的设置空间。即，能够适当地减小热处理部37b1的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置1的占据面积。
宽度方向y上的搬送空间32的长度为衬底w的半径r的5倍以下。因此，能够减小俯视下的搬送空间32的面积。因此，能够减小衬底处理装置1的占据面积。
热处理部37a1对衬底w进行的热处理包含预处理。热处理部37b1对衬底w进行的热处理也包含预处理。此处，预处理是对进行液体处理前的衬底w进行的热处理。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行预处理。
热处理部37a1对衬底w进行的热处理包含后处理。热处理部37b1对衬底w进行的热处理也包含后处理。此处，后处理是对进行了液体处理后的衬底w进行的热处理。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行后处理。
热处理部37a1对衬底w进行的热处理包含疏水化处理。热处理部37b1对衬底w进行的热处理也包含疏水化处理。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行疏水化处理。
热处理部37a1对衬底w进行的热处理包含加热处理。热处理部37b1对衬底w进行的热处理也包含加热处理。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行加热处理。
热处理部37a1对衬底w进行的热处理包含冷却处理。热处理部37b1对衬底w进行的热处理也包含冷却处理。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行冷却处理。
热处理部37b1对衬底w进行的热处理与热处理部37a1对衬底w进行的热处理相同。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行热处理。
载置部82a1与载置部82b1以排列在上下方向z的方式配置。载置部82b1在俯视下与载置部82a1重叠。因此，能够减小俯视下的载置部82a1、82b1的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置1的占据面积。
液体处理部71配置在搬送机构34a1能够搬送衬底w的区域ba的外部。这样，液体处理部71配置在搬送机构34a1无法接近的位置。因此，搬送机构34a1不向液体处理部71搬送衬底w。因此，能够适当地防止搬送机构34a1所负担的衬底w的搬送量变得过大。液体处理部71配置在搬送机构34b1能够搬送衬底w的区域bb的外部。因此，搬送机构34b1不向液体处理部71搬送衬底w。因此，能够适当地防止搬送机构34b1所负担的衬底w的搬送量变得过大。
衬底处理装置1具备液体处理用搬送机构67。因此，能够将衬底w适当地搬送到液体处理部71。
液体处理用搬送机构67配置在搬送机构34a1的后方。因此，能够适当地防止搬送机构34a1与液体处理用搬送机构67干涉。液体处理用搬送机构67配置在搬送机构34b1的后方。因此，能够适当地防止搬送机构34b1与液体处理用搬送机构67干涉。
液体处理部71配置在与液体处理用搬送机构67邻接的位置。因此，液体处理用搬送机构67能够容易地接近液体处理部71。
搬送机构34a2、34b2配置在搬送机构34a1、34a2的上方。因此，能够减小俯视下的搬送机构34a1、34a2、34b1、34b2的设置空间。换句话说，能够减小俯视下的搬送空间32的设置面积。
热处理部37a2在俯视下与热处理部37a1重叠。因此，能够减小俯视下的热处理部37a1、37a2的设置空间。热处理部37b2在俯视下与热处理部37b1重叠。因此，能够减小俯视下的热处理部37b1、37b2的设置空间。
热处理部37a2与搬送空间32以排列在大致宽度方向y的方式配置。热处理部37a2具备多个热处理单元38a2。热处理单元38a2分别对1片衬底w进行热处理。搬送机构34a2将衬底w搬送到热处理单元38a2。此处，热处理单元38a2以排列在大致前后方向x的方式配置。因此，能够相对容易地增加热处理部37a2中所包含的热处理单元38a2的数量。因此，热处理部37a2能够对相对较多的衬底w并行地进行热处理。因此，能够适当地提高衬底处理装置1的处理量。
热处理部37b2与搬送空间32以排列在大致宽度方向y的方式配置。更具体来说，搬送空间32在大致宽度方向y上配置在热处理部37a2与热处理部37b2之间。热处理部37b2具备多个热处理单元38b2。热处理单元38b2分别对1片衬底w进行热处理。搬送机构34b2将衬底w搬送到热处理单元38b2。热处理单元38b2以排列在大致前后方向x的方式配置。因此，能够相对容易地增加热处理部37b2中所包含的热处理单元38b2的数量。因此，热处理部37b2能够对相对较多的衬底w并行地进行热处理。因此，能够适当地提高衬底处理装置1的处理量。
热处理部37a2、37b1、37b2对衬底w进行的热处理分别与热处理部37a1对衬底w进行的热处理相同。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行热处理。
载置部82a1、82a2、82b1、82b2以排列在大致上下方向z的方式配置。载置部82a2、82b1、82b2在俯视下分别与载置部82a1重叠。因此，能够减小俯视下的载置部82a1、82a2、82b1、82b2的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置1的占据面积。
移载传送用搬送机构25在载具c与载置部82a1之间搬送衬底w。因此，能够经由载置部82a1在移载传送用搬送机构25与搬送机构34a1之间搬送衬底w。例如，移载传送用搬送机构25能够将从载具c搬出的衬底w交付给搬送机构34a1。例如，移载传送用搬送机构25能够将从搬送机构34a1接收到的衬底w搬入到载具c内。
同样地，移载传送用搬送机构25在载具c与载置部82b1之间搬送衬底w。因此，能够经由载置部82b1在移载传送用搬送机构25与搬送机构34b1之间搬送衬底w。移载传送用搬送机构25在载具c与载置部82a2之间搬送衬底w。因此，能够经由载置部82a2在移载传送用搬送机构25与搬送机构34a2之间搬送衬底w。移载传送用搬送机构25在载具c与载置部82b2之间搬送衬底w。因此，能够经由载置部82b2在移载传送用搬送机构25与搬送机构34b2之间搬送衬底w。
液体处理部71配置在搬送机构34a2能够搬送衬底w的区域的外部。因此，搬送机构34a2不向液体处理部71搬送衬底w。因此，能够适当地防止搬送机构34a2所负担的衬底w的搬送量变得过大。
液体处理部71配置在搬送机构34b2能够搬送衬底w的区域的外部。因此，搬送机构34b2不向液体处理部71搬送衬底w。因此，能够适当地防止搬送机构34b2所负担的衬底w的搬送量变得过大。
液体处理用搬送机构67配置在搬送机构34a2、34b2的后方。因此，能够适当地防止搬送机构34a2、34b2与液体处理用搬送机构67干涉。
液体处理部71配置在与液体处理用搬送机构67在大致宽度方向y上并排的位置。因此，液体处理用搬送机构67能够容易地接近液体处理部71。
载置部84a1、84a2、84b1、84b2以排列在大致上下方向z的方式配置。载置部84a2、84b1、84b2在俯视下分别与载置部84a1重叠。因此，能够减小俯视下的载置部84a1、84a2、84b1、84b2的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置1的占据面积。
搬送机构34a1及液体处理用搬送机构67能够将衬底w载置到载置部84a1上。因此，能够经由载置部84a1在搬送机构34a1与液体处理用搬送机构67之间搬送衬底w。例如，液体处理用搬送机构67能够从搬送机构34a1接收衬底w。例如，液体处理用搬送机构67能够将衬底w交付给搬送机构34a1。
同样地，搬送机构34b1及液体处理用搬送机构67能够将衬底w载置到载置部84b1上。因此，能够经由载置部84b1在搬送机构34b1与液体处理用搬送机构67之间搬送衬底w。搬送机构34a2及液体处理用搬送机构67能够将衬底w载置到载置部84a2上。因此，能够经由载置部84a2在搬送机构34a2与液体处理用搬送机构67之间搬送衬底w。搬送机构34b2及液体处理用搬送机构67能够将衬底w载置到载置部84b2上。因此，能够经由载置部84b2在搬送机构34b2与液体处理用搬送机构67之间搬送衬底w。
衬底处理装置1具备检查部41a1－41a4、41b1－41b4。因此，衬底处理装置1能够高效率地对衬底w进行检查。
可动构件51a1支撑在第1框架46上。热处理部37a1支撑在可动部件51a1上。可动部件51a1能够相对于第1框架46移动。通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1相对于第1框架46移动。因此，能够容易地进行热处理部37a1的保养。
搬送机构34a1支撑在可动部件51a1上。通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1与搬送机构34a1一体地移动。因此，能够在可动部件51a1相对于第1框架46移动时，将热处理部37a1与搬送机构34a1的相对位置保持为固定。因此，能够在将热处理部37a1与搬送机构34a1的相对位置保持为固定的状态下，进行热处理部37a1的保养。因此，每次进行热处理部37a1的保养时，也可以不调整热处理部37a1与搬送机构34a1的相对位置。即，能够更容易地进行热处理部37a1的保养。
如上所述，根据衬底处理装置1，能够容易地进行衬底处理装置1的保养。
通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1相对于第1框架46在大致水平方向上移动。因此，热处理部37a1能够不与其它部件干涉地相对于第1框架46移动。例如，即使在其它部件配置在热处理部37a1的上方及下方中的至少任一方的情况下，热处理部37a1也能够不与其它部件干涉地相对于第1框架46移动。
通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1能够移动到保养位置qa1。因此，能够容易地使热处理部37a1移动到保养位置qa1。
在热处理部37a1位于保养位置qa1时，热处理部37a1的至少一部分位于第1框架46的外部。因此，在热处理部37a1位于保养位置qa1时，能够容易地进行热处理部37a1的保养。
在热处理部37a1位于保养位置qa1时，可动部件51a1支撑在第1框架46上。因此，在热处理部37a1位于保养位置qa1时，热处理部37a1经由可动部件51a1支撑在第1框架46上。因此，能够更容易地进行热处理部37a1的保养。
通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1能够移动到处理位置pa1。因此，能够容易地使热处理部37a1移动到处理位置pa1。因此，能够在保养位置qa1与处理位置pa1之间容易地使热处理部37a1移动。
如上所述，通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1与搬送机构34a1一体地移动。因此，即使在可动部件51a1移动到处理位置pa1时，也能够将热处理部37a1与搬送机构34a1的相对位置保持为固定。总之，在将热处理部37a1与搬送机构34a1的相对位置保持为固定的状态下，能够容易地使热处理部37a1在保养位置qa1与处理位置pa1之间移动。
在热处理部37a1位于保养位置qa1时位于第1框架46的外部的热处理部37a1的部分比在热处理部37a1位于处理位置pa1时位于第1框架46的外部的热处理部37a1的部分大。因此，在热处理部37a1位于保养位置qa1时，能够容易地进行热处理部37a1的保养。在热处理部37a1位于处理位置pa1时，热处理部37a1能够适当地对衬底w进行热处理。
在热处理部37a1位于处理位置pa1时，所有热处理部37a1均位于第1框架46的内部。因此，在热处理部37a1位于处理位置pa1时，热处理部37a1能够更适当地对衬底w进行热处理。
在热处理部37a1位于处理位置pa1时，可动部件51a1支撑在第1框架46上。因此，在热处理部37a1位于处理位置pa1时，热处理部37a1经由可动部件51a1支撑在第1框架46上。因此，热处理部37a1能够更加适当地对衬底w进行热处理。
关于搬送机构34a1，导轨部35a固定在可动部件51a1上。水平移动部35b支撑在导轨部35a上。臂部35d、35f支撑在水平移动部35b上。保持部35e固定在臂部35d上。保持部35g固定在臂部35f上。这样，导轨部35a、水平移动部35b、臂部35d、35f、保持部35e、35g直接或间接地支撑在可动部件51a1上。因此，可动部件51a1能够适当地支撑搬送机构34a1。
水平移动部35b能够相对于导轨部35a在大致水平方向上移动。因此，保持部35e、35g能够相对于导轨部35a在大致水平方向上移动。臂部35d能够相对于水平移动部35b绕旋转轴线a35d旋转。因此，保持部35e能够相对于水平移动部35b绕旋转轴线a35d旋转。臂部35f能够相对于水平移动部35b绕旋转轴线a35f旋转。因此，保持部35g能够相对于水平移动部35b绕旋转轴线a35f旋转。因此，保持部35e、35g能够适当地接近热处理部37a1。
垂直移动部35c支撑在水平移动部35b上。垂直移动部35c能够相对于水平移动部35b在大致上下方向z上移动。臂部35d、35f经由垂直移动部35c支撑在水平移动部35b上。因此，通过垂直移动部35c相对于水平移动部35b在大致上下方向z上移动，臂部35d、35f及保持部35e、35g相对于水平移动部35b在大致上下方向z上移动。因此，保持部35e、35g能够更适当地接近热处理部37a1。
可动部件51b1支撑在第2框架47上。热处理部37b1支撑在可动部件51b1上。可动部件51b1能够相对于第2框架47移动。通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1相对于第2框架47移动。因此，能够容易地进行热处理部37b1的保养。
搬送机构34b1支撑在可动部件51b1上。通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1与搬送机构34b1一体地移动。因此，能够在可动部件51b1相对于第2框架47移动时，将热处理部37b1与搬送机构34b1的相对位置保持为固定。因此，能够在将热处理部37b1与搬送机构34b1的相对位置保持为固定的状态下，进行热处理部37b1的保养。因此，每次进行热处理部37b1的保养时，也可以不调整热处理部37b1与搬送机构34b1的相对位置。即，能够更容易地进行热处理部37b1的保养。
如上所述，根据衬底处理装置1，能够更容易地进行衬底处理装置1的保养。
衬底处理装置1除具备热处理部37a1以外，还具备热处理部37b1。因此，能够适当地提高衬底处理装置1的处理量。
第2框架47配置在与第1框架46大致相同的高度位置。换句话说，第1框架46与第2框架47以排列在大致水平方向的方式配置。搬送机构34a1配置在热处理部37a1与第2框架47之间。搬送机构34b1配置在热处理部37b1与第1框架46之间。换句话说，热处理部37a1、搬送机构34a1、搬送机构34b1及热处理部37b1以依序排列在大致水平方向的方式配置。因此，能够高效率地设置热处理部37a1、37b1与搬送机构34a1、34b1。
第2框架47配置在第1框架46的左方。搬送机构34a1配置在热处理部37a1的左方。搬送机构34b1配置在搬送机构34a1的左方。热处理部37b1配置在搬送机构34b1的左方。因此，能够高效率地设置热处理部37a1、37b1与搬送机构34a1、34b1。
通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1能够相对于第1框架46朝第1方向移动。在热处理部37a1相对于第1框架46朝第1方向移动时，热处理部37a1远离第2框架47。因此，热处理部37a1能够不与第2框架47干涉地移动。
热处理部37a1配置在热处理部37b1的右方。通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，热处理部37a1能够相对于第1框架46朝右方移动。通过热处理部37a1相对于第1框架46朝右方移动，热处理部37a1远离热处理部37b1。因此，热处理部37a1能够不与热处理部37b1干涉地移动。
通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1能够相对于第2框架47朝第2方向移动。在热处理部37b1相对于第2框架47朝第2方向移动时，热处理部37b1远离第1框架46。因此，热处理部37b1能够不与第1框架46干涉地移动。
热处理部37b1配置在热处理部37a1的左方。通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1能够相对于第2框架47朝左方移动。通过热处理部37b1相对于第2框架47朝左方移动，热处理部37b1远离热处理部37a1。因此，热处理部37b1能够不与热处理部37a1干涉地移动。
通过可动部件51a1相对于第1框架46移动，可动部件51a1能够将热处理部37a1的至少一部分从第1框架46朝第1方向拉出。因此，能够容易地进行热处理部37a1的保养。
通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，可动部件51b1能够将热处理部37b1的至少一部分从第2框架47朝第2方向拉出。因此，能够容易地进行热处理部37b1的保养。
通过可动部件51b1相对于第2框架47移动，热处理部37b1能够移动到保养位置qb1。因此，能够容易地使热处理部37b1移动到保养位置qb1。
第2框架47配置在第1框架46的左方。在热处理部37a1位于保养位置qa1时，热处理部37a1的至少一部分位于第1框架46的右方。因此，在热处理部37a1位于第1保养位置qa1时，热处理部37a1的至少一部分位于第1框架46的外部且第2框架47的外部。因此，在热处理部37a1位于保养位置qa1时，能够容易地进行热处理部37a1的保养。
第1框架46配置在第2框架47的右方。在热处理部37b1位于保养位置qb1时，热处理部37b1的至少一部分位于第2框架47的左方。因此，在热处理部37b1位于保养位置qb1时，热处理部37b1的至少一部分位于第1框架46的外部且第2框架47的外部。因此，能够在热处理部37b1位于保养位置qb1时，容易地进行热处理部37b1的保养。
第2框架47具有与第1框架46大致相同的形状。因此，能够容易地制造第1框架46与第2框架47。因此，能够容易地制造衬底处理装置1。
第2框架47能够与第1框架46分离。因此，能够容易地制造衬底处理装置1。
例如，能够将衬底处理装置1的制造分为以下的第1作业、第2作业及第3作业。
·将可动部件51a1、热处理部37a1及搬送机构34a1安装在第1框架46的第1作业
·将可动部件51b1、热处理部37b1及搬送机构34b1安装在第2框架47的第2作业
·连结第1框架46与第2框架47的第3作业
此处，能够分别在不同场所及不同时刻进行第1作业、第2作业及第3作业。
因此，能够容易地制造衬底处理装置1。
搬送机构34b1配置在与搬送机构34a1左右对称的位置。热处理部37b1配置在与热处理部37a1左右对称的位置。因此，能够更容易地进行衬底处理装置1的设计及制造。
可动构件51a2支撑在第1框架46上。热处理部37a2支撑在可动部件51a2上。可动部件51a2能够相对于第1框架46移动。通过可动部件51a2相对于第1框架46移动，热处理部37a2相对于第1框架46移动。因此，能够容易地进行热处理部37a2的保养。
搬送机构34a2支撑在可动部件51a2上。通过可动部件51a2相对于第1框架46移动，热处理部37a2与搬送机构34a2一体地移动。因此，在可动部件51a2相对于第1框架46移动时，能够将热处理部37a2与搬送机构34a2的相对位置保持为固定。因此，能够在将热处理部37a2与搬送机构34a2的相对位置保持为固定的状态下，进行热处理部37a2的保养。因此，每次进行热处理部37a2的保养时，也可以不调整热处理部37a2与搬送机构34a2的相对位置。即，能够更容易地进行热处理部37a2的保养。
如上所述，根据衬底处理装置1，能够容易地进行衬底处理装置1的保养。
可动部件51a2能够与可动部件51a1分开地相对于第1框架46移动。因此，能够使热处理部37a1、37a2个别地移动。因此，例如能够容易地进行热处理部37a1、37a2的仅一者的保养。或者，能够容易地进行热处理部37a1、37a2这两者的保养。
衬底处理装置1除具备热处理部37a1以外，还具备热处理部37a2。因此，能够适当地提高衬底处理装置1的处理量。
热处理部37a2配置在热处理部37a1的上方。因此，能够减小俯视下的热处理部37a1、37a2的设置空间。搬送机构34a2配置在搬送机构34a1的上方。因此，能够减小俯视下的搬送机构34a1、34a2的设置空间。因此，能够减小衬底处理装置1的占据面积。
引导部55固定在第1框架46上。滑动部56固定在可动部件51a1上。滑动部56被引导部55引导。因此，可动部件51a1能够相对于第1框架46适当地移动。
在热处理部37a1位于保养位置qa1时，检查部41a1的至少一部分位于第1框架46的外部。因此，能够在热处理部37a1位于保养位置qa1时，容易地进行检查部41a的保养。
在热处理部37a1位于保养位置qa1时，电气装置部57a1的至少一部分位于第1框架46的外部。因此，能够在热处理部37a1位于保养位置qa1时，容易地进行电气装置部57a1的保养。
本发明并不限于实施方式，能以如下方式变化实施。
在所述实施方式中，热处理用搬送机构33具备8个搬送机构34a1－34a4、34b1－34b4。但并不限于此。能够适当变更热处理用搬送机构33所具备的搬送机构34的数量。
在所述实施方式中，旋转轴线a35f配置在与旋转轴线a35d相同的位置。但并不限于此。例如，旋转轴线a35f也可以配置在与旋转轴线a35d不同的位置。
在所述实施方式中，衬底处理装置1具备8个热处理部37a1－37a4、37b1－37b4。但并不限于此。能够适当变更衬底处理装置1所具备的热处理部37的数量。
在所述实施方式中，热处理部37a1具备7个热处理单元38a1。但并不限于此。能够适当变更热处理部37a1所具备的热处理单元38a1的数量。
在所述实施方式中，作为热处理部37a1对衬底w进行的热处理，例示了疏水化处理、加热处理及冷却处理。但并不限于此。能够适当变更热处理部37a1对衬底w进行的热处理的内容。例如，热处理部37a1对衬底w进行的热处理也可以不包含疏水化处理、加热处理及冷却处理中的一个或两个。
在所述实施方式中，热处理部37b1对衬底w进行的热处理与热处理部37a1对衬底w进行的热处理相同。但并不限于此。热处理部37b1对衬底w进行的热处理也可以与热处理部37a1对衬底w进行的热处理不同。
在所述实施方式中，滑动部56固定在可动部件51a1的下部。但并不限于此。能将滑动部56固定在可动部件51a1的任意部位。例如，也可以将滑动部56固定在可动部件51a1的侧部或上部。
在所述实施方式中，液体处理部71配置在与液体处理用搬送机构67在大致宽度方向y上并排的位置。但并不限于此。例如，也可以将液体处理部71配置在液体处理用搬送机构67的后方的位置。例如，也可以将液体处理部71配置在与液体处理用搬送机构67在大致宽度方向y上并排的位置、及液体处理用搬送机构67的后方位置中的至少任一位置。
在所述实施方式中，液体处理部71对衬底w进行的涂布处理是在衬底w上形成抗蚀剂膜的处理。但并不限于此。涂布处理也可以是在衬底w上形成抗反射膜的处理。
在所述实施方式中，液体处理部71对衬底w进行的液体处理为涂布处理。但并不限于此。液体处理也可以是将衬底w进行显影的显影处理。显影处理是衬底w对供给显影液。液体处理也可以是清洗衬底w的清洗处理。清洗处理是对衬底w供给清洗液。
在所述实施方式中，衬底处理装置1具备检查部41。但并不限于此。例如，也可以省略检查部41。
在所述实施方式中，可动部件51a1支撑着检查部41a。但并不限于此。可动部件51a1也可以不支撑检查部41a。
在所述实施方式中，检查部41a具备1个检查单元42a1。但并不限于此。检查部41a也可以具备多个检查单元42a1。
对于所述实施方式及各变化实施方式，也可以进一步将各构成与其它变化实施方式的构成进行置换或组合等来适当变更。
本发明能够不脱离其思想或本质而以其它具体的方式实施，因此，作为表示发明范围的内容，应当参照所附加的权利要求书而非以上说明。
[符号的说明]
1衬底处理装置
11储存部
21移载传送部
22a、22a1、22a2、22b、22b1、22b2载具载置部
25移载传送用搬送机构
31热处理块
32搬送空间
33热处理用搬送机构
34a1搬送机构(第1搬送机构)
34b1搬送机构(第2搬送机构)
34a2搬送机构(第3搬送机构)
34b2搬送机构(第4搬送机构)
34a3、34a4、34b3、34b4搬送机构
35a导轨部(第1导轨部、第2导轨部)
35b水平移动部(第1水平移动部、第2水平移动部)
35c垂直移动部(第1垂直移动部、第2垂直移动部)
35d臂部(第1臂部、第2臂部)
35e保持部(第1保持部、第2保持部)
35f臂部(第1臂部、第2臂部)
35g保持部(第1保持部、第2保持部)
37a1热处理部(第1热处理部)
37b1热处理部(第2热处理部)
37a2热处理部(第3热处理部)
37b2热处理部(第4热处理部)
37a3、37a4、37b3、37b4热处理部
38a1热处理单元(第1热处理单元)
38b1热处理单元(第2热处理单元)
38a2热处理单元(第3热处理单元)
38b2热处理单元(第4热处理单元)
38a3、38a4、38b3、38b4热处理单元
ahp疏水化处理单元
hp加热单元
cp冷却单元
45框架
46第1框架
47第2框架
48d空间(第1框架/第2框架的内部)
51a1可动部件(第1可动部件)
51b1可动部件(第2可动部件)
51a2可动部件(第3可动部件)
51b2可动部件(第4可动部件)
51a3、51a4、51b3、51b4可动部件
55引导部
56滑动部
61液处理块
67液处理用搬送机构
71液处理部
81前载置部
82a1载置部(第1前载置部)
82b1载置部(第2前载置部)
82a2载置部(第3前载置部)
82b2载置部(第4前载置部)
82a3、82a4、82b3、82b4载置部
83后载置部
84a1载置部(第1后载置部)
84b1载置部(第2后载置部)
84a2载置部(第3后载置部)
84b2载置部(第4后载置部)
84a3、84a4、84b3、84b4载置部
91控制部
a35d旋转轴线(第1轴线、第2轴线)
a35f旋转轴线(第1轴线、第2轴线)
ba搬送机构34a1能够搬送衬底w的区域
bb搬送机构34b1能够搬送衬底w的区域
c载具
da在大致前后方向上相邻的2个第1中心点之间的距离
db在大致前后方向上相邻的2个第2中心点之间的距离
e假想线
ga1热处理单元38a1的第1中心点
gb1热处理单元38b1的第2中心点
j搬送空间的中心点
k假想面
la前后方向上的1个热处理单元38a1的长度
lb前后方向上的1个热处理单元38b1的长度
l1宽度方向上的搬送空间32的长度
l2前后方向上的搬送空间32的长度
pa1处理位置(第1处理位置)
pb1处理位置(第2处理位置)
pa2处理位置(第3处理位置)
pb2处理位置(第4处理位置)
pa3、pa4、pb3、pb4处理位置
qa1保养位置(第1保养位置)
qb1保养位置(第2保养位置)
qa2保养位置(第3保养位置)
qb2保养位置(第4保养位置)
qa3、qa4、qb3、qb4处理位置
r衬底的半径
w衬底
x前后方向
y宽度方向
z上下方向
1.一种衬底处理装置，具备：
搬送空间，在前后方向上延伸；
第1搬送机构，设置在所述搬送空间中；
第2搬送机构，设置在所述搬送空间中；
第1热处理部，对衬底进行热处理；及
第2热处理部，对衬底进行热处理；且
所述第1热处理部、所述搬送空间及第2热处理部以依序排列在与前后方向正交的宽度方向的方式配置，
所述第1热处理部具备
以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第1热处理单元，
所述第2热处理部具备
以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第2热处理单元，且
所述第1搬送机构将衬底搬送到所述第1热处理单元，
所述第2搬送机构将衬底搬送到所述第2热处理单元。
2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述第1搬送机构能够相对于所述第1热处理单元在前后方向上移动，
所述第2搬送机构能够与所述第1搬送机构分开地相对于所述第2热处理单元在前后方向上移动。
3.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述第1搬送机构具备：
第1水平移动部，能够相对于所述第1热处理单元在前后方向上移动；
第1臂部，支撑在所述第1水平移动部上，且能够相对于所述第1水平移动部绕第1轴线旋转；及
第1保持部，固定在所述第1臂部上，且保持衬底；且
所述第1轴线与上下方向平行，
在俯视下，所述第1轴线相对于所述第1水平移动部的相对位置固定，
在俯视下，所述第1保持部与所述第1轴线的距离固定，
所述第2搬送机构具备：
第2水平移动部，能够相对于所述第2热处理单元在前后方向上移动；
第2臂部，支撑在所述第2水平移动部上，且能够相对于所述第2水平移动部绕第2轴线旋转；及
第2保持部，固定在所述第2臂部上，且保持衬底；且
所述第2轴线与上下方向平行，
在俯视下，所述第2轴线相对于所述第2水平移动部的相对位置固定，
俯视下的所述第2保持部与所述第2轴线的距离固定。
4.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其中
所述第1水平移动部在前后方向上移动的同时，所述第1臂部绕所述第1轴线旋转，由此，使保持在所述第1保持部的衬底朝向所述第1热处理单元在宽度方向上直线地移动，
所述第2水平移动部在前后方向上移动的同时，所述第2臂部绕所述第2轴线旋转，由此，使保持在所述第2保持部的衬底朝向所述第2热处理单元在宽度方向上直线地移动。
5.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
前后方向上的1个所述第1热处理单元的长度为衬底半径的3倍以下，
前后方向上的1个所述第2热处理单元的长度为衬底半径的3倍以下。
6.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述第1热处理单元分别具有位于所述第1热处理单元的中心的假想的第1中心点，
在前后方向上相邻的2个所述第1中心点之间的距离为衬底半径的3倍以下，
所述第2热处理单元分别具有位于所述第2热处理单元的中心的假想的第2中心点，
在前后方向上相邻的2个所述第2中心点之间的距离为衬底半径的3倍以下。
7.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
宽度方向上的所述搬送空间的长度为衬底半径的5倍以下。
8.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理包含：
预处理，是对进行液体处理前的衬底进行的热处理；及
后处理，是对进行了所述液体处理后的衬底进行的热处理；且
所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理包含
所述预处理及
所述后处理。
9.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理包含
疏水化处理及
加热处理，且
所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理包含
所述疏水化处理及
所述加热处理。
10.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同。
11.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
衬底处理装置具备：
第1前载置部，配置在所述第1搬送机构的前方，能够供所述第1搬送机构载置衬底；及
第2前载置部，配置在所述第2搬送机构的前方，能够供所述第2搬送机构载置衬底；且
所述第1前载置部与所述第2前载置部以排列在上下方向的方式配置，
所述第2前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠。
12.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
衬底处理装置具备
对衬底进行液体处理的液体处理部，且
所述液体处理部配置在所述第1搬送机构能够搬送衬底的区域的外部，且配置在所述第2搬送机构能够搬送衬底的区域的外部。
13.根据权利要求12所述的衬底处理装置，其中
所述衬底处理装置具备液体处理用搬送机构，
该液体处理用搬送机构配置在所述第1搬送机构及所述第2搬送机构的后方，且将衬底搬送到所述液体处理部，且
所述液体处理部配置在与所述液体处理用搬送机构邻接的位置。
14.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述衬底处理装置具备：
第3搬送机构，设置在所述搬送空间中，且搬送衬底；
第4搬送机构，设置在所述搬送空间中，且搬送衬底；
第3热处理部，对衬底进行热处理；及
第4热处理部，对衬底进行热处理；且
所述第3热处理部、所述搬送空间及第4热处理部以依序排列在宽度方向的方式配置，
所述第3搬送机构与所述第4搬送机构配置在所述第1搬送机构与所述第2搬送机构的上方，
所述第3热处理部在俯视下与所述第1热处理部重叠，
所述第4热处理部在俯视下与所述第2热处理部重叠，
所述第3热处理部具备
以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第3热处理单元，
所述第4热处理部具备
以排列在前后方向的方式配置，且对1片衬底进行热处理的多个第4热处理单元，且
所述第3搬送机构将衬底搬送到所述第3热处理单元，
所述第4搬送机构将衬底搬送到所述第4热处理单元。
15.根据权利要求14所述的衬底处理装置，其中
所述第2热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同，
所述第3热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同，
所述第4热处理部对衬底进行的所述热处理与所述第1热处理部对衬底进行的所述热处理相同。
16.根据权利要求14所述的衬底处理装置，其中
所述衬底处理装置具备：
第1前载置部，配置在所述第1搬送机构的前方，能够供所述第1搬送机构载置衬底；
第2前载置部，配置在所述第2搬送机构的前方，能够供所述第2搬送机构载置衬底；
第3前载置部，配置在所述第3搬送机构的前方，能够供所述第3搬送机构载置衬底；及
第4前载置部，配置在所述第4搬送机构的前方，能够供所述第4搬送机构载置衬底；且
所述第1前载置部、所述第2前载置部、所述第3前载置部及所述第4前载置部以排列在上下方向的方式配置，
所述第2前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠，
所述第3前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠，
所述第4前载置部在俯视下与所述第1前载置部重叠。
17.根据权利要求16所述的衬底处理装置，其中
所述衬底处理装置具备移载传送用搬送机构，
该移载传送用搬送机构配置在所述第1前载置部、所述第2前载置部、所述第3前载置部及所述第4前载置部的前方；且
所述移载传送用搬送机构包含：
在收容衬底的载具与所述第1前载置部之间搬送衬底，
在所述载具与所述第2前载置部之间搬送衬底，
在所述载具与所述第3前载置部之间搬送衬底，且
在所述载具与所述第4前载置部之间搬送衬底。
18.根据权利要求14所述的衬底处理装置，其中
所述衬底处理装置具备
对衬底进行液体处理的液体处理部，且
所述液体处理部为
所述第1搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部，
所述第2搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部，
所述第3搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部，且
所述第4搬送机构配置在能够搬送衬底的区域的外部。
19.根据权利要求18所述的衬底处理装置，其中
所述衬底处理装置具备液体处理用搬送机构，
该液体处理用搬送机构配置在所述第1搬送机构、所述第2搬送机构、所述第3搬送机构及所述第4搬送机构的后方，且将衬底搬送到所述液体处理部，
所述液体处理部配置在与所述液体处理用搬送机构在宽度方向上并排的位置、及所述液体处理用搬送机构的后方位置中的至少任一位置。
20.根据权利要求19所述的衬底处理装置，其中
所述衬底处理装置具备：
第1后载置部，配置在所述第1搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第1搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；
第2后载置部，配置在所述第2搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第2搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；
第3后载置部，配置在所述第3搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第3搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；及
第4后载置部，配置在所述第4搬送机构的后方且所述液体处理用搬送机构的前方，能够供所述第4搬送机构及所述液体处理用搬送机构载置衬底；且
所述第1后载置部、所述第2后载置部、所述第3后载置部及所述第4后载置部以排列在上下方向的方式配置，
所述第2后载置部在俯视下与所述第1后载置部重叠，
所述第3后载置部在俯视下与所述第1后载置部重叠，
所述第4后载置部在俯视下与所述第1后载置部重叠。
技术总结