本发明涉及湿法栏具的技术领域，具体而言，涉及一种晶片托盘定位机构和湿法栏具提升固定装置。
背景技术：
太阳能电池制造行业中，湿法设备中的栏具的提升固定装置，也可应用到半导体领域。
湿法栏具为专用载具，用于装载带薄膜的晶片。在薄膜电池制造工艺中，需将晶片放入湿法栏具内，经过湿法工艺处理后，还需要把晶片从湿法栏具中取出。湿法栏具内部是一层层的晶片托盘堆叠而成，每一个晶片托盘可放入一片晶片。在放入和取出晶片时，需把上层的晶片托盘提起，才能完成相应的动作。
在湿法工艺过程中，晶片托盘浸泡入高温的化学液中，晶片托盘经过从常温到高温再到常温的一个过程，长期积累会导致晶片托盘变型。
在现有技术中，机械手一次只装载或者卸载一片晶片。为了提高效率同时装载或卸载2片或者多片晶片。但是由于晶片托盘变形，同层的晶片托盘无法保证在一个平面内。由于晶片托盘的变形，在进行装载或者卸载晶片时，出现过机械手与晶片托盘碰撞的情况，降低了生产效率。晶片托盘变形还可能导致晶片托盘在湿法栏具的导杆上卡住。现在技术中，如果发生这种情况，机械手就不能继续装载或卸载晶片，必须停机，人工处理恢复。
技术实现要素：
本发明的主要目的在于提供一种晶片托盘定位机构和湿法栏具提升固定装置，以解决现有技术中的湿法栏具提升固定装置内的晶片托盘变形而影响生产效率的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种晶片托盘定位机构，包括固定座、安装座、第一驱动部、托起组件和下压组件；第一驱动部安装在固定座上并与安装座相连，第一驱动部用于驱动安装座沿第一方向移动；下压组件和托起组件分别设置在安装座上；托起组件包括托起部，托起部用于托起完成晶片取出的晶片托盘，下压组件包括下压部，下压部用于下压待完成晶片取出的晶片托盘，托起部和下压部之间的距离可沿第二方向调整，第一方向与第二方向相互垂直。
进一步地，下压组件还包括第二驱动部，第二驱动部固定在安装座上，下压部安装在第二驱动部上，第二驱动部驱动下压部沿第二方向移动。
进一步地，第二驱动部包括气缸和活塞杆，下压部包括压板，压板设置在活塞杆的自由端。
进一步地，压板包括相互平行的第一平面和第二平面，第一平面与活塞杆的自由端相连接，第一平面和第二平面的之间还包括第三平面，第三平面与第二平面过渡连接，第三平面在第二驱动部的作用下抵压晶片托盘。
进一步地，下压组件和托起组件分别为多个，多个下压组件分别包括一个第二驱动部，多个下压组件中各压板与各列晶片托盘相对应。
进一步地，固定座和安装座之间设置有滑轨组件，安装座通过滑轨组件沿第一方向移动。
根据本发明的另一方面，提供了一种湿法栏具提升固定装置，包括湿法栏具机构和固定在湿法栏具机构上的晶片托盘定位机构，晶片托盘定位机构为上述的晶片托盘定位机构。
进一步地，湿法栏具机构包括第三驱动部和被第三驱动部驱动的栏具托盘，栏具托盘用于承载栏具，第三驱动部固定设置在框架上，第三驱动部的活动端与栏具托盘相连，第三驱动部驱动栏具托盘沿第二方向移动。
进一步地，栏具托盘还包括固定装置，固定装置用以固定湿法栏具。进一步地，湿法栏具提升固定装置包括第一晶片托盘定位机构和第二晶片托盘定位机构，第一晶片托盘定位机构和第二晶片托盘定位机构相对湿法栏具对称设置。
应用本发明的技术方案，使用时，通过第一驱动部驱动安装座，安装座带动托起组件和下压组件进入晶片托盘之间，然后托起组件和下压组件之间的距离增大，下压组件按压下部的晶片托盘，托起组件托住晶片托盘。避免晶片托盘变形时，机械手向栏具中装载晶片时可能与晶片托盘发生干涉，机械手从栏具中卸载晶片时可能与晶片或者晶片托盘干涉，从而提高生产效率。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中的湿法栏具提升固定装置内的晶片托盘变形而影响生产效率的问题。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明的湿法栏具提升固定装置的实施例的立体结构示意图；
图2示出了图1的湿法栏具提升固定装置的另一角度的局部示意图；
图3示出了图1的湿法栏具提升固定装置的栏具托盘的俯视示意图；
图4示出了图3的栏具托盘的c-c相剖视示意图；
图5示出了图1的湿法栏具的晶片托盘定位机构的立体结构示意图；
图6示出了图1的湿法栏具提升固定装置的湿法栏具的立体结构示意图；以及
图7示出了晶片托盘立体结构示意图。
其中，上述附图包括以下附图标记：
10、固定座；20、安装座；30、第一驱动部；40、托起组件；50、下压组件；60、第二驱动部；70、框架；80、湿法栏具；90、提升组件；91、栏具托盘；92、第三驱动部；100、晶片托盘。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
如图1至图7所示，本实施例的晶片托盘定位机构包括：固定座10、安装座20、第一驱动部30、托起组件40和下压组件50。第一驱动部30安装在固定座10上，并与安装座20相连，第一驱动部30用于驱动安装座20沿第一方向移动。下压组件50和托起组件分别设置在安装座20上。托起组件40包括托起部，托起部用于托起完成晶片取出的晶片托盘100，下压组件50包括下压部，下压部用于下压待完成晶片取出的晶片托盘100，托起部和下压部之间的距离可沿第二方向调整，第一方向与第二方向相互垂直。
应用本实施例的技术方案，使用时，通过第一驱动部30驱动安装座20，安装座20带动托起组件40和下压组件50进入晶片托盘100之间，然后托起组件40和下压组件50之间的距离增大，下压组件50按压下部的晶片托盘100，托起组件40托住晶片托盘100。避免晶片托盘100变形时，机械手向栏具中装载晶片时可能与晶片托盘发生干涉，机械手从栏具中卸载晶片时可能与晶片或者晶片托盘干涉。
需要说明的是，第一方向为水平方向，第二方向为竖直方向。
如图1、图2和图5所示，在本实施例的技术方案中，下压组件50包括第二驱动部60，第二驱动部60固定在安装座20上。下压部安装在第二驱动部60上，第二驱动部60驱动下压部沿第二方向移动。托起部和下压部之间的距离增大是由第二驱动部60驱动下压部产生的，这样下压部抵压晶片托盘100，使得晶片托盘100不容易变形。晶片托盘100在重力作用下放在底部的栏具托盘91上，下压部向下施加作用力，晶片托盘100不容易松散变形。
如图5所示，在本实施例的技术方案中，第二驱动部60包括气缸和活塞杆，下压组件50包括压板，压板设置在活塞杆的自由端。
如图5所示，在本实施例的技术方案中，压板的下表面具有台阶结构，压板包括相互平行的第一平面和第二平面，第一平面与活塞杆的自由端相连接，第一平面和第二平面之间还包括第三平面，第三平面与第二平面过渡连接，第三平面在第二驱动部60的作用下抵压晶片托盘100。具体地，压板按压晶片托盘100的边角，同一个湿法栏具里有多列竖向放置的晶片托盘100，中间的压板比较宽，可以同时按压两列晶片托盘100，而两端的压板只压一列晶片托盘100即可。
如图5所示，在本实施例的技术方案中，下压组件50和托起组件40分别为多个，多个下压组件50分别包括一个第二驱动部60，多个下压组件50中各压板与各列晶片托盘100相对应。本实施例还包括控制系统，通过控制系统控制托起组件40和下压组件50，这样使得托起组件和下压组件的控制更加精确。
如图5所示，在本实施例的技术方案中，托起组件40包括托板，托板固定在安装座20上。上述结构加工成本较低，设置方便，操作容易。
如图5所示，在本实施例的技术方案中，托板的上表面具有台阶结构，托板的前端的厚度小于托板的后端的厚度。托板包括相互平行的第四平面和第五平面，第四平面通过连接部与安装座20相连，第四平面和第五平面之间还包括第六平面，第六平面与第五平面过渡连接，第六平面托起上部的晶片托盘100。
如图5所示，在本实施例的技术方案中，固定座10和安装座20之间设置有滑轨组件，安装座20通过滑轨组件沿第一方向移动。固定座10和安装座20之间设置滑轨组件，这样一方面使得安装座20可以按照预定轨道移动，另一方面减少了固定座10和安装座20之间的摩擦力。具体地，固定座10和安装座20均为板状结构。
如图5所示，在本实施例的技术方案中，滑轨组件包括滑轨和滑槽，滑轨设置在固定座10上，滑槽设置在安装座20上。上述结构加工成本较低，具体地，滑槽可为燕尾槽，这样固定座10和安装座20的相对运动更加精确。
如图1所示，本申请还提供了一种湿法栏具提升固定装置，包括湿法栏具机构和固定在湿法栏具机构上的晶片托盘定位机构。晶片托盘定位机构为上述的晶片托盘定位机构。本申请的湿法栏具提升固定装置的晶片托盘不容易变形，使用效率较高。
本申请湿法栏具机构包括第三驱动部和被第三驱动部驱动的栏具托盘91，栏具托盘91用于承载栏具，第三驱动部固定设置在框架70上，第三驱动部的活动端与栏具托盘91相连，第三驱动部驱动栏具托盘91沿第二方向移动。
本申请的栏具托盘91还包括固定装置，固定装置用以固定湿法栏具。
本申请的湿法栏具机构还包括提升组件90和提升组件上的固定装置，固定装置用以固定湿法栏具。上述结构比较稳固，占用空间较小。
本申请的提升组件90包括第三驱动部和被第三驱动部驱动的栏具托盘91，第三驱动部设置在框架70上，栏具托盘91与第三驱动部相连，以使第三驱动部驱动栏具托盘91沿第二方向移动。上述结构加工成本较低，操作方便。具体地，提升组件90还包括丝杠，第三驱动部驱动丝杠，丝杠和栏具托盘91相连，丝杠带动栏具托盘91上下移动。栏具托盘91包括托盘底板、两个托盘侧板、四个托盘加强板、两个托盘底部加强板。固定装置包括两个平面回转夹紧气缸。两个托盘侧板、四个托盘加强板、两个托盘底部加强板都固定安装在托盘底板上。两个平面回转夹紧气缸安装在托盘底板上，当湿法栏具放置在栏具托盘的托盘底板上时，两个平面回转夹紧气缸能够对湿法栏具的底板进行夹紧固定。
本申请的晶片托盘定位机构为多台。这样使得晶片托盘100的受力更加均匀，具体地，晶片托盘定位机构为两台：第一晶片托盘定位机构和第二晶片托盘定位机构，第一晶片托盘定位机构和第二晶片托盘定位机构对称的设置在湿法栏具的两侧。
湿法栏具提升固定装置的初始状态：第一驱动部30和第二驱动部60的活塞杆都处于未伸出状态；托盘底板处于最低位；平面回转夹紧气缸处于避让位；
步骤1、湿法栏具80的搬运机构将湿法栏具80放置到栏具托盘的托盘底板上；
步骤2、平面回转夹紧气缸运动夹紧固定湿法栏具80的底板；
步骤3、湿法栏具80的搬运机构离开；
步骤4、栏具托盘上升运动，将湿法栏具80带到第一层晶片托盘100的固定位；
步骤5、第一驱动部30的活塞杆伸出，这时托板和压板进入到第一层晶片托盘和第二层晶片托盘的间隙中；
步骤6、提升组件90下降运动一定距离，第一层晶片托盘落到托板上，被固定拖住；
步骤7、第二驱动部60的活塞杆伸出，使压板压住第二层晶片托盘；
步骤8、机械手将晶片装载到第二层晶片托盘或者从第二层晶片托盘卸载，然后离开；
步骤9、第二驱动部60的活塞杆缩回，使压板脱离第二层晶片托盘；
步骤10、提升组件90上升运动，使第二层晶片托盘接触第一层晶片托盘；
步骤11、第一驱动部的活塞杆缩回，这时托板、压板均远离晶片托盘100；
步骤12、提升组件90上升运动，将湿法栏具80运动到第二层晶片托盘的固定位；
此时，第二层晶片托盘的晶片已装载或卸载，并准备好进行第三次晶片托盘的装载或卸载。重复步骤5-12的动作，依次完成第三层到最后一层的晶片托盘的装载或卸载。
当完成最后一层晶片托盘的装载或卸载、第一驱动部30的活塞杆已处于缩回状态时，提升组件90下降运动使栏具托盘处于最低位。
平面回转夹紧气缸运动，远离湿法栏具80的底板，处于避让位。
湿法栏具80的搬运机构将湿法栏具80搬走。
至此，一个湿法栏具80的晶片的装载或卸载完成。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
1.一种晶片托盘定位机构，其特征在于，包括固定座(10)、安装座(20)、第一驱动部(30)、托起组件(40)和下压组件(50)；所述第一驱动部(30)安装在所述固定座(10)上并与所述安装座(20)相连，所述第一驱动部(30)用于驱动所述安装座(20)沿第一方向移动；所述下压组件(50)和所述托起组件(40)分别设置在所述安装座(20)上；所述托起组件(40)包括托起部，所述托起部用于托起完成晶片取出的晶片托盘(100)，所述下压组件(50)包括下压部，所述下压部用于下压待完成晶片取出的晶片托盘(100)，所述托起部和所述下压部之间的距离可沿第二方向调整，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
2.根据权利要求1所述的晶片托盘定位机构，其特征在于，所述下压组件(50)还包括第二驱动部(60)，所述第二驱动部(60)固定在所述安装座(20)上，所述下压部安装在所述第二驱动部(60)上，所述第二驱动部(60)驱动所述下压部沿所述第二方向移动。
3.根据权利要求2所述的晶片托盘定位机构，其特征在于，所述第二驱动部(60)包括气缸和活塞杆，所述下压部包括压板，所述压板设置在所述活塞杆的自由端。
4.根据权利要求3所述的晶片托盘定位机构，其特征在于，所述压板包括相互平行的第一平面和第二平面，所述第一平面与活塞杆的自由端相连接，所述第一平面和第二平面的之间还包括第三平面，所述第三平面与第二平面过渡连接，所述第三平面在所述第二驱动部(60)的作用下抵压晶片托盘(100)。
5.根据权利要求3所述的晶片托盘定位机构，其特征在于，所述下压组件(50)和所述托起组件(40)分别为多个，所述多个下压组件(50)分别包括一个第二驱动部(60)，所述多个下压组件(50)中各所述压板与各列晶片托盘(100)相对应。
6.根据权利要求1所述的晶片托盘定位机构，其特征在于，所述固定座(10)和所述安装座(20)之间设置有滑轨组件，所述安装座(20)通过所述滑轨组件沿所述第一方向移动。
7.一种湿法栏具提升固定装置，包括湿法栏具机构和固定在所述湿法栏具机构上的晶片托盘定位机构，其特征在于，所述晶片托盘定位机构为权利要求1至6中任一项所述的晶片托盘定位机构。
8.根据权利要求7所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于，所述湿法栏具机构包括第三驱动部和被所述第三驱动部驱动的栏具托盘(91)，所述栏具托盘(91)用于承载栏具，所述第三驱动部固定设置在框架(70)上，所述第三驱动部的活动端与所述栏具托盘(91)相连，所述第三驱动部驱动所述栏具托盘(91)沿所述第二方向移动。
9.根据权利要求8所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于，所述栏具托盘(91)还包括固定装置，所述固定装置用以固定湿法栏具。
10.根据权利要求9所述的湿法栏具提升固定装置，其特征在于，所述湿法栏具提升固定装置包括第一晶片托盘定位机构和第二晶片托盘定位机构，所述第一晶片托盘定位机构和所述第二晶片托盘定位机构相对所述湿法栏具对称设置。
技术总结