本发明涉及一种基板处理装置。
背景技术：
在制造半导体设备或显示设备时，实施照相、蚀刻、刻板、离子注入、薄膜层积、清洗等各种工艺。在此，照相工艺包括涂抹、曝光及显像工艺。在基板上涂抹涂渍溶液(即，涂抹工艺)，在形成有感光膜的基板上曝光电路图案(即，曝光工艺)，有选择地显像基板的曝光处理的区域(即，显像工艺)。
在对基板进行的工艺中，发生基板的翘曲(warpage)现象。尤其，在对基板施加热时，产生翘曲现象。例如，为了在涂抹涂渍溶液之前，去除水分，在对基板施加热或涂渍溶液被涂抹之后，对基板施加热。基板的翘曲通过冷却而进行校正。
发明的内容
发明要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题为提供一种基板处理装置。
本发明的课题并非通过上述言及的课题限制，未言及的或其它课题通过下面的记载而使本发明的技术人员明确理解。
用于解决问题的技术方案
用于实现所述课题的本发明的基板处理装置的一方面(aspect)包括：基板支撑部，具有安装面而支撑基板；导环，沿着所述基板支撑部的边缘环形配置，以包裹所述基板；及集中部，设置在所述导环的内部，以与所述安装面平行的方向移动，对所述基板的边缘施加压力，而集中所述基板。
所述基板支撑部包括：第一及第二空气吸入喷嘴，吸入空气，另外，所述第一空气吸入喷嘴通过吸入力而将所述基板固定在所述基板支撑部，所述第二空气吸入喷嘴通过吸入力而吸入存在于所述基板与所述基板支撑部之间的颗粒。
所述第一空气吸入喷嘴与所述安装面的中心邻接配置，所述第二空气吸入喷嘴沿着所述安装面的边缘配置。
所述导环包括：内侧板，具有垂直于所述安装面的宽的面，以包裹所述基板的形式形成为环形；及倾斜板，在所述内侧板的上侧末端以包裹所述基板的形式延伸形成为环形，并且，随着远离所述安装面而直径增加。
所述安装面的所述内侧板的高度形成得高于支撑于所述基板支撑部的基板的边缘的高度。
所述基板支撑部包括：支撑销，支撑所述基板，所述基板包括：翘曲(warpage)基板，与中心部和所述安装面之间的距离相比，其边缘与所述安装面之间的距离长，所述安装面的所述内侧板的高度高于在所述支撑销所支撑的所述翘曲基板的边缘的高度。
所述基板处理装置还包括：加热部，附着在所述基板支撑部，而对所述基板加热。
所述集中部包括：主体，向一侧延长；头部，设置在所述主体的一侧末端，与所述主体一起移动而对所述基板的边缘施加压力；及弹性体，一侧固定于所述基板支撑部，另一侧与所述主体连接，而提供用于对所述基板支撑部的所述主体的弹性移动的弹力。
所述弹性体包括：第一弹性体，配置在所述主体的一侧；及第二弹性体，以所述主体为中心，配置在配置有所述第一弹性体的所述一侧的对侧。
所述主体、所述第一弹性体及所述第二弹性体的结合体为板状，所述结合体的宽的面平行配置于所述安装面。
所述头部包括：倾斜部，越朝向所述基板而直径越小。
所述导环具备：贯通孔，具有以与所述倾斜部的形状对应的倾斜面，另外，对于所述倾斜部与所述倾斜面接触的情况，所述头部的一部分露出至所述贯通孔的外部而对所述基板的边缘施加压力。
所述基板支撑部包括：空气喷嘴，喷射空气，另外，从所述空气喷嘴喷射的空气随着远离所述主体，所述头部移动，而对所述基板的边缘施加压力，对于所述空气喷嘴的空气喷射被中断的情况，通过所述弹性体的弹力，而所述主体恢复至原位而解除因所述头部而产生的对所述基板的边缘的压力。
所述基板支撑部包括：空气喷嘴，吸入空气，另外，对于所述空气喷嘴的空气吸入被中断的情况，通过所述弹性体的弹力而与所述主体连接的所述头部对所述基板的边缘施加压力，对于所述空气喷嘴吸入空气而拉拽所述主体的情况，所述头部进行移动，而解除所述头部而产生的对所述基板的边缘压力。
其它实施例的具体事项包含于具体说明及附图中。
附图说明
图1及图2为显示本发明的实施例的基板处理装置的附图；
图3为本发明的实施例的导环的截面图；
图4为显示在本发明的实施例的基板处理装置安装基板的附图；
图5为显示本发明的实施例的导环设置集中部的附图；
图6为显示设置有本发明的实施例的集中部的导环的一部分的附图；
图7及图8为显示本发明的实施例的集中部的附图；
图9为显示本发明的实施例的集中部的配置状态的附图；
图10为显示本发明的实施例的集中部的移动的附图；
图11及图12为显示本发明的实施例的集中部的集中动作的附图；
图13及图14为显示集中被安装在本发明的实施例的基板处理装置的基板的附图；图15及图16为显示本发明的另一实施例的集中部的集中动作的附图。
附图标记说明
10:基板处理装置100:基板支撑部
101:安装面110:支撑销
200:加热部300:导环
310:内侧板320:倾斜板
330:上侧板340:外侧板
350:下侧板400、800:集中部
410，810:主体420、820:头部
431、432、831、832:弹性体500、600:空气吸入喷嘴
510、610:空气吸入管道700:空气喷嘴
710:空气管道
具体实施方式
下面，参照附图而对本发明的优选的实施例进行具体说明。本发明的优点及特征及其实现其的方法参照与附图一起而具体说明的实施例而变得明确。但本发明并非通过下面公开的实施例进行限定，能够以相互不同的各种形式实现，仅本实施例完全公开本发明，并用于向本发明所属技术领域的普通技术人员完全告知发明的范围而提供，本发明仅通过权利要求范围定义。整个说明书相同的参照符号表示相同的构成要素。
对于元件(elements)或层处于不同的元件或层的“上(on)”或“上面(on)”包含直接处于其它元件或层上，也包含在中间介有其它层或其它元件的情况。而对于称元件为“直接处于上(directlyon)”或“直接处于上面”的情况，显示在中间未介有其它元件或层的情况。
空间上相对的用语即“下(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上(above)”、“上部(upper)”等如显示于附图上所示，用于容易记述一个元件或构成要素与其它元件或构成要素的相互关系而使用。空间上相对的用语在对于显示于附图中的方向而使用时或运行时，应以按包含元件的相互不同的方向的用语理解。例如，对于翻转显示于附图的元件的情况，记述为其它元件的“下(below)”或“下面(beneath)”的元件被放置在其它元件的“上(above)”。因此，例示的用语即“下”全部包含下与上的方向。元件也能够按其它方向配置，由此，空间上相对的用语按配向解释。
即使第一、第二等用于叙述不同的元件、构成要素及/或部分而使用，但该多个元件、构成要素及/或部分未通过该多个用语限定。该用语仅将一个元件、构成要素或部分与其它元件、构成要素或部分区别而使用。因此，下面言及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术的思想内也能够指第二元件、第二构成要素或第二部分。
在本说明书中使用的用语为用于说明实施例，并非限制本发明。在本说明书中，单数型在文中未作特别言及的，也包含复数型。对于说明书中所使用的“包括(comprises)”及/或“包含的(comprising)”所言及的构成要素、步骤、动作及/或元件未排除一个以上其它构成要素、步骤、动作及/或元件的存在或增加。
在不存在其它定义的情况下，本说明书中使用的所有用语(包含技术及科学用语)，在本发明所属技术领域中，按普通技术人员共同理解的意义使用。或者一般使用的词典定义的用语未作明确特别定义的，未以异常或夸张的形式解释。
下面，参照附图对本发明的实施例进行具体说明，在参照附图而进行说明时，与附图符号无关，相同或对应的构成要素赋予相同的参照符号，并省略对其的重复说明。
图1及图2为显示本发明的实施例的基板处理装置的附图。
参照图1及图2，基板处理装置10包括：基板支撑部100、加热部200、导环300及集中部400。
基板支撑部100具有安装面101而执行支撑基板的作用。安装面101具有平行于地面的宽的面。例如，顺利执行基板支撑部100的作用。
基板支撑部100具有支撑销110。支撑销110从安装面101突出形成而支撑基板。支撑销110随着支撑基板而在基板与安装面101之间保持一定距离。
基板支撑部100具有吸入空气的第一及第二空气吸入喷嘴500、600。第一及第二空气吸入喷嘴500、600的开口在安装面101露出。第一及第二空气吸入喷嘴500、600与第一及第二空气吸入管道510、610连接。在第一及第二空气吸入管道510、610的一端分别连接有第一及第二空气吸入喷嘴500、600，在另一端分别具有空气泵(未图示)。随着空气泵运行，第一及第二空气吸入喷嘴500、600的周边的空气流入至第一及第二空气吸入喷嘴500、600，并沿着第一及第二空气吸入管道510、610移动。
第一空气吸入喷嘴500执行通过吸入力而将基板固定于基板支撑部100的作用。第一空气吸入喷嘴500与安装面101的中心邻接配置。基板通过第一空气吸入喷嘴500的吸入力而与基板支撑部100固定。
第二空气吸入喷嘴600执行吸入存在于基板与基板支撑部100的之间的颗粒的作用。尤其，在集中部400产生的颗粒通过第二空气吸入喷嘴600而去除。为此，第二空气吸入喷嘴600沿着安装面101的边缘配置，具体地，与导环300的内侧板310(参照图3)邻接配置。如下面所述，集中部400包括弹性体431、432而变形。集中部400发生变形而自动产生颗粒，并且，因与周边物体的摩擦而产生颗粒。并且，集中部400通过空气喷嘴700的空气喷射力而运行，由此，在集中部400产生的颗粒通过形成于导环300的孔而流入至基板支撑部100的上部空间。通过第二空气吸入喷嘴600的吸入力而去除从集中部400流入至基板支撑部100的颗粒。
加热部200附着在基板支撑部100而执行对基板加热的作用。例如，加热部200随着供应电力而产生热。加热部200的热沿着基板支撑部100而移动，而传输至支撑于基板支撑部100的基板。为了加热部200的热被顺畅地传输至基板，基板支撑部100由具有相对高的热传输率的材质构成。
导环300沿着基板支撑部100的边缘而以环形配置，以包裹基板。在本发明中，导环300执行引导基板的配置的作用。例如，导环300执行辅助对基板支撑部100的基板的集中的作用。并且，如下所示，导环300执行提高第一空气吸入喷嘴500的吸入力的作用。
在导环300具有集中部400。集中部400执行集中基板的作用。基板支撑部100的安装面101及基板的中心为一个圆形。通过集中部400，基板的中心与安装面101的中心一致或邻接。
集中部400被设置在导环300的内部。集中部400以与安装面101平行的方向移动而对基板的边缘施加压力而集中基板。集中部400为多个。多个集中部400同时向基板支撑部100的中心轴(ax)移动，对基板的边缘施加压力，由此，基板的中心与基板支撑部100的中心一致。在本发明中，显示基板支撑部100的中心轴(ax)垂直于安装面101，显示经过具有圆盘状的基板支撑部100的中心点的虚拟轴。
为了进行集中部400的动作，导环300具有空气喷嘴700。空气喷嘴700通过喷射或吸入空气，而运行集中部400。空气喷嘴700与空气管道710连接。在空气管道710的一端连接有空气喷嘴700，在另一端具有空气泵(未图示)。随着空气泵运行，将通过空气管道710而移送的空气通过空气喷嘴700喷射或被吸入至空气喷嘴700的空气通过空气管道710移送。对集中部400的运行的具体说明通过图11至图12、图15至图16说明。
图3为本发明的实施例的导环的截面图。
参照图3，导环300包括：内侧板310、倾斜板320、上侧板330、外侧板340及下侧板350。
内侧板310及外侧板340具有垂直于基板支撑部100的安装面101的宽的面，并形成为环形以包裹基板。内侧板310及外侧板340的中心存在于基板支撑部100的中心轴(ax)上，外侧板340具有大于内侧板310的直径。
倾斜板320在内侧板310的上侧末端延伸形成为环形，以包裹基板。随着内侧板310及倾斜板320形成为环形，导环300的周边空间基于导环300，区分为供安装基板的安装空间(ps)及外侧空间(os)。
倾斜板320远离安装面101而直径增加。图3显示倾斜板320的最小的直径为r，最大的直径为r。倾斜板320执行辅助基板的集中的作用。在基板被安装至基板支撑部100时，对于基板的边缘与倾斜板320接触的情况，因从外侧空间(os)越倾向安装空间(ps)而高度变低的倾斜板320，与倾斜板320接触的基板的边缘向安装空间(ps)移动。
上侧板330及下侧板350具有平行于基板支撑部100的安装面101的宽的面，并形成为环形，以包裹基板。上侧板330与倾斜板320及外侧板340连接，下侧板350与内侧板310及外侧板340连接。
随着内侧板310、倾斜板320、上侧板330、外侧板340及下侧板350的相互连接，在导环300的内部形成一定空间。在相应空间具有上述的集中部400。
图4为显示在本发明的实施例的基板处理装置安装基板的附图。
参照图4，导环300包裹被安装至基板支撑部100的基板(w)的边缘。
如上所示，基板(w)通过第一空气吸入喷嘴500的吸入力而固定于基板支撑部100。基板(w)被支撑在支撑销110，而与安装面101分隔一定距离，由此，为了将基板(w)固定于基板支撑部100，第一空气吸入喷嘴500应持续吸入周边空气。另外，对于通过基板(w)的边缘而流入的空气过多的情况，减弱用于将基板(w)固定于基板支撑部100的第一空气吸入喷嘴500的吸入力。
本发明的实施例的导环300执行减少通过基板(w)的边缘而流入的空气的量，提高用于将基板(w)固定于基板支撑部100的第一空气吸入喷嘴500的吸入力的作用。导环300沿着基板(w)的边缘配置，形成基板(w)的边缘与导环300之间的缝隙，并仅通过相应缝隙流入空气。
安装面101的内侧板310的高度(h2)形成得高于被支撑在基板支撑部100的基板(w)的边缘的高度(h1)。对于安装面101的内侧板310的高度(h2)低于基板(w)的边缘的高度(h1)的情况，缝隙变大，根据对安装面101的内侧板310的高度(h2)高于基板(w)的边缘的高度(h1)，而防止缝隙变大。尤其，在基板(w)被支撑在支撑销110时，内侧板310的高度(h2)高于被支撑在支撑销110的基板的边缘的高度(h1)。
在本发明中，基板(w)为翘曲(warpage)基板。例如，基板(w)为与中心部和安装面101之间的距离相比，其边缘与安装面101之间的距离大的翘曲基板。并且，翘曲基板(w)被支撑在支撑销110。安装面101的内侧板310的高度(h2)高于被支撑在支撑销110的翘曲基板(w)的边缘的高度(h1)。由此，防止形成于基板(w)的边缘与导环300之间的缝隙的扩张，并提高用于将基板(w)固定于基板支撑部100的第一空气吸入喷嘴500的吸入力。
图5为显示在本发明的实施例的导环设置集中部的附图，图6为显示设置有本发明的实施例的集中部的导环的一部分的附图。
参照图5，集中部400被设置在导环300。如上所述，导环300包含内部空间(is)，集中部400被设置在相应空间。
集中部400至少三个被设置在导环300。图5为显示三个集中部400被设置在导环300的内侧板310及外侧板340之间。三个集中部400随着同时对基板(w)的相互不同的边缘施加压力，而执行基板(w)的集中。
参照图6，导环300具有具备倾斜面(sf)的贯通孔311。倾斜面(sf)与下面所述的集中部400的倾斜部421的形状对应。
贯通孔311被设置在导环300的内侧板310。贯通孔311在导环300的内部空间(is)连接安装空间(ps)。与贯通孔311中的内侧板310的安装空间(ps)接触的一部分包括由外侧空间(os)越倾向安装空间(ps)而直径减小的倾斜面(sf)。
在外侧板340具有空气喷嘴700。空气喷嘴700的开口被设置在导环300的内部空间(is)。由此，空气喷嘴700向内部空间(is)喷射空气或吸入内部空间(is)的空气。
图7及图8为显示本发明的实施例的集中部的附图，图9为显示本发明的实施例的集中部的配置姿态的附图。
参照图7及图8，集中部400包括：主体410、头部420及弹性体431、432。
主体410向一侧延长。主体410由导环300的外侧空间(os)向安装空间(ps)的方向延长配置(参照图5)。具体地，主体410的长轴向基板支撑部100的中心轴(ax)延长配置。
头部420被设置在主体410的一侧末端，与主体410一起移动而执行对基板(w)的边缘施加压力的作用。头部420包括：倾斜部421，越朝向基板(w)而直径越小。即，头部420越远离与主体410接触的部分，直径越小。
通过头部420的移动，倾斜部421与形成于导环300的贯通孔311的倾斜面(sf)接触。对于倾斜部421与倾斜面(sf)接触的情况，头部420的一部分裸露至贯通孔311的外部而对基板(w)的边缘施加压力。对其的具体说明通过图12说明。
弹性体431、432提供用于对基板支撑部100的主体410的弹性移动的弹力。为此，弹性体431、432的一侧被固定在基板支撑部100，另一侧与主体410连接。
弹性体431、432包括：第一弹性体431及第二弹性体432。第一弹性体431及第二弹性体432被配置在主体410的两侧。即，第一弹性体431被配置在主体410的一侧，第二弹性体432以主体410为中心，配置在配置有第一弹性体431的一侧的对面。第一弹性体431及第二弹性体432具有以主体410为中心而对称的形状。
第一弹性体431、主体410及第二弹性体432平行配置，而主体410、第一弹性体431及第二弹性体432的结合体为板状。如图9显示所示，主体410，第一弹性体431及第二弹性体432的结合体的宽的面与基板支撑部100的安装面101平行配置。由此，对于在导环300的内部具有支撑结合体的上侧面及下侧面的支撑装置360的情况，防止结合体的上下游动，并执行主体410稳定的移动。
图10为显示本发明的实施例的集中部的移动的附图。
参照图10，集中部400的主体410执行直线移动。即，主体410以长轴方向执行直线移动。
对于外力大于弹性体431、432的弹力的情况，主体410向外力的方向移动。另外，对于去除外力的情况，主体410通过弹性体431、432的弹力而恢复至原位。
图11及图12为显示本发明的实施例的集中部的集中动作的附图。
参照图11，集中部400被设置在导环300的内部。弹性体431、432的一侧被固定在导环300的内侧板310，另一侧与主体410连接。空气喷嘴700与主体410邻接配置。与未具有头部420的主体410的一侧邻接而配置空气喷嘴700。
图11为显示未作用外力，即通过空气喷嘴700而产生的空气喷射力，仅弹性体431、432的弹力对主体410发生作用的附图，此时，头部420未露出至安装空间(ps)。
参照图12，随着由空气喷嘴700喷射空气，主体410进行推动移动。此时，空气的力大于弹性体431、432的弹力。
随着由空气喷嘴700喷射的空气推动主体410，头部420发生移动，头部420的一部分露出至安装空间(ps)。露出至安装空间(ps)的头部420的一部分对基板(w)的边缘施加压力。
随着头部420移动，头部420的倾斜部421与贯通孔311的倾斜面(sf)接触，限制头部420的移动。即，与空气的力无关，露出至安装空间(ps)的头部420的长度一定。设置在导环300的多个集中部400的头部420以一定长度露出至安装空间(ps)，而将基板(w)向基板支撑部100的中心推动，由此，执行基板(w)的集中。
对于空气喷嘴700的空气喷射被中断的情况，通过弹性体431、432的弹力而主体410恢复至原位，从而，解除因头部420所产生的对基板(w)的边缘加压。即，对于空气喷嘴700的空气喷射被中断的情况，如图11显示所示，主体410恢复至原位，并去除露出至安装空间(ps)的头部420。
图13及图14为显示集中被安装在本发明的实施例的基板处理装置的基板的附图。
参照图13，基板(w)被安装而支撑在基板支撑部100。首先，基板(w)通过移送机器人(未图示)移送而安装在基板支撑部100。
此时，基板(w)的一部分以未包含于安装空间(ps)的状态安装基板(w)。即，基板(w)的边缘与导环300接触。如上所述，导环300包含倾斜板320。对于基板(w)的边缘与倾斜板320接触的情况，基板(w)被引导至倾斜板320而向安装空间(ps)移动。
为了加热基板(w)，附着在基板支撑部100的加热部200运行。加热部200的热通过基板支撑部100而传输至基板(w)。也能够通过与基板支撑部100连接的导环300传输热。对于基板(w)的边缘与导环300接触的情况，与导环300接触的基板(w)的相应部分通过基板支撑部100及通过导环300也能够接收所传输的热。对于接收所传输的复合的热的情况，变形基板(w)的相应部分。
为了防止通过导环300的热传输而执行基板(w)的集中。参照图14，在基板(w)被安装在基板支撑部100之后，集中部400执行基板(w)的集中。通过从空气喷嘴700喷射的空气的力，集中部400的主体410向基板支撑部100的中心轴(ax)移动，随着头部420对基板(w)的边缘施加压力，而执行基板(w)的集中。在执行基板(w)的集中之后，解除因空气喷嘴700而产生的空气的喷射，集中部400的主体410恢复至原位。
图15及图16为显示本发明的另一实施例的集中部的集中动作的附图。
参照图15，集中部800包括：主体810、头部820及弹性体831、832。主体810、头部820及弹性体831、832的形状及功能与上述的主体410、头部420及弹性体431、432的形状及功能相同或相似，因此，下面以差异点为主进行说明。图15中空气喷嘴700吸入空气。即，空气喷嘴700吸入导环300的内部空间(is)的空气。
对于未存在空气喷嘴700的空气吸入力的情况，头部820的一部分露出至安装空间(ps)。即，对于空气喷嘴700的空气吸入被中断的情况，通过弹性体831、832的弹力而与主体810连接的头部820对基板(w)的边缘施加压力。另外，如图16显示所示，对于空气喷嘴700吸入空气，拉拽主体810的情况，头部820移动而解除因头部820而产生的基板(w)的边缘加压。
为了基板(w)的集中，首先空气喷嘴700吸入空气而拉拽主体810。因此，在基板(w)被安装至基板支撑部100之后，中断因空气喷嘴700而产生的空气吸入。因而，主体810移动，且头部820对基板(w)施加压力，而执行基板(w)的集中。在执行基板(w)的集中之后，再次执行因空气喷嘴700而产生的空气吸入，解除因头部820而产生的基板(w)加压。
综上参照附图而对本发明进行了说明，但本发明所属技术领域中普通技术人员应当理解，在不变更本发明其技术思想或必要特征的情况下，能够以其它具体形式实施。因此，综上记述的实施例在所有面用于例示，并非用于限定。
1.一种基板处理装置，其特征在于，
包括：
基板支撑部，具有安装面而支撑基板；
导环，沿着所述基板支撑部的边缘环形配置，以包裹所述基板；及
集中部，设置在所述导环的内部，以与所述安装面平行的方向移动，而对所述基板的边缘施加压力，而集中所述基板。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板支撑部包括：第一及第二空气吸入喷嘴，吸入空气，
所述第一空气吸入喷嘴通过吸入力而将所述基板固定在所述基板支撑部，
所述第二空气吸入喷嘴通过吸入力而吸入存在于所述基板与所述基板支撑部之间的颗粒。
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，
所述第一空气吸入喷嘴与所述安装面的中心邻接而配置，
所述第二空气吸入喷嘴沿着所述安装面的边缘配置。
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述导环包括：
内侧板，具有垂直于所述安装面的宽的面，以包裹所述基板的形式形成为环形；及
倾斜板，从所述内侧板的上侧末端以包裹所述基板的形式延伸形成为环形，越远离所述安装面而直径增加。
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，
所述安装面的所述内侧板的高度形成得高于支撑于所述基板支撑部的基板的边缘的高度。
6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板支撑部包括：支撑销，支撑所述基板，
所述基板包括：翘曲基板，与中心部和所述安装面之间的距离相比，其边缘与所述安装面之间的距离长，
所述安装面的所述内侧板高度高于在所述支撑销支撑的所述翘曲基板的边缘的高度。
7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板处理装置还包括：
加热部，附着在所述基板支撑部，而对所述基板加热。
8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述集中部包括：
主体，向一侧延长；
头部，设置在所述主体的一侧末端，与所述主体一起移动而对所述基板的边缘施加压力；及
弹性体，一侧固定于所述基板支撑部，另一侧与所述主体连接，提供用于对所述基板支撑部的所述主体的弹性移动的弹力。
9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，
所述弹性体包括：
第一弹性体，配置在所述主体的一侧；及
第二弹性体，以所述主体为中心，配置在配置有所述第一弹性体的所述一侧的对侧。
10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，
所述主体、所述第一弹性体及所述第二弹性体的结合体具有板状，
所述结合体的宽的面平行配置于所述安装面。
11.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，
所述头部包括：
倾斜部，越朝向所述基板而直径越小。
12.根据权利要求11所述的基板处理装置，其特征在于，
所述导环具备：
贯通孔，具有以与所述倾斜部的形状对应的倾斜面，
对于所述倾斜部与所述倾斜面接触的情况，所述头部的一部分露出至所述贯通孔的外部而对所述基板的边缘施加压力。
13.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板支撑部包括：
空气喷嘴，喷射空气，
从所述空气喷嘴喷射的空气随着远离所述主体，所述头部移动，而对所述基板的边缘施加压力，
对于所述空气喷嘴的空气喷射被中断的情况，通过所述弹性体的弹力，而所述主体而恢复至原位而解除因所述头部而产生的对所述基板的边缘的压力。
14.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板支撑部包括：
空气喷嘴，用于吸入空气，
对于所述空气喷嘴的空气吸入被中断的情况，通过所述弹性体的弹力而与所述主体连接的所述头部对所述基板的边缘施加压力，
对于所述空气喷嘴吸入空气而拉拽所述主体的情况，所述头部进行移动，而解除因所述头部而产生的对所述基板的边缘压力。
技术总结