一种相位延迟测量用样品的制作方法

专利2022-06-28  159


本实用新型涉及标准样品技术领域,特别是涉及一种相位延迟测量用样品。



背景技术:

在高功率激光材料的生长和加工中,光学材料的相位延迟是一个重要的参数,相位延迟会影响到激光器的输出性能和光束质量。目前能够测量相位延迟的设备虽然有很多,然而具备真正计量条件的设备却甚少。波片相位延迟测量装置采用激光频率分裂原理对光学元件相位延迟进行测量,其测量结果可以溯源到激光波长的基准值。要实现将波片相位延迟装置用于精确测量相位延迟,需要有适用于波片相位延迟装置的标准样品。目前,在gb/t26827-2011波片相位延迟测量装置的校准方法中,校准用的是一组不同相位延迟的多级波片。该组多级波片数量多,不易于携带和存储,且多级波片容易带来较大的测量误差。

引用文献:gb/t26827-2011波片相位延迟测量装置的校准方法



技术实现要素:

本实用新型的目的在于针对现有技术中的不足之处,提供一种相位延迟测量用样品,有效减少了样品的数量并且提高了测量精度。

为达到上述目的,本实用新型通过以下技术方案实现:

一种相位延迟测量用样品,包括第一石英晶体薄片和第二石英晶体薄片,在所述的第一石英晶体薄片上表面刻蚀有n个台阶,每个台阶的深度均不同,所述的第一石英晶体薄片的下表面和第二石英晶体薄片下表面光胶结合。

所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片和第二石英晶体薄片的材料和尺寸相同;

所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片的晶轴与其上下表面平行,第二石英晶体薄片的晶轴与其上下表面平行;

所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片的上表面与下表面的平行度小于1″,透过波前小于λ/10,第二石英晶体薄片的上表面与下表面的平行度小于1″,透过波前小于λ/10;

所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片中,第n个台阶面与第一石英晶体薄片面的平行度小于1″,第n个台阶口径内透过波前小于λ/10;

所述的一种相位延迟测量用样品,其中,n≥1;

所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片的晶轴与第二石英晶体薄片的晶轴垂直;

本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种相位延迟测量用样品,量值范围宽、易存储、有效减少了样品的数量并且提高了测量精度。

附图说明

图1是本实用新型一种相位延迟测量用样品的第一石英晶体薄片、第二石英晶体薄片俯视图。

图2是本实用新型一种相位延迟测量用样品的第一石英晶体薄片、第二石英晶体薄片侧视图。

图3是本实用新型一种相位延迟测量用样品俯视图。

图4是本实用新型一种相位延迟测量用样品侧视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做进一步的说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

本实施例中,如图1至图4所示,一种相位延迟测量用样品,包括第一石英晶体薄片11和第二晶体薄片12,第一石英晶体薄片上表面a11刻蚀有台阶111、台阶112、台阶113、台阶114、台阶115及台阶116,每个台阶的深度均不同,所述的第一石英晶体薄片11的下表面b11和第二石英晶体薄片12下表面b12光胶结合。

本实施例中,第一石英晶体薄片11和第二石英晶体薄片12的材料和尺寸相同;

本实施例中,第一石英晶体薄片11的晶轴110与其上下表面平行,所述的第二石英晶体薄片12的晶轴120与其上下表面平行;

本实施例中,第一石英晶体薄片11的上表面a11与下表面b11的平行度小于1″,透过波前小于λ/10,第二石英晶体薄片12的上表面a12与下表面b12的平行度小于1″,透过波前小于λ/10;

本实施例中,第一石英晶体薄片11中,第1个台阶面a111与第一石英晶体薄片的下表面b11的平行度小于1″,第1个台阶111口径内透过波前小于λ/10;第2个台阶面a112与第一石英晶体薄片的下表面b11的平行度小于1″,第2个台阶112口径内透过波前小于λ/10;第3个台阶面a113与第一石英晶体薄片的下表面b11的平行度小于1″,第3个台阶113口径内透过波前小于λ/10;第4个台阶面a114与第一石英晶体薄片的下表面b11的平行度小于1″,第4个台阶114口径内透过波前小于λ/10;第5个台阶面a115与第一石英晶体薄片的下表面b11的平行度小于1″,第5个台阶115口径内透过波前小于λ/10;第6个台阶面a116与第一石英晶体薄片的下表面b11的平行度小于1″,第6个台阶116口径内透过波前小于λ/10;

本实施例中,n≥1;

本实施例中,第一石英晶体薄片11的晶轴110与第二石英晶体薄片12的晶轴120垂直;

经试验表明该标准样品有效减少了样品的数量、量值范围宽、易携带,并且有效提高了测量精度。


技术特征:

1.一种相位延迟测量用样品,其特征在于,包括第一石英晶体薄片(11)和第二石英晶体薄片(12),在所述的第一石英晶体薄片(11)上表面(a11)刻蚀有n个台阶,每个台阶的深度均不同,所述的第一石英晶体薄片(11)的下表面(b11)和第二石英晶体薄片(12)下表面(b12)光胶结合。

2.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品,其特征在于,所述的第一石英晶体薄片(11)和第二石英晶体薄片(12)的材料和尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品,其特征在于,所述的第一石英晶体薄片(11)的晶轴(110)与其上下表面平行,所述的第二石英晶体薄片(12)的晶轴(120)与其上下表面平行。

4.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品,其特征在于,第一石英晶体薄片(11)的上表面(a11)与下表面(b11)的平行度小于1″,透过波前小于λ/10;第二石英晶体薄片(12)的上表面(a12)与下表面(b12)的平行度小于1″,透过波前小于λ/10。

5.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品,其特征在于,第一石英晶体薄片(11)中,第n个台阶面(a11n)与第一石英晶体薄片下表面(b11)的平行度小于1″,第n个台阶(11n)口径内透过波前小于λ/10。

6.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品,其特征在于,n≥1。

7.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品,其特征在于,所述的第一石英晶体薄片(11)的晶轴(110)与第二石英晶体薄片(12)的晶轴(120)垂直。

技术总结
本实用新型提供了一种相位延迟测量用样品,其结构包括,第一石英晶体薄片和第二石英晶体薄片,在所述的第一石英晶体薄片表面刻蚀有N个台阶,每个台阶的深度均不同,所述的第一石英晶体薄片的下表面和第二石英晶体薄片下表面光胶结合。该标准样品具有量值范围宽、易存储等优点,能够满足不同量程相位延迟的测量。

技术研发人员:刘世杰;王微微;周游;潘靖宇
受保护的技术使用者:中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日:2019.09.02
技术公布日:2020.06.09

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