本实用新型涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载需要稳定度高的片状物件的运载装置。
背景技术：
在半导体产业或光电产业的蓬勃发展下，越来越多半导体元件或光电元件需要运载装置，以在厂区内运送这些半导体元件或光电元件。由于像是晶圆、芯片、光罩或是玻璃基板等这些物件几乎都是片状的易碎物件，在运载的过程中必须稳固，以避免其受到大幅的摇晃或碰撞而产生碎裂或损伤。特别是集成电路(integratedcircuit,ic)芯片，通常是先排列成阵列地放置在承载盘(tray)中，然后再将数个承载盘放入一集成电路承载盘卡匣(ictraycassette)或是一弹匣(magazine)内后，在厂区内各工段之间进行传输。由于这些芯片在承载盘中时，通常并未进行固定，而传输系统在传输承载盘卡匣或弹匣的过程中难免会有些摇晃或震动。这些摇晃或震动对于质量较大的承载盘卡匣或弹匣而言或许不致造成太大的影响，但对其中所承载这些质量远小于承载盘卡匣或弹匣的芯片来说，只要些微的晃动或震动就可能造成个别芯片由置放位置上跳脱甚或掉落，并且因而造成损伤。因此必须在传输过程中设法提供对于摇晃或震动所产生的作用力的缓冲，以避免芯片等物件受到损伤。
另一方面，像是晶圆、光罩等容易因为微粒污染而影响品质的物品，还需要避免在运送过程中附着灰尘，因此也不能使用纸类或泡棉类等容易产生细屑的材料来作缓冲。
技术实现要素：
本实用新型的运载装置适于容纳至少一物件。运载装置包括一盒体、一抬升件以及至少一夹持件。盒体的至少一侧壁具有至少一用以容纳物件的至少一边缘的第一沟槽。抬升件可动地配置于盒体。夹持件可动地配置于盒体并与抬升件连接。当抬升件被往上抬升以带动盒体上升时，抬升件带动夹持件从一第一位置移至一第二位置。其中，当夹持件在第二位置时，夹持件与第一沟槽的一支撑部之间的距离小于夹持件在第一位置时夹持件与第一沟槽的该支撑部之间的距离。
在本实用新型的一实施例中，上述的夹持件由第一位置移动至第二位置的距离恰等于物件的边缘的厚度。
在本实用新型的一实施例中，还包括至少一连杆，其中连杆具有一第一抵接部、一第二抵接部及一枢接部，第一抵接部可转动地抵靠或枢接于抬升件，第二抵接部可转动地抵靠或枢接于夹持件，枢接部位于第一抵接部与第二抵接部之间且枢接于盒体。
在本实用新型的一实施例中，上述的第一抵接部绕着一第一转动轴线可转动地抵靠于抬升件，第一转动轴线平行于第二抵接部的一第二转动轴线且平行于枢接部的一枢接轴线。
在本实用新型的一实施例中，上述的第一沟槽沿一第一方向延伸于盒体的侧壁内侧，且第一转动轴线平行于第一方向。
在本实用新型的一实施例中，上述的抬升件具有至少一凹槽，第一抵接部可转动地抵靠于凹槽。
在本实用新型的一实施例中，上述的夹持件连接有一用以使夹持件在未受到连杆的第二抵接部抵压时可复位至第二位置的复位元件。
在本实用新型的一实施例中，上述的盒体具有至少一滑柱，抬升件的一滑设部具有至少一滑孔并通过滑孔而滑设于滑柱。
在本实用新型的一实施例中，上述的滑柱顶端具有一限制滑设部的滑动范围的止挡部。
在本实用新型的一实施例中，上述的盒体的侧壁具有至少一开槽。夹持件滑设于开槽。
在本实用新型的一实施例中，上述的夹持件具有至少一第二沟槽，当夹持件位于第一位置时，第一沟槽的支撑部与第二沟槽的一夹固部间的距离小于当夹持件位于第二位置时，支撑部与夹固部间的距离。
在本实用新型的一实施例中，上述的夹持件位于第一位置时，支撑部与夹固部间的距离恰等于物件的边缘的厚度。
在本实用新型的一实施例中，上述的夹持件位于第二位置时，第二沟槽的底缘与对应的第一沟槽的底缘位于相同高度处。
在本实用新型的一实施例中，上述的第一沟槽沿一第一方向延伸，夹持件适于沿垂直于第一方向的一第二方向移动。
基于上述，在本实用新型的运载装置中，在盒体设置了抬升件以及与抬升件连接并可受其驱动的夹持件，故当传输系统抓住承载有物件的运载装置的抬升件而将运载装置吊起并进行传输时，夹持件可随着抬升件的上升而被带动，使得位于运载装置的第一沟槽与第二沟槽内的物件的边缘被夹持在侧壁上的第一沟槽的支撑部与夹持件上的第二沟槽的夹固部之间，以达到固定物件的效果。因此，运载装置在运载及传输的过程中，能利用夹持件的夹固部与第一沟槽的支撑部共同夹持并固定物件，以降低运载装置所受到的摇晃及震动等外力作用对其所承载的物件造成的影响，从而避免物件于运载装置内因为过度晃动或震动而受到撞击、由放置位置脱落，并且因此而受损。
为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。
附图说明
图1是本实用新型一实施例的运载装置的立体图；
图2是图1的运载装置的剖视图；
图3是图2的运载装置的夹持件夹持物件时的局部放大图；
图4是图2的运载装置的夹持件未夹持物件时的局部放大图。
附图标记说明
10：运载装置
20：物件
21：边缘
100：盒体
110：侧壁
111：第一沟槽
111a：支撑部
112：开槽
120：顶壁
130：底壁
140：滑柱
142：止挡部
200：夹持件
210：第二沟槽
210a：夹固部
300：抬升件
320：凹槽
340：滑设部
340a：滑孔
400：连杆
410：第一抵接部
420：第二抵接部
430：枢接部
a：容纳空间
a1：第一转动轴线
a2：第二转动轴线
a3：枢接轴线
n1：第一方向
n2：第二方向
具体实施方式
图1是本新型创作一实施例的运载装置的立体图。图2是图1的运载装置的剖视图。请参考图1及图2，本实施例的运载装置10包括一盒体100、至少一夹持件200以及一抬升件300，运载装置10适于容纳至少一物件20。
在本实施例的附图中，物件20示出的数量为一个，但在其他实施例中，物件20的数量也可以为多个且多个物件20彼此叠设。物件20为承载件，例如是晶圆框架、或芯片载盘等，或者也可以是晶圆、光罩、玻璃基板或其他易碎物件本身，本实用新型不对此加以限制。
盒体100包括一顶壁120、连接于顶壁120且彼此相对的两侧壁110以及连接于两侧壁110且与顶壁120相对的一底壁130。顶壁120、两侧壁110以及底壁130共同定义出容纳空间a，以容纳物件20。
盒体100的两侧壁110内侧各自具有多个用以容纳物件20的边缘21的第一沟槽111。两侧壁110上的第一沟槽111彼此相互对应，且各第一沟槽111与底壁130平行设置。也就是说，物件20的边缘21适于伸入多个第一沟槽111的其中两相对应的第一沟槽111。
每一第一沟槽111具有一支撑部111a。支撑部111a即为运载装置10用以容纳物件20的边缘21的第一沟槽111底部的上表面。当物件20被容置在运载装置10内的时候，物件20的边缘21就是被支撑在支撑部111a上的。
抬升件300可移动地配置于盒体100的顶壁120上。夹持件200的数量示出为二个，但不以此为限。两夹持件200可移动地配置于盒体100的左右两侧，并分别通过一连杆400与抬升件300连接。
图3是图2的运载装置的夹持件夹持物件时的局部放大图。图4是图2的运载装置的夹持件未夹持物件时的局部放大图。
请参考图3及图4，夹持件200在如图3所示的第一位置与在如图4所示的第二位置间移动。当夹持件200在如图3所示的第一位置时，夹持件200与第一沟槽111的支撑部111a之间的距离小于夹持件200在如图4所示的第二位置时，夹持件200与第一沟槽111的支撑部111a之间的距离。
进一步而言，在本实施例中，当抬升件300被往上抬升时，盒体100先会因为受到重力的作用而留在原来的位置，直到抬升件300达到其在盒体100上方活动范围的顶端而无法再相对于盒体100向上移动之后，盒体100才会开始被抬升件300带动上升。
在抬升件300被往上抬升，而盒体100因为重力的作用而尚未随抬升件300上升的这个阶段，夹持件200被抬升件300带动而移动至图3所示的第一位置而使物件20的边缘21被夹持于夹持件200与第一沟槽111的支撑部111a之间。
而当运载动作完成，运载装置10被降下至一置放位置(未示出)上后，首先运载系统的抓取装置会继续下降以使抬升件300下降至其活动范围的最底端而不再被抬升。在这个过程中，夹持件200适于随着抬升件300的下降而移动至图4所示的第二位置以分离于物件20的边缘21。
夹持件200的材质可有许多不同的选择，例如是金属、塑胶或其它材质等，只要能够稳定地夹取物件20，且具有足够的摩擦力以防止物件20滑动即可。当然，如果考虑到半导体或光电等高科技厂房对于洁净度方面的要求，则其材质若是能采用具有耐磨耗、不易产生微粒污染特性者更佳。
在上述配置方式之下，当被承载的物件20的边缘21位于第一沟槽111内时，夹持件200随着抬升件300上升而被带动，使物件20的边缘21被夹持在夹持件200与第一沟槽111的支撑部111a之间，以达到定位及稳固物件20的效果。
因此，运载装置10在运载过程中，能利用夹持件200与第一沟槽111的支撑部111a固定物件20，以吸收或降低运载装置10所受到的外力作用，从而避免物件20于运载装置10内产生过度的晃动或震动并因此受到撞击或是由放置位置脱落。
如图1及图2所示，第一沟槽111沿第一方向n1延伸于盒体100的侧壁110内侧。物件20适于沿第一方向n1进出盒体100的容纳空间a。两夹持件200则适于沿垂直于第一方向n1的一第二方向n2移动而抵接物件20的边缘21，其中第二方向n2与侧壁110相互平行。
侧壁110具有对应于两夹持件200的至少一开槽112，本实施例所示范者为左右侧各有一个。各夹持件200滑设于对应的开槽112中，且两开槽112与两夹持件200皆对称地设置于盒体100的两侧。从而，两夹持件200能够平均地定位于物件20的边缘21上对称的两侧。在其他实施例中，开槽112可为其他适当形式的设计，本实用新型不对此加以限制。
详细而言，各夹持件200还具有多个第二沟槽210。每一第二沟槽210均与一第一沟槽111对应，并同样沿着第一方向n1延伸，且物件20的两边缘21适于伸入两相对应的第二沟槽210。各第二沟槽210分别具有一夹固部210a。在本实施例中，夹固部210a即为第二沟槽210顶部向下的表面。
当夹持件200位于图3所示的第一位置时，支撑部111a与夹固部210a间的距离小于当夹持件200位于图4所示第二位置时，支撑部111a与夹固部210a间的距离。基于此设计，当夹持件200位于图3所示的第一位置时，物件20的边缘21被夹持于对应的第一沟槽111的支撑部111a与第二沟槽210的夹固部210a之间。
当夹持件200位于图4所示的第二位置时，支撑部111a与夹固部210a间的距离大于当夹持件200位于图3所示第一位置时支撑部111a与夹固部210a间的距离。此时物件20的边缘21可在第一沟槽111及第二沟槽210中通行而被取放。而当物件20被放入运载装置10中时，其边缘21被承载于第一沟槽111的支撑部111a上，且分离于第二沟槽210的夹固部210a。
需说明的是，当运载装置10中未容置有物件20时，夹持件200上下移动的范围可大于或等于物件20的边缘21的厚度。但当第一沟槽111及第二沟槽210中容置有物件20时，夹持件200由图3所示的第一位置移动至图4所示的第二位置的距离就恰等于物件20的边缘21的厚度了。
而当夹持件200位于第二位置时，第二沟槽210的底缘不高于对应的第一沟槽111的底缘，亦即第二沟槽210的底缘位于与对应的第一沟槽111的底缘相同高度或略低处(图4所示出者为第二沟槽210底缘略低于对应的第一沟槽111底缘的实施方式)。如此物件20的边缘21才能被取放的过程中顺利地通过第一沟槽111及第二沟槽210。
此外，本实施例的第二沟槽210的数量与第一沟槽111的数量相同。当然，在其他实施例中，第一沟槽111以及第二沟槽210的形式与数量可视需求而定，本实用新型并不以此为限。
以下具体说明本实施例的抬升件300带动夹持件200的方式。运载装置10包括至少一连杆400。在本实施例中，连杆400的数量示出为二个，但并不以此为限，且二连杆400设置在盒体100的顶壁120上。
详细地说，各连杆400具有一第一抵接部410、一第二抵接部420及一枢接部430。第一抵接部410可转动地抵靠抬升件300，第二抵接部420枢接于对应的夹持件200，而枢接部430枢接于盒体100的顶壁120上且位于第一抵接部410与第二抵接部420之间。
需说明的是，在未示出的实施例中，第一抵接部410也能够枢接于抬升件300，第二抵接部420也能够可转动地抵靠于对应的夹持件200，且夹持件200还可连接有一复位元件，例如一复位弹簧(图未示)，以使夹持件200在未受到连杆400的第二抵接部420抵压时可复位至图4所示的第二位置，本实用新型并不以此为限。
请参考图3及图4，抬升件300还具有至少一凹槽320。在本实施例中，凹槽320的数量为左右各一个，但并不以此为限。连杆400的第一抵接部410是绕着一第一转动轴线a1可转动地抵靠于抬升件300的凹槽320。
详细而言，此第一转动轴线a1平行于第二抵接部420的一第二转动轴线a2，也平行于枢接部430的一枢接轴线a3，且第一转动轴线a1平行于第一方向n1而垂直于第二方向n2，以使抬升件300顺利地带动夹持件200沿着垂直于第一方向n1的第二方向n2作动。
换言之，当抬升件300被抬升时，抬升件300带动连杆400以枢接部430为转动中心而相对于盒体100转动，并且通过连杆400带动夹持件200沿着第二方向n2下滑并抵接物件20的边缘21，进而让物件20的边缘21被夹持于对应的第一沟槽111的支撑部111a与第二沟槽210的夹固部210a之间而被定位。
另一方面，盒体100上具有至少一滑柱140，且各滑柱140的顶端具有一止挡部142。抬升件300还具有一滑设部340，且抬升件300的滑设部340具有对应于盒体100的滑柱140的至少一滑孔340a。
抬升件300通过滑设部340的滑孔340a而滑设于盒体100的对应的滑柱140，且使抬升件300的滑设部340的滑动范围被限制于盒体100与止挡部142之间。
综上所述，本实用新型的运载装置中，在盒体设置了可动的抬升件以及与抬升件连接而可与抬升件连动的夹持件，故当被承载的物件的边缘位于第一沟槽及第二沟槽内时，夹持件可随着抬升件的上升而被带动，使物件的边缘被夹持在侧壁上的第一沟槽的支撑部与夹持件上的第二沟槽的夹固部之间，以达到固定物件的效果。因此，运载装置在运载及传输的过程中，能利用夹持件的夹固部与第一沟槽的支撑部共同夹持并固定物件，以降低运载装置所受到的摇晃及震动等外力作用对其所承载的物件造成的影响，从而避免物件于运载装置内因为过度晃动或震动而受到撞击、由放置位置脱落，并且因此而受损。
虽然本实用新型已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更改与润饰，故本实用新型的保护范围当视权利要求所界定的为准。
1.一种运载装置，适于容纳至少一物件，其特征在于，包括：
盒体，其中所述盒体的至少一侧壁具有用以容纳所述至少一物件的至少一边缘的至少一第一沟槽，所述第一沟槽具有支撑部；
抬升件，可动地配置于所述盒体；以及
至少一夹持件，可动地配置于所述盒体并与所述抬升件连接，且所述至少一夹持件具有夹固部，当所述抬升件被往上抬升以带动所述盒体上升时，所述抬升件带动所述至少一夹持件从第一位置移至第二位置，
其中，当所述至少一夹持件在所述第二位置时，所述至少一夹持件的所述夹固部与所述至少一第一沟槽的所述支撑部间的距离小于所述至少一夹持件在所述第一位置时所述至少一夹持件的所述夹固部与所述至少一第一沟槽的所述支撑部间的距离。
2.根据权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述至少一夹持件由所述第一位置移动至所述第二位置的距离恰等于所述物件的所述至少一边缘的厚度。
3.根据权利要求1或2所述的运载装置，其特征在于，包括至少一连杆，其中所述至少一连杆具有第一抵接部、第二抵接部及枢接部，所述第一抵接部可转动地抵靠或枢接于所述抬升件，所述第二抵接部可转动地抵靠或枢接于所述至少一夹持件，所述枢接部位于所述第一抵接部与所述第二抵接部之间且枢接于所述盒体。
4.根据权利要求3所述的运载装置，其特征在于，所述第一抵接部绕着第一转动轴线可转动地抵靠于所述抬升件，所述第一转动轴线平行于所述第二抵接部的第二转动轴线且平行于所述枢接部的枢接轴线。
5.根据权利要求4所述的运载装置，其特征在于，所述至少一第一沟槽沿第一方向延伸于所述盒体的所述至少一侧壁内侧，且所述第一转动轴线平行于所述第一方向。
6.根据权利要求3所述的运载装置，其特征在于，所述抬升件具有至少一凹槽，所述第一抵接部可转动地抵靠于所述凹槽。
7.根据权利要求3所述的运载装置，其特征在于，所述至少一夹持件连接有用以使所述至少一夹持件在未受到所述至少一连杆的所述第二抵接部抵压时可复位至所述第二位置的复位元件。
8.根据权利要求1或2所述的运载装置，其特征在于，所述盒体具有至少一滑柱，所述抬升件的滑设部具有至少一滑孔并通过所述至少一滑孔而滑设于所述至少一滑柱。
9.根据权利要求8所述的运载装置，其特征在于，所述至少一滑柱顶端具有限制所述滑设部的滑动范围的止挡部。
10.根据权利要求1或2所述的运载装置，其特征在于，所述盒体的所述至少一侧壁具有至少一开槽，所述至少一夹持件滑设于所述至少一开槽。
11.根据权利要求1或2所述的运载装置，其特征在于，所述至少一夹持件具有至少一第二沟槽，当所述至少一夹持件位于所述第一位置时，所述至少一第一沟槽的所述支撑部与所述至少一第二沟槽的夹固部间的距离小于所述至少一夹持件位于所述第二位置时所述支撑部与所述夹固部间的距离。
12.根据权利要求11所述的运载装置，其特征在于，所述至少一夹持件位于所述第一位置时，所述支撑部与所述夹固部间的距离恰等于所述物件的所述至少一边缘的厚度。
13.根据权利要求11所述的运载装置，其特征在于，所述至少一夹持件位于所述第二位置时，所述至少一第二沟槽的底缘与对应的所述至少一第一沟槽的底缘位于相同高度处。
14.根据权利要求1或2所述的运载装置，其特征在于，所述第一沟槽沿第一方向延伸，所述至少一夹持件适于沿垂直于所述第一方向的第二方向移动。
技术总结