本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种热处理退火炉的密封结构。
背景技术：
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，退火炉分为台车式、井式、箱式、罩式和光亮退火炉，光亮退火炉应是封闭的，与外界空气隔绝；采用氢气作保护气的，炉口处通过密封辊进行密封。
传统的光亮退火炉跟换密封辊时，需将上下羊毛毡松开，羊毛毡丢放在作业位置，造成羊毛毡的损坏，造成羊毛毡的密封不良，更换密封辊时，由于密封辊和羊毛毡之间没有导向件，容易造成密封辊和羊毛毡之间安装错位，造成密封不良，此过程需要工人弯腰调整作业，且存在视野盲区，容易造成密封辊脱落，砸伤工人，为此，我们提出一种热处理退火炉的密封结构。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种热处理退火炉的密封结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热处理退火炉的密封结构，包括退火炉本体、密封件和导向件，所述退火炉本体一侧固定连接有密封板，所述密封板远离退火炉本体的一侧开设有滑槽，所述密封件滑动连接在滑槽内部，所述导向件对称设有四个，且四个导向件固定连接在密封件内部，所述密封件顶部和底部对称设有两个密封调节件，且两个密封调节件分别与密封件的顶部和底部通过导向件卡接，所述密封件和密封板通过法兰压板用螺栓与退火炉本体，所述退火炉本体内部滑动连接有钢带，所述钢带滑动贯穿密封板、密封件和法兰压板。
优选的，所述密封件包括第一密封辊、第二密封辊、转动轴和安装壳，所述第一密封辊滑动连接在钢带一侧，所述第二密封辊滑动连接在钢带的另一侧，所述第一密封辊和第二密封辊分别转动套接在两个转动轴外侧，且两个转动轴分别转动连接在两个安装壳内部，所述安装壳滑动连接在滑槽内部，所述第一密封辊顶部和第二密封辊底部对称设有四个通行槽，所述导向件固定连接在通行槽内部。
优选的，所述导向件包括导向杆和导向弹簧，所述羊毛毡底部设有导向槽，所述导向杆固定连接在通行槽底部，所述导向弹簧滑动套接在导向杆外侧，所述导向弹簧的一端固定连接在通行槽底部，且导向弹簧的另一侧固定连接在导向杆顶部。
优选的，所述导向件包括导向杆和导向弹簧，所述羊毛毡底部设有导向槽，所述导向杆顶部和导向槽均设置成球面状。
优选的，所述密封调节件包括螺纹杆、固定板、推板和羊毛毡，所述羊毛毡顶部对称设有两个安装槽，所述羊毛毡顶部设有内螺纹，所述螺纹杆与安装槽螺纹连接，所述螺纹杆一端与推板固定连接，且螺纹杆另一端贯穿固定板固定连接有把手，所述螺纹杆与固定板滑动连接，所述推板滑动连接在安装槽内部。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型，将羊毛毡固定在退火炉上避免了羊毛毡的损坏，同时在羊毛毡和密封辊之间增加了导向件，避免了安装错位导致的密封不良，同时通过密封调节件取代了原有的c型夹具，避免了c型夹具的反复拆装。
2、本实用新型，导向杆和导向件均设置成球面状，有利于密封辊的导向。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为正视剖视示意图；
图3为图1中a处区域放大示意图。
图中：1-退火炉本体；2-密封件；3-导向件；4-密封板；5-密封调节件；6-滑槽；7-螺栓；8-钢带；9-第一密封辊；10-第二密封辊；11-转动轴；12-安装壳；13-螺纹杆；14-固定板；15-推板；16-羊毛毡；17-安装槽；18-把手；19-导向杆；20-导向弹簧；21-导向槽；22-通行槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种热处理退火炉的密封结构，包括包括退火炉本体1、密封件2和导向件3，所述退火炉本体1一侧固定连接有密封板4，所述密封板4远离退火炉本体1的一侧开设有滑槽6，所述密封件2滑动连接在滑槽6内部，所述导向件3对称设有四个，且四个导向件3固定连接在密封件2内部，所述密封件2顶部和底部对称设有两个密封调节件5，且两个密封调节件5分别与密封件2的顶部和底部通过导向件3卡接，所述密封件2和密封板4通过法兰压板用螺栓7与退火炉本体1，所述退火炉本体1内部滑动连接有钢带8，所述钢带8滑动贯穿密封板4、密封件2和法兰压板，需要更换密封件2时，将密封调节件5调节所需位置更换密封件2，通过导向件3避免了安装错位，保证了密封效果。
所述密封件2包括第一密封辊9、第二密封辊10、转动轴11和安装壳12，所述第一密封辊9滑动连接在钢带8一侧，所述第二密封辊10滑动连接在钢带8的另一侧，所述第一密封辊9和第二密封辊10分别转动套接在两个转动轴11外侧，且两个转动轴11分别转动连接在两个安装壳12内部，所述安装壳12滑动连接在滑槽6内部，所述第一密封辊9顶部和第二密封辊10底部对称设有四个通行槽22，所述导向件3固定连接在通行槽22内部，避免了在更换第一密封辊9和第二密封辊10时，员工失手滑落造成的砸伤事件。
所述导向件3包括导向杆19和导向弹簧20，所述羊毛毡16底部设有导向槽21，所述导向杆19固定连接在通行槽22底部，所述导向弹簧20滑动套接在导向杆19外侧，所述导向弹簧20的一端固定连接在通行槽22底部，且导向弹簧20的另一侧固定连接在导向杆19顶部。
具体实施方式：第一密封辊9和第二密封辊10沿着滑槽6运动，第一密封辊9和第二密封辊10上的导向杆19沿着羊毛毡16滑动，由于导向弹簧20的存在，羊毛毡16会压着导向杆19沿着通行槽22运动，等运动到导向槽21时，导向杆19和导向槽21卡接。
所述导向杆19顶部和导向槽21均设置成球面状，有利于导向杆19和导向槽21之间的运动卡接。
所述密封调节件5包括螺纹杆13、固定板14、推板15和羊毛毡16，所述羊毛毡16顶部对称设有两个安装槽17，所述羊毛毡16顶部设有内螺纹，所述螺纹杆13与安装槽17螺纹连接，所述螺纹杆13一端与推板15固定连接，且螺纹杆13另一端贯穿固定板14固定连接有把手18，所述螺纹杆13与固定板14滑动连接，所述推板15滑动连接在安装槽17内部。
具体实施方式：需要跟换第一密封辊9和第二密封辊10时，转动螺纹杆13，螺纹杆13在通行槽22内部转动，同时推板15在螺纹杆13的推力作用下，拉动或者推动羊毛毡16运动，使羊毛毡16远离或者压紧安装壳12。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种热处理退火炉的密封结构，包括退火炉本体(1)、密封件(2)和导向件(3)，其特征在于：所述退火炉本体(1)一侧固定连接有密封板(4)，所述密封板(4)远离退火炉本体(1)的一侧开设有滑槽(6)，所述密封件(2)滑动连接在滑槽(6)内部，所述导向件(3)对称设有四个，且四个导向件(3)固定连接在密封件(2)内部，所述密封件(2)顶部和底部对称设有两个密封调节件(5)，且两个密封调节件(5)分别与密封件(2)的顶部和底部通过导向件(3)卡接，所述密封件(2)和密封板(4)通过法兰压板用螺栓(7)与退火炉本体(1)，所述退火炉本体(1)内部滑动连接有钢带(8)，所述钢带(8)滑动贯穿密封板(4)、密封件(2)和法兰压板。
2.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构，其特征在于：所述密封件(2)包括第一密封辊(9)、第二密封辊(10)、转动轴(11)和安装壳(12)，所述第一密封辊(9)滑动连接在钢带(8)一侧，所述第二密封辊(10)滑动连接在钢带(8)的另一侧，所述第一密封辊(9)和第二密封辊(10)分别转动套接在两个转动轴(11)外侧，且两个转动轴(11)分别转动连接在两个安装壳(12)内部，所述安装壳(12)滑动连接在滑槽(6)内部，所述第一密封辊(9)顶部和第二密封辊(10)底部对称设有四个通行槽(22)，所述导向件(3)固定连接在通行槽(22)内部。
3.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构，其特征在于：所述密封调节件(5)包括螺纹杆(13)、固定板(14)、推板(15)和羊毛毡(16)，所述羊毛毡(16)顶部对称设有两个安装槽(17)，所述羊毛毡(16)顶部设有内螺纹，所述螺纹杆(13)与安装槽(17)螺纹连接，所述螺纹杆(13)一端与推板(15)固定连接，且螺纹杆(13)另一端贯穿固定板(14)固定连接有把手(18)，所述螺纹杆(13)与固定板(14)滑动连接，所述推板(15)滑动连接在安装槽(17)内部。
4.根据权利要求3所述的一种热处理退火炉的密封结构，其特征在于：所述导向件(3)包括导向杆(19)和导向弹簧(20)，所述羊毛毡(16)底部设有导向槽(21)，所述导向杆(19)固定连接在通行槽(22)底部，所述导向弹簧(20)滑动套接在导向杆(19)外侧，所述导向弹簧(20)的一端固定连接在通行槽(22)底部，且导向弹簧(20)的另一侧固定连接在导向杆(19)顶部。
5.根据权利要求4所述的一种热处理退火炉的密封结构，其特征在于：所述导向杆(19)顶部和导向槽(21)均设置成球面状。
技术总结