一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备的制作方法

专利2022-07-08  108


本实用新型涉及碳化硅制造技术领域,具体为一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备。



背景技术:

金刚砂又名碳化硅(sic)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石,碳化硅又称碳硅石,在当代c、n、b等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。

现有的碳化硅在制备过程中,需要将碳化硅籽晶粘到粘接板上,然后使用坩埚制备,但是碳化硅籽晶厚度通常为300μm-500μm,并且通过粘合剂粘在籽晶托上,由于籽晶厚度较薄,不但加工过程中容易变形,而且在粘接时也容易变形甚至断裂,而且员工粘接时,手部也会直接造成划痕,粘接也不能确保均匀牢固,严重影响后期碳化硅制备的质量和效率,为此,我们提出一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,包括固定支架、贴紧装置、限位装置和吸盘构成,所述固定支架一端固定有贴紧装置,所述固定支架远离贴紧装置一端设有吸盘,所述吸盘内部设有卡槽,所述卡槽内部设有限位装置,所述固定支架与吸盘之间通过限位装置固定连接。

优选的,所述固定支架外表面刻有防滑纹。

优选的,所述限位装置由金属销、滑板、拉环和限位弹簧构成,所述卡槽内部设有金属销,所述金属销贯穿固定支架,且与固定支架滑动连接,所述金属销外表面固定有滑板,所述滑板顶部设有限位弹簧,所述限位弹簧两端分别与滑板和固定支架固定连接,所述金属销顶部固定有拉环。

优选的,所述贴紧装置由连接板、缓冲装置、固定板和橡胶垫构成,所述固定支架一端固定有连接板,所述连接板一侧设有缓冲装置,所述缓冲装置一侧设有固定板,所述缓冲装置两端分别与连接板和固定板固定连接,所述固定板一侧固定有橡胶垫。

优选的,所述缓冲装置由导柱、导套和缓冲弹簧构成,所述连接板一侧固定有导柱,所述导柱一侧外表面套有导套,且与导套滑动连接,所述导套一端与固定板固定连接,所述导柱与导套外表面套有缓冲弹簧,所述缓冲弹簧两端分别与连接板和固定板固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型使用吸盘吸住碳化硅籽晶,保护碳化硅籽晶,确保碳化硅粘接时不会产生划痕和缺陷,进一步保证后期碳化硅制备的质量,通过贴紧装置可以在碳化硅籽晶粘接后,挤压碳化硅籽晶,提升碳化硅籽晶的粘接平整度和粘接强度,保证提升碳化硅制备的质量和速度。

2、本实用新型固定支架外表面刻有防滑纹,便于员工操作使用,缓冲装置提供缓冲力,防止员工挤压时对碳化硅籽晶造成损坏。

附图说明

图1为本实用新型局部剖视图;

图2为图1中a区域放大图;

图3为图1中b区域放大图。

图中:1-固定支架;2-防滑纹;3-贴紧装置;4-限位装置;5-吸盘;6-连接板;7-缓冲装置;8-固定板;9-橡胶垫;10-导柱;11-导套;12-缓冲弹簧;13-卡槽;14-金属销;15-滑板;16-拉环;17-限位弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,包括固定支架1、贴紧装置3、限位装置4和吸盘5构成,所述固定支架1一端固定有贴紧装置3,所述固定支架1远离贴紧装置3一端设有吸盘5,所述吸盘5内部设有卡槽13,所述卡槽13内部设有限位装置4,所述固定支架1与吸盘5之间通过限位装置4固定连接,通过吸盘5吸取碳化硅籽晶,便于碳化硅籽晶的运输,使用贴紧装置3使碳化硅籽晶紧贴籽晶粘接板。

所述固定支架1外表面刻有防滑纹2,便于粘合设备的使用。

所述限位装置4由金属销14、滑板15、拉环16和限位弹簧17构成,所述卡槽13内部设有金属销14,所述金属销14贯穿固定支架1,且与固定支架1滑动连接,所述金属销14外表面固定有滑板15,所述滑板15顶部设有限位弹簧17,所述限位弹簧17两端分别与滑板15和固定支架1固定连接,所述金属销14顶部固定有拉环16,便于吸盘5拆卸更换。

在碳化硅制备时,员工使用固定支架1一端的吸盘5吸住碳化硅籽晶,将籽晶放置于籽晶粘接板上,粘接,在吸盘5长期使用后,吸盘5表面附着很多杂质,吸取效果较差,需要更换,此时拉动拉环16,拉环16带动金属销14脱离吸盘5的卡槽13,限位弹簧17收缩,将吸盘5取出,更换吸盘5后,松开拉环16,限位弹簧17回弹,将金属销14卡入卡槽13内,吸盘5更换完成。

所述贴紧装置3由连接板6、缓冲装置7、固定板8和橡胶垫9构成,所述固定支架1一端固定有连接板6,所述连接板6一侧设有缓冲装置7,所述缓冲装置7一侧设有固定板8,所述缓冲装置7两端分别与连接板6和固定板8固定连接,所述固定板8一侧固定有橡胶垫9,使碳化硅籽晶紧贴籽晶粘接板,便于碳化硅籽晶制备碳化硅,橡胶垫9可以更好的保护碳化硅籽晶,防止划痕产生。

所述缓冲装置7由导柱10、导套11和缓冲弹簧12构成,所述连接板6一侧固定有导柱10,所述导柱10一侧外表面套有导套11,且与导套11滑动连接,所述导套11一端与固定板8固定连接,所述导柱10与导套11外表面套有缓冲弹簧12,所述缓冲弹簧12两端分别与连接板6和固定板8固定连接,提供缓冲力,防止员工挤压时对碳化硅籽晶造成损坏。

在碳化硅籽晶贴近籽晶粘接板后,籽晶的粘接时会与粘接板存在空隙,影响碳化硅的生产,此时,转动固定支架1,使用固定支架1一端的贴紧装置3挤压碳化硅籽晶,橡胶垫9先接触籽晶,手部推动籽晶贴合粘接板,缓冲装置7的导柱10和导套11相对滑动,缓冲弹簧12收缩,减小冲击力,保证籽晶粘接充分前提下,保护籽晶。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:

1.一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,包括固定支架(1)、贴紧装置(3)、限位装置(4)和吸盘(5)构成,其特征在于:所述固定支架(1)一端固定有贴紧装置(3),所述固定支架(1)远离贴紧装置(3)一端设有吸盘(5),所述吸盘(5)内部设有卡槽(13),所述卡槽(13)内部设有限位装置(4),所述固定支架(1)与吸盘(5)之间通过限位装置(4)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,其特征在于:所述固定支架(1)外表面刻有防滑纹(2)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,其特征在于:所述限位装置(4)由金属销(14)、滑板(15)、拉环(16)和限位弹簧(17)构成,所述卡槽(13)内部设有金属销(14),所述金属销(14)贯穿固定支架(1),且与固定支架(1)滑动连接,所述金属销(14)外表面固定有滑板(15),所述滑板(15)顶部设有限位弹簧(17),所述限位弹簧(17)两端分别与滑板(15)和固定支架(1)固定连接,所述金属销(14)顶部固定有拉环(16)。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,其特征在于:所述贴紧装置(3)由连接板(6)、缓冲装置(7)、固定板(8)和橡胶垫(9)构成,所述固定支架(1)一端固定有连接板(6),所述连接板(6)一侧设有缓冲装置(7),所述缓冲装置(7)一侧设有固定板(8),所述缓冲装置(7)两端分别与连接板(6)和固定板(8)固定连接,所述固定板(8)一侧固定有橡胶垫(9)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,其特征在于:所述缓冲装置(7)由导柱(10)、导套(11)和缓冲弹簧(12)构成,所述连接板(6)一侧固定有导柱(10),所述导柱(10)一侧外表面套有导套(11),且与导套(11)滑动连接,所述导套(11)一端与固定板(8)固定连接,所述导柱(10)与导套(11)外表面套有缓冲弹簧(12),所述缓冲弹簧(12)两端分别与连接板(6)和固定板(8)固定连接。

技术总结
本实用新型公开了一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,包括固定支架、贴紧装置、限位装置和吸盘构成,所述固定支架一端固定有贴紧装置,所述固定支架远离贴紧装置一端设有吸盘,所述吸盘内部设有卡槽,所述卡槽内部设有限位装置,所述固定支架与吸盘之间通过限位装置固定连接,此碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,使用吸盘吸住碳化硅籽晶,保护碳化硅籽晶,确保碳化硅粘接时不会产生划痕和缺陷,进一步保证后期碳化硅制备的质量,通过贴紧装置可以在碳化硅籽晶粘接后,挤压碳化硅籽晶,提升碳化硅籽晶的粘接平整度和粘接强度,保证提升碳化硅制备的质量和速度。

技术研发人员:吉野辰萌;程鹏
受保护的技术使用者:天津市卓辉电子有限公司
技术研发日:2019.07.08
技术公布日:2020.05.19

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