本实用新型涉及光伏组件加工的技术领域，具体涉及一种密封件。
背景技术：
目前，真空设备(例如pecvd设备和pvd设备等)的腔室内部通过设置冷却结构，从而对腔室进行冷却，该冷却结构通常采用将水冷管缠绕于腔室内，并通过密封接头与腔室外部相连接，在保证腔室的真空密封的同时，将冷却水引入真空腔室内的方式；
现有技术中，通常采用密封接头与锁紧部件之间的螺纹配合的方式，将密封接头与腔室紧密连接，但是，当使用锁紧部件对密封接头进行锁紧时，由于密封接头的固定部横切面为圆形结构并且没有限位结构，故固定部会随着锁紧部件一起旋转，从而出现松动的情况，影响真空腔室的真空密封性，引起真空腔室漏气。
技术实现要素：
有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种密封件，从而缓解现有的密封接头在安装在腔室时，容易发生松动所带来的技术问题。
(一)技术方案
本实用新型提供了一种密封件，用于对腔室室壁的通孔进行密封，包括：密封接头和锁紧部件，所述密封接头包括：固定部和本体，所述固定部和所述本体为固定连接，所述密封接头插设于所述腔室室壁内，所述固定部设置在所述腔室室壁的一侧，所述本体设置在所述腔室室壁的另一侧，所述锁紧部件设置在与所述固定部相对的所述腔室室壁的一侧，且所述锁紧部件用于将密封接头锁紧在腔室室壁上，所述固定部的横切面形状不是圆形，所述腔室室壁靠近所述固定部的一侧开设有与所述固定部配合的限位槽，所述固定部设置在所述限位槽内。
可选的，所述固定部设置为正方形或椭圆形。
可选的，所述限位槽的形状与所述固定部的形状相适配。
可选的，所述密封件连接结构还包括：至少一个固定组件，所述固定组件包括：连接件和开设于所述固定部上的定位通孔和开设于所述限位槽内的定位槽，所述定位通孔和定位槽分别与所述连接件为螺纹连接。
可选的，所述定位通孔的轴线与所述定位槽的轴线在一条直线上。
可选的，所述固定组件的数量设置为四个。
可选的，四个所述定位通孔沿周向等距设置在所述固定部上。
可选的，四个所述定位槽沿周向等距设置在所述限位槽内。
可选的，所述固定部靠近所述腔室室壁的表面上设有防滑凸起。
可选的，所述防滑凸起设置为锯齿状。
(三)有益效果：
本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：
本实用新型提供了一种密封件，用于对腔室室壁的通孔进行密封，包括：密封接头和锁紧部件，所述密封接头包括：固定部和本体，所述固定部和所述本体为固定连接，所述密封接头插设于所述腔室室壁内，所述固定部设置在所述腔室室壁的一侧，所述本体设置在所述腔室室壁的另一侧，所述锁紧部件设置在与所述固定部相对的所述腔室室壁的一侧，且所述锁紧部件用于将密封接头锁紧在腔室室壁上，所述固定部的横切面形状不是圆形，所述腔室室壁靠近所述固定部的一侧开设有与所述固定部配合的限位槽，所述固定部设置在所述限位槽内，当转动锁紧部件时，固定部则被限定在限位槽内，不会随着锁紧部件一起旋转，将密封接头紧密安装在腔室室壁上，从而保证真空腔室的真空密封性。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
图1是本实用新型实施例一的结构示意图；
图2是本实用新型实施例一中固定部的结构示意图；
图3是本实用新型实施例二的结构示意图；
图4是本实用新型实施例二中固定部与固定组件配合的结构示意图；
图5是本实用新型实施例二中定位槽的结构示意图；
图6是本实用新型实施例三中中防滑凸起的结构示意图；
图7是本实用新型的使用状态图。
图中：1、密封接头；2、锁紧部件；3、腔室室壁；4、固定部；5、本体；6、限位槽；7、连接件；8、定位槽；9、防滑凸起。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明：
实施例一
如图1、图2和图7所示，本申请公开了一种密封件，用于对腔室室壁3的通孔进行密封，包括：密封接头1和锁紧部件2，密封接头1包括：固定部4和本体5，固定部4和本体5为固定连接，密封接头1从腔室室壁3的通孔一侧穿入后伸出到腔室室壁3的另一侧，固定部4设置在腔室室壁3的一侧，本体5从腔室室壁3的通孔一侧穿入后伸出到腔室室壁3的另一侧，锁紧部件2设置在与固定部4相对的腔室室壁3的一侧，且锁紧部件2用于将密封接头1锁紧在腔室室壁3上，优选的，锁紧部件2设置为螺母，螺母与本体5螺纹配合连接，实现将密封接头1锁紧在腔室室壁3上，另一个实施例方式：锁紧部件2与本体5为卡合连接，即锁紧部件2的内壁面设有至少一个凸起，本体5上设有与凸起相配合的凹槽，通过凸起与凹槽的配合实现利用锁紧部件2将密封接头1锁紧在腔室室壁3上，如图2所示，固定部4的横切面形状不是圆形，优选的，固定部4设置为正方形或椭圆形，该形状不做具体的限定，腔室室壁3靠近固定部4的一侧开设有与固定部配合的限位槽6，固定部4设置在限位槽6内，当转动锁紧部件2时，固定部4则被限定在限位槽6内，不会随着锁紧部件2一起旋转，将密封接头1紧密安装在腔室室壁3上，从而保证真空腔室的真空密封性。
可选的，限位槽6的形状与固定部4的形状相适配，从而当转动锁紧部件2时，固定部4由于被限位槽6限位，故不会随着锁紧部件2一起旋转，从而提高工作效率。
可选的，在限位槽6与固定部4之间设有密封圈，通过设置密封圈增强密封接头1与腔室室壁3之间的密封性能。
可选的，密封接头1的本体5的沿轴心开设有通孔，通孔的一端与外面的外接输送水管相连接，通孔的另一端与腔室室壁3内的水冷管相连接，用于将外部的冷水经过密封接头1输送给腔室室壁3内的水冷管，实现对腔室内进行冷却。
实施例二
与实施例一不同的地方在于，在本实施方案中，如图3、图4和图5所示，
密封件连接结构还包括：至少一个固定组件，固定组件的作用是将密封接头1稳定固定在腔室室壁3上，从而实现当转动锁紧部件2时，固定部4由于被固定组件固定在腔室室壁3上，故不会随着锁紧部件2一起旋转，理论上，设置固定组件数量越多，密封件固定在腔室室壁3越稳定，但由于固定部4的面积有限，故具体数量根据生产需要进行调整即可；固定组件包括：连接件7和开设于固定部4上的定位通孔和开设于限位槽6内的定位槽8，优选地，连接件7分别与定位通孔和定位槽8为螺纹连接，使用时，将连接件7穿过固定部4上的定位通孔后与限位槽6内的定位槽8连接，然后当顺时针或逆时针转动连接件7，从而将固定部4固定在腔室室壁3上。
可选的，定位通孔的轴线与定位槽8的轴线在一条直线上，该设计保证连接件7在穿过定位通孔后，可以准确插入定位槽8内，连接件7不会由于定位孔与定位槽8不在一条直线上，从而出现倾斜的情况，最终保证利用固定组件与锁紧部件2的配合，从而将密封接头1稳定固定在腔室室壁3上，从而保证真空腔室的真空密封性。
可选的，如图4所示，固定组件的数量设置为四个。
可选的，四个定位通孔沿周向等距设置在固定部4上。
可选的，四个定位槽8沿周向等距设置在限位槽6内，该设计保证固定部4的受力均匀，有效提高固定效果。
实施例三
与实施例二不同的地方在于，在本实施方案中，如图6所示，
可选的，固定部4靠近腔室室壁3的表面上设有防滑凸起9，防滑凸起9的作用是增强固定部4与腔室室壁3之间的摩擦力，减少固定部4跟随锁紧部件2一起旋转的概率，保证密封接头1的密封性能。
可选的，防滑凸起9设置为锯齿状，还可以设置为圆球状，该防滑凸起9的具体结构和数量不做限定，只要可以实现增强摩擦力的结构均属于本申请的保护范围。
下面对本实用新型的装配过程进行说明：
首先将密封接头1加工成正方形，并且在密封接头1靠近腔室室壁3的表面焊接上锯齿状的防滑凸起9，之后在固定部4上开设出至少一个定位通孔；
同时在需要密封的腔室室壁3上开设有与固定部4形状相适配的限位槽6，然后在限位槽6内开设有与定位通孔相对应的定位槽8；
装配时，将密封接头1插设于腔室室壁3内，固定部4设置在限位槽6内，本体5从腔室室壁3的通孔一侧穿入后伸出到腔室室壁3的另一侧，之后，将连接件7依次插入开设于固定部4上的定位通孔和开设于限位槽6内的定位槽8内，然后顺时针或逆时针转动连接件7，从而将固定部4固定在腔室室壁3上，最后，将锁紧部件2螺纹连接于本体5上，从而实现将密封接头1稳定固定在腔室室壁3上，不会发生松动的情况，有效保证密封腔室的密封性能。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何方向。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.一种密封件，其特征在于，用于对腔室室壁(3)的通孔进行密封，包括：密封接头(1)和锁紧部件(2)，所述密封接头(1)包括：固定部(4)和本体(5)，所述固定部(4)和所述本体(5)为固定连接，所述密封接头(1)插设于所述腔室室壁(3)内，所述固定部(4)设置在所述腔室室壁(3)的一侧，所述本体(5)设置在所述腔室室壁(3)的另一侧，所述锁紧部件(2)设置在与所述固定部(4)相对的所述腔室室壁(3)的一侧，且所述锁紧部件(2)用于将密封接头(1)锁紧在腔室室壁(3)上，所述固定部(4)的横切面形状不是圆形，所述腔室室壁(3)靠近所述固定部(4)的一侧开设有与所述固定部(4)配合的限位槽(6)，所述固定部(4)设置在所述限位槽(6)内。
2.根据权利要求1所述的一种密封件，其特征在于，所述固定部(4)设置为正方形或椭圆形。
3.根据权利要求1所述的一种密封件，其特征在于，所述限位槽(6)的形状与所述固定部(4)的形状相适配。
4.根据权利要求1所述的一种密封件，其特征在于，所述密封件连接结构还包括：至少一个固定组件，所述固定组件包括：连接件(7)和开设于所述固定部(4)上的定位通孔和开设于所述限位槽(6)内的定位槽(8)，所述定位通孔和定位槽(8)分别与所述连接件(7)为螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的一种密封件，其特征在于，所述定位通孔的轴线与所述定位槽(8)的轴线在一条直线上。
6.根据权利要求4所述的一种密封件，其特征在于，所述固定组件的数量设置为四个。
7.根据权利要求6所述的一种密封件，其特征在于，四个所述定位通孔沿周向等距设置在所述固定部(4)上。
8.根据权利要求6所述的一种密封件，其特征在于，四个所述定位槽(8)沿周向等距设置在所述限位槽(6)内。
9.根据权利要求1-8任一所述的密封件，其特征在于，所述固定部(4)靠近所述腔室室壁(3)的表面上设有防滑凸起(9)。
10.根据权利要求9所述的一种密封件，其特征在于，所述防滑凸起(9)设置为锯齿状。
技术总结