用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装的制作方法

专利2022-06-29  68


本实用新型涉及硅晶片加工领域,特别涉及用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装。



背景技术:

元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8%是硅元素构成的,仅次于氧元素含量排行第二,硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。

晶体硅材料是最主要的光伏材料,性质为带有金属光泽的灰黑色固体、熔点高(1410)、硬度大、有脆性、常温下化学性质不活泼。其市场占有率在90%以上,而且在今后相当长的一段时期也依然是太阳能电池的主流材料。但在其加工过程中,往往一些有机物以及金属杂质附着在硅晶片表面而影响其工作性能,降低太阳能的转化效率。为保持硅晶片表面清洁,需将硅晶片放置在强酸或强碱等强腐蚀的化学试剂中进行清洗。现有硅晶片清洗时,放置其的工装多采用不锈钢焊接制成,焊接处耐腐蚀性、耐高温性不好,使用寿命短,会对硅晶片造成污染。



技术实现要素:

为克服上述缺点,本实用新型的目的在于提供一种用于硅晶片清洗的工装,采用榫接,耐高温、耐腐蚀,方便拆卸。

为了达到以上目的,本实用新型采用的技术方案是:用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:包括两个手提箱板和两个插口板,两个所述手提箱板相互平行,两个所述插口板相互平行,且两个所述插口板两端分别榫接于手提箱板的一端,两个所述手提箱板和两个插口板收尾相连,形成供硅晶片放置的框体;所述手提箱板的两个竖直侧边上均设置有第一榫接部,所述插口板的两个竖直侧边上均设置有第二榫接部,所述第一榫接部和第二榫接部相互匹配,所述第一榫接部为手提箱板侧边上均匀设置的楔形凹槽,所述第二榫接部为插口板侧边上均匀设置的楔形凸起,所述楔形凹槽和所述楔形凸起的形状相匹配,且位置一一对应;两个所述手提箱板间可拆卸连接有若干用于硅晶片托底的托杆.所述手提箱板、插口板和托杆均为聚四氟乙烯。

优选地,所述楔形凹槽的底部向顶部收窄且顶部开口设置,榫接牢固。

优选地,为方便清洗剂流入框内对硅晶片进行清洗,所述手提箱板和插口板上均设置有供清洗剂流入的溶剂通孔。

优选地,两个所述手提箱板相对面上设置有相互对应的第一插槽,所述托杆两端插入第一插槽内,所述第一插槽位于溶剂通孔下方。托杆插接在手提箱板上,方便拆卸更换。

优选地,为方便硅晶片间隔放置,不影响清洗,两个所述插口板的相对面设置有若干用于隔开硅晶片的第一凸起,所述第一凸起等距设置,分别设置在溶剂通孔上下两端。

优选地,两个所述手提箱板上方设置有方便拿取的提拉手柄,方便工装拿取。

优选地,所述托杆之间设置有若干隔开框体的隔离组件,所述隔离组件包括下插口杆和与下插口杆匹配的上插口杆,所述上插口杆和下插口杆与手提箱板插接,所述下插口杆位于溶剂通孔下方且高于托杆位置,所述上插口杆位于溶剂通孔上方,所述上插口杆和下插口杆两侧均设置有与第一凸起匹配的第二凸起。插接的连接隔离组件,可根据硅晶片的不同尺寸,分隔框体的空间,提高通用性。

本实用新型的有益效果是,两个手提箱板和两个插口板榫接形成放置硅晶片的框体,无需焊接,采用聚四氟乙烯,耐腐蚀耐高温性能好,方便拆卸更换,使用寿命长,减少对硅晶片的污染。

附图说明

图1为本实施例的立体图;

图2为本实施例的侧视图;

图3为本实施例的俯视图。

图中:

1-手提箱板,2-插口板,3-第一榫接部,31-楔形凹槽,4-第二榫接部,41-楔形凸起,5-托杆,6-溶剂通孔,7-第一凸起,8-提拉手柄,91-下插口杆,92-上插口杆,10-第二凸起。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参见附图1-3所示,本实施例中的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,包括两个手提箱板1和两个插口板2,两个所述手提箱板1结构相同且相互平行,两个所述插口板2结构相同且相互平行。两个所述插口板2两端分别榫接于手提箱板1的一端,两个所述手提箱板1和两个插口板2收尾相连,形成供硅晶片放置的框体。两个所述手提箱板1间可拆卸连接有若干托杆5,托杆5用于硅晶片的托底,硅晶片放置在托杆5上。图1中托杆5为两个,可根据手提箱板1的长度适当增加托杆5个数,手提箱板1越长,可设置越多托杆5,相邻托杆5件留有空隙,供清洗剂进入框体内。两个所述手提箱板1相对面上设置有相互对应的第一插槽,所述托杆5两端插入第一插槽内,所述第一插槽位于溶剂通孔6下方。托杆5平行于插口板2,插接在手提箱板1上,方便拆卸更换。

所述手提箱板1的两个竖直侧边上均设置有第一榫接部3,所述插口板2的两个竖直侧边上均设置有第二榫接部4,所述第一榫接部3和第二榫接部4相互匹配。所述第一榫接部3为手提箱板1侧边上均匀设置的楔形凹槽31,所述第二榫接部4为插口板2侧边上均匀设置的楔形凸起41,所述楔形凹槽31和所述楔形凸起41的形状相匹配,且位置一一对应。所述楔形凹槽的底部向顶部收窄且顶部开口设置,榫接牢固。

为方便清洗剂流入框内对硅晶片进行清洗,所述手提箱板1和插口板2上均设置有供清洗剂流入的溶剂通孔6,溶剂通孔6为腰型孔,位于手提箱板1和插口板2的中间位置,溶剂通孔6的长轴为手提箱板1/插口板2长度的三分之二。

为硅晶片完全浸泡在清洗剂中,不影响清洗效果,硅晶片需间隔放置。两个所述插口板2的相对面设置有若干用于隔开硅晶片的第一凸起7,所述第一凸起7等距设置,分别设置在溶剂通孔6上下两端。第一凸起7间隔相邻的硅晶片,使两者存在间隙。

两个所述手提箱板1上方设置有方便拿取的提拉手柄8,方便工装拿取,提拉手柄8为一方便卡固的腰型孔。所述手提箱板1、插口板2和托杆5均为聚四氟乙烯制成的一体式结构。

具体实施例2

为增加工装的通用性,适应不同尺寸的硅晶片,所述托杆5之间设置有若干隔开框体的隔离组件。所述隔离组件包括下插口杆91和与下插口杆91匹配的上插口杆92,所述上插口杆92和下插口杆91与手提箱板1插接,两个手提箱板1上设置有供上插口杆92和下插口杆91插入的第二插槽,上插口杆92和下插口杆91的两端分别插入两个手提箱板1的第二插槽内。所述下插口杆91位于溶剂通孔6下方且高于托杆5位置,所述上插口杆92位于溶剂通孔6上方,所述上插口杆92和下插口杆91两侧均设置有与第一凸起7匹配的第二凸起10。

本工装无需焊接,采用聚四氟乙烯,耐腐蚀耐高温性能好,方便拆卸更换,使用寿命长,减少对硅晶片的污染。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。


技术特征:

1.用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:包括两个手提箱板(1)和两个插口板(2),两个所述手提箱板(1)相互平行,两个所述插口板(2)相互平行,且两个所述插口板(2)两端分别榫接于手提箱板(1)的一端,两个所述手提箱板(1)和两个插口板(2)收尾相连,形成供硅晶片放置的框体;所述手提箱板(1)的两个竖直侧边上均设置有第一榫接部(3),所述插口板(2)的两个竖直侧边上均设置有第二榫接部(4),所述第一榫接部(3)和第二榫接部(4)相互匹配,所述第一榫接部(3)为手提箱板(1)侧边上均匀设置的楔形凹槽(31),所述第二榫接部(4)为插口板(2)侧边上均匀设置的楔形凸起(41),所述楔形凹槽(31)和楔形凸起(41)的形状相匹配,且位置一一对应;两个所述手提箱板(1)间可拆卸连接有若干用于硅晶片托底的托杆(5),所述手提箱板(1)、插口板(2)和托杆(5)均为聚四氟乙烯。

2.根据权利要求1所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:所述楔形凹槽(31)的底部向顶部收窄,且顶部开口设置。

3.根据权利要求1所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:所述手提箱板(1)和插口板(2)上均设置有供清洗剂流入的溶剂通孔(6)。

4.根据权利要求3所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:两个所述手提箱板(1)相对面上设置有相互对应的第一插槽,所述托杆(5)两端插入第一插槽内,所述第一插槽位于溶剂通孔(6)下方。

5.根据权利要求3所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:两个所述插口板(2)的相对面设置有若干用于隔开硅晶片的第一凸起(7),所述第一凸起(7)等距设置,分别设置在溶剂通孔(6)上下两端。

6.根据权利要求1-5任一所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:两个所述手提箱板(1)上方设置有方便拿取的提拉手柄(8)。

7.根据权利要求6所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,其特征在于:所述托杆(5)之间设置有若干隔开框体的隔离组件,所述隔离组件包括下插口杆(91)和与下插口杆(91)匹配的上插口杆(92),所述上插口杆(92)和下插口杆(91)与手提箱板(1)插接,所述下插口杆(91)位于溶剂通孔(6)下方且高于托杆(5)位置,所述上插口杆(92)位于溶剂通孔(6)上方,所述上插口杆(92)和下插口杆(91)两侧均设置有与第一凸起(7)匹配的第二凸起(10)。

技术总结
本实用新型公开了用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装,包括两个手提箱板和两个插口板,两个手提箱板相互平行,两个插口板相互平行,且两个插口板两端分别榫接于手提箱板的一端,两个手提箱板和两个插口板收尾相连,形成供硅晶片放置的框体。手提箱板的两个竖直侧边上均设置有第一榫接部,插口板的两个竖直侧边上均设置有第二榫接部,第一榫接部和第二榫接部相互匹配,第一榫接部为手提箱板侧边上设置的楔形凹槽,第二榫接部为插口板侧边上设置的楔形凸起,楔形凹槽和楔形凸起的形状相匹配,且位置一一对应。两个手提箱板间可拆卸连接有若干用于硅晶片托底的托杆。手提箱板、插口板和托杆均为聚四氟乙烯。该工装无需焊接,耐高温耐腐蚀,方便拆卸。

技术研发人员:闵霞;顾正龙
受保护的技术使用者:张家港海扬超声清洗设备有限公司
技术研发日:2019.10.21
技术公布日:2020.06.09

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