本实用新型涉及一种晶圆花篮，尤其涉及一种竖直承载型晶圆花篮。
背景技术：
在现代半导体制造技术中，晶圆片的清洗是贯穿工艺制造流程中必不可少的关键步骤，如果晶圆片表面的洁净度质量达不到要求，无论其它工艺步骤控制的多优秀，也不可能获得高质量的半导体器件。清洗是指将晶圆先放入清洗花篮（简称为放片），然后将花篮放入清洗液内浸泡，去除晶圆表面脏污。清洗完之后再将晶圆从花篮内取出（简称为取片）。
现有清洗用的晶圆花篮可分为竖直承载型（晶圆竖直放置）和水平承载型（晶圆水平放置），使用最多的是竖直承载型花篮。竖直承载型晶圆花篮通常均包括平行且等间隔设置的一组用于竖直承载晶圆的卡槽，卡槽的上端设置有用于取出和放入晶圆的第一开口，所述卡槽的下端设置有晶圆不能通过的第二开口。对于竖直承载型晶圆花篮，当前所采用的放片和取片操作方式是用镊子夹住晶圆边缘，直接放入花篮和从花篮中取出。由于晶圆（尤其是薄晶圆）具有易碎的特点，此种取放片方式存在如下缺陷：由于标准晶圆清洗花篮的卡槽通常设计的较窄，人为操作取、放片时手易抖动、位置把握不准等因素，晶圆容易和卡槽周边发生碰撞、挤压，造成晶圆破碎。如果在设计时增大花篮卡槽宽度的话，运输和清洗操作过程中晶圆在卡槽内容易大幅度晃动，产生较大的冲击力，同样会造成晶圆破碎。
技术实现要素：
本实用新型所要解决技术问题在于克服现有技术不足，提供一种槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，可在放片和取片时将卡槽宽度调宽，在运输和清洗操作时将卡槽宽度调窄，从而在不提高取放片难度的同时，大幅减少晶圆破损。
本实用新型具体采用以下技术方案解决上述技术问题：
一种槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，包括平行且等间隔设置的一组用于竖直承载晶圆的卡槽，所述卡槽的上端设置有用于取出和放入晶圆的第一开口，所述卡槽的下端设置有晶圆不能通过的第二开口；所述花篮具有可使得所述一组卡槽的部分槽体宽度在第一宽度和第二宽度之间同步变化的活动机构，所述第一宽度为卡槽其余部分槽体的宽度，第二宽度小于第一宽度。
作为其中一种优选实现方案，该花篮包括框架，所述框架的左、右两壁的内侧分别设置有一组竖直隔板，两组竖直隔板之间呈镜像对称，这两组隔板将框架之中的空间分隔为所述卡槽；所述框架的左、右两壁分别有一部分为可带着其内侧的部分竖直隔板在一定范围内横向滑动的活动部件，这两个活动部件即构成所述活动机构，活动部件横向滑动的两个端部位置分别对应于所述部分槽体的第一宽度和第二宽度。
优选地，所述两个活动部件可分别用紧固螺栓固定在对应于所述部分槽体的第二宽度的端部位置。
进一步地，该花篮还包括固定于所述框架上的提手。
优选地，所述第一宽度、第二宽度分别为9mm、3mm。
相比现有技术，本实用新型技术方案具有以下有益效果：
本实用新型针对传统竖直承载型晶圆花篮的卡槽宽度不能同时适应取放片需求和运输、清洗操作需求的问题，通过设置一活动机构以使得卡槽的部分槽体宽度可变化，这样即可在取放片时将槽体宽度加大，在运输和清洗过程中减小槽体宽度，从而在不提高取放片难度的同时，大幅减少生产过程中的晶圆破损。
附图说明
图1为本实用新型一个优选实施例的结构示意图；
图2为取放片状态下活动部件的位置状态示意图；
图3为运输和清洗操作状态下活动部件的位置状态示意图。
图中各附图标记含义如下：
1、框架，11、竖直隔板，12、卡槽，13、活动部件，14、紧固螺栓，2、提手。
具体实施方式
针对传统竖直承载型晶圆花篮的卡槽宽度不能同时适应取放片需求和运输、清洗操作需求的问题，本实用新型的解决思路是通过设置一活动机构以使得卡槽的部分槽体宽度可变化，这样即可在取放片时将槽体宽度加大，在运输和清洗过程中减小槽体宽度，从而在不提高取放片难度的同时，大幅减少生产过程中的晶圆破损。
具体而言，本实用新型所提出的槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，包括平行且等间隔设置的一组用于竖直承载晶圆的卡槽，所述卡槽的上端设置有用于取出和放入晶圆的第一开口，所述卡槽的下端设置有晶圆不能通过的第二开口；所述花篮具有可使得所述一组卡槽的部分槽体宽度在第一宽度和第二宽度之间同步变化的活动机构，所述第一宽度为卡槽其余部分槽体的宽度，第二宽度小于第一宽度。
为了便于公众理解，下面通过一个优选实施例并结合附图来对本实用新型的技术方案进行进一步详细说明：
如图1所示，本实施例的槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮包括框架1和固定在框架1上的提手2；框架1的左、右两壁的内侧分别设置有一组竖直隔板11，两组竖直隔板11之间呈镜像对称，这两组竖直隔板11将框架1之中的空间分隔为平行且等间隔设置的用于竖直承载晶圆的一组卡槽12，卡槽12的上端设置有用于取出和放入晶圆的第一开口，卡槽12的下端设置有晶圆不能通过的第二开口；如图1所示，框架1的左、右两壁分别有一部分为可带着其内侧的部分竖直隔板在一定范围内横向滑动的活动部件13，这两个活动部件即构成所述活动机构，活动部件13横向滑动的两个端部位置分别对应于所述部分槽体可变化的第一宽度和第二宽度，第一宽度为卡槽12除活动部件内侧部分槽体以外的其余槽体的宽度，第二宽度小于第一宽度；图中的14为一对紧固螺栓，用于将活动部件13固定在对应于部分槽体宽度为第二宽度的位置处。
在进行取放片操作时，如图2所示，将活动部件13滑动至图中所示的最右侧，此时活动部件13内侧的竖直挡板与同一列的侧壁上的其余部分竖直挡板平齐，即此时活动部件13内侧的那部分槽体与上下的其余槽体是吻合的，两者宽度一致，均为所述第一宽度。本实施例中的第一宽度设定为9mm，在这样的卡槽宽度下，取放片十分轻松，不容易产生碰撞破损。
完成取放片后，如图3所示，将活动部件13滑动至图中所示的最左侧并用紧固螺栓14进行固定，此时活动部件13内侧的竖直挡板与同一列的侧壁上的其余部分竖直挡板错开，即此时活动部件13内侧的那部分槽体宽度为所述第二宽度，小于其上下的槽体宽度。本实施例中的第二宽度设定为3mm，在这样一个较窄的卡槽宽度下，放置于其中的晶圆在运输和清洗操作过程中不会产生大幅度的晃动，可有效减少由此导致的破损情况。
在使用上述花篮进行晶圆清洗时可参照以下操作流程：
1.放片：放片时将两侧的活动部件置于对应第一宽度位置处，此时活动部件内侧部分卡槽与其它部分卡槽齐平，整个卡槽宽度9mm，用镊子或吸盘操作将晶圆片送入花篮槽体直至槽体底部。
2.收紧槽体：将两侧的运动部件置于对应第二宽度位置处，并用固定螺栓（2个6边形螺栓）进行紧固，此时活动部件内侧的部分卡槽宽度为3mm；
3.清洗：将花篮竖直放入清洗溶液内清洗；
4张开槽体：松开花篮两侧的固定螺栓（固定装置为2个6边形螺栓），将两侧的运动部件置于对应宽度9mm位置处；
5.取片：使用镊子或吸盘操作将晶圆片取出花篮槽体。
1.一种槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，包括平行且等间隔设置的一组用于竖直承载晶圆的卡槽，所述卡槽的上端设置有用于取出和放入晶圆的第一开口，所述卡槽的下端设置有晶圆不能通过的第二开口；其特征在于，所述花篮具有可使得所述一组卡槽的部分槽体宽度在第一宽度和第二宽度之间同步变化的活动机构，所述第一宽度为卡槽其余部分槽体的宽度，第二宽度小于第一宽度。
2.如权利要求1所述槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，其特征在于，该花篮包括框架，所述框架的左、右两壁的内侧分别设置有一组竖直隔板，两组竖直隔板之间呈镜像对称，这两组隔板将框架之中的空间分隔为所述卡槽；所述框架的左、右两壁分别有一部分为可带着其内侧的部分竖直隔板在一定范围内横向滑动的活动部件，这两个活动部件即构成所述活动机构，活动部件横向滑动的两个端部位置分别对应于所述部分槽体的第一宽度和第二宽度。
3.如权利要求2所述槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，其特征在于，所述两个活动部件可分别用紧固螺栓固定在对应于所述部分槽体的第二宽度的端部位置。
4.如权利要求2所述槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，其特征在于，该花篮还包括固定于所述框架上的提手。
5.如权利要求1所述槽宽可调的竖直承载型晶圆花篮，其特征在于，所述第一宽度、第二宽度分别为9mm、3mm。
技术总结