一种小尺寸伯努利吸盘的制作方法

专利2022-06-29  72


本实用新型涉及光伏行业技术领域,具体为一种小尺寸伯努利吸盘。



背景技术:

在光伏行业中,出现新产品宽度为31.2mm的晶圆,晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。

现有吸盘直径多为124mm大吸盘,要从卡匣里将晶圆吸出,取出不方便,而且吸盘对清洁度要求非常高的半导体体行业的晶圆,吸取会产生污染。

基于此,本实用新型设计了一种小尺寸伯努利吸盘,以解决上述问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种小尺寸伯努利吸盘,以解决上述背景技术中提出的现有吸盘直径多为124mm大吸盘,要从卡匣里将晶圆吸出,取出不方便,而且吸盘对清洁度要求非常高的半导体体行业的晶圆,吸取会产生污染的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种小尺寸伯努利吸盘,包括吸盘芯主体,所述吸盘芯主体的上部安装有上盖板,所述吸盘芯主体通过上盖板与真空发生器连接,所述吸盘芯主体的下部安装有下盖板,所述上盖板的上表面开有压缩空气进口,所述下盖板的下表面开有压缩空气射出口,所述吸盘芯主体的内壁设有吸盘芯,所述吸盘芯的内部开有通气结构。

优选的,所述吸盘芯主体为圆筒形状,且吸盘芯主体的直径为25cm。

优选的,所述下盖板的外壁均匀设有螺牙孔,所述下盖板通过螺牙孔固定安装于吸盘芯主体的下部。

优选的,所述吸盘芯的下端两侧壁呈一定倾斜角度设置。

优选的,所述通气结构的两端分别与压缩空气进口和压缩空气射出口连通。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型结构简单,吸附稳定,尺寸小,可从卡匣中吸取晶圆,能吸取小的标签,小形电子元气器件,射出口倾斜设置,有效避免吸盘芯和工件之间被污染,并减少吸盘附着物对晶圆的划伤,通过螺牙孔对吸盘芯更换方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型上盖板结构示意图;

图3为本实用新型下盖板结构示意图;

图4为本实用新型a-a结构示意图。

附图中,各标号所代表的部件列表如下:

1-吸盘芯主体,2-上盖板,3-下盖板,4-压缩空气进口,5-压缩空气射出口,6-螺牙孔,7-吸盘芯,8-通气结构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种小尺寸伯努利吸盘,包括吸盘芯主体1,所述吸盘芯主体1的上部安装有上盖板2,所述吸盘芯主体1通过上盖板2与真空发生器连接,所述吸盘芯主体1的下部安装有下盖板3,所述上盖板2的上表面开有压缩空气进口4,所述下盖板3的下表面开有压缩空气射出口5,所述吸盘芯主体1的内壁设有吸盘芯7,所述吸盘芯7的内部开有通气结构8。

进一步的,所述吸盘芯主体1为圆筒形状,且吸盘芯主体1的直径为25cm。结构设计合理,尺寸小,易于从卡匣中吸取晶圆,能吸取小的标签,小形电子元气器件,

进一步的,所述下盖板3的外壁均匀设有螺牙孔6,所述下盖板3通过螺牙孔6固定安装于吸盘芯主体1的下部,便于通过螺牙孔6对下盖板3进行拆卸,以便于对吸盘芯7进行更换。

进一步的,所述吸盘芯7的下端两侧壁呈一定角度向外倾斜设置,压缩空气从吸盘芯7下端两侧壁倾斜射出,可将落在吸盘芯7和工件之间的附着物吹除,避免污染晶圆。

进一步的,所述通气结构8的两端分别与压缩空气进口4和压缩空气射出口5连通。

本实施例的一个具体应用为:在此吸盘的上盖板2处安装需要的真空发生器,利用伯努力原理,真空发生器将压缩空气通过吸盘芯7内部的通气结构,并从压缩空气射出口5排出,当物体接触时,形成真空面,将轻形物体吸起,而且压缩空气从吸盘芯7下端两侧壁倾斜射出,可将落在吸盘芯7和工件之间的附着物吹除,避免污染晶圆,结构简单,吸附稳定,尺寸小,可从卡匣中吸取晶圆,能吸取小的标签,小形电子元气器件,减少吸盘附着物对晶圆的划伤,通过螺牙孔对吸盘芯更换方便。

在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。


技术特征:

1.一种小尺寸伯努利吸盘,包括吸盘芯主体(1),其特征在于:所述吸盘芯主体(1)的上部安装有上盖板(2),所述吸盘芯主体(1)通过上盖板(2)与真空发生器连接,所述吸盘芯主体(1)的下部安装有下盖板(3),所述上盖板(2)的上表面开有压缩空气进口(4),所述下盖板(3)的下表面开有压缩空气射出口(5),所述吸盘芯主体(1)的内壁设有吸盘芯(7),所述吸盘芯(7)的内部开有通气结构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种小尺寸伯努利吸盘,其特征在于:所述吸盘芯主体(1)为圆筒形状,且吸盘芯主体(1)的直径为25cm。

3.根据权利要求1所述的一种小尺寸伯努利吸盘,其特征在于:所述下盖板(3)的外壁均匀设有螺牙孔(6),所述下盖板(3)通过螺牙孔(6)固定安装于吸盘芯主体(1)的下部。

4.根据权利要求3所述的一种小尺寸伯努利吸盘,其特征在于:所述吸盘芯(7)的下端两侧壁呈一定角度向外倾斜设置。

5.根据权利要求1所述的一种小尺寸伯努利吸盘,其特征在于:所述通气结构(8)的两端分别与压缩空气进口(4)和压缩空气射出口(5)连通。

技术总结
本实用新型公开了光伏行业技术领域的一种小尺寸伯努利吸盘,包括吸盘芯主体,所述吸盘芯主体的上部安装有上盖板,所述吸盘芯主体通过上盖板与真空发生器连接,所述吸盘芯主体的下部安装有下盖板,所述上盖板的上表面开有压缩空气进口,所述下盖板的下表面开有压缩空气射出口,所述吸盘芯主体的内壁设有吸盘芯,所述吸盘芯的内部开有通气结构,结构简单,吸附稳定,尺寸小,可从卡匣中吸取晶圆,能吸取小的标签,小形电子元气器件,射出口倾斜设置,有效避免吸盘芯和工件之间被污染,并减少吸盘附着物对晶圆的划伤,通过螺牙孔对吸盘芯更换方便。

技术研发人员:华俊义
受保护的技术使用者:昆山迈瑞凯精密工业有限公司
技术研发日:2019.12.20
技术公布日:2020.06.09

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