本实用新型涉及化工领域设备，尤其涉及最终氢氟酸灌装设备。
背景技术：
电子级氢氟酸主要用于电子、光伏行业中生产集成电路，要求非金属元素的含量cl≦5000ppb、no3-≦3000ppb、po43－≦1000ppb、so42－≦5000ppb，金属元素的含量要求低于10ppb。目前对于电子级的氢氟酸生产主要是将工业氢氟酸进一步进行氧化和精馏除杂，然后进行灌装。为提高生产效率，目前大多采用连续灌装，即通过输送带输送待灌装桶，输送带的上方固定设置氢氟酸灌装枪，当输送的灌装桶到达灌装枪下方时对其进行灌装。
但是在现有技术中，灌装枪每次只能对一个灌装桶进行灌装，在灌装过程中则需要灌装枪反复下降或者升起，且在对灌装桶通过密封盖密封结束后，还需要操作人员逐个将灌装桶搬运至栈板上进行存放，浪费了时间，降低了生产效率。
技术实现要素：
实用新型目的：为了解决背景技术存在的缺陷，所以本实用新型提供了一种氢氟酸灌装设备。
技术方案：一种氢氟酸灌装设备，包括三轴直线模组、操作台、氢氟酸供料站以及灌装组件，所述操作台上方可拆卸设有用于放置灌装桶的栈板，所述栈板表面设有数个与灌装桶底部外径相匹配的座槽，所述灌装组件包括转换接头、与转换接头连接的主出料管、以及与转换接头连接的数个出料支管，所述主出料管未与转换接头连接的一端与氢氟酸供料站连接，每个所述出料支管未与转换接头连接的一端均垂直安装有灌装枪，所述三轴直线模组设于操作台一侧，用于驱动所述转换接头与数个灌装枪进行x轴、y轴以及z轴方向相对移动。
进一步的是，所述栈板底部两侧均设有一对插块，所述操作台上方两侧均设有一对用于插块插入的插槽。
进一步的是，所述数个灌装枪整体呈一字型横向排布。
进一步的是，所述数个出料支管上均设有一流量泵。
进一步的是，每个所述灌装枪上方均设有一排气罩，所述灌装枪的枪杆穿过排风罩延伸至灌装桶内，所述排气罩外接有同一抽风系统。
进一步的是，所述三轴直线模组包括x轴直线模组、y轴直线模组以及z轴直线模组，所述x轴直线模组滑动安装于操作台一侧，所述z轴直线模组滑动安装于x轴直线模组上，所述z轴直线模组滑动安装于x轴直线模组上。
进一步的是，所述转换接头与数个灌装枪滑动安装于y轴直线模组上。
进一步的是，所述栈板表面镀有聚四氟乙烯层，所述栈板表面设有走液槽。
本实用新型实现以下有益效果：
1.本实用新型通过转换接头连接多个灌装枪，可实现同时对多个灌装桶进行灌装，设置的三轴直线模组能驱动转换接头以及灌装枪进行x轴、y轴以及z轴方向相对移动，从而对栈板表面的放置的灌装桶进行依次灌装。
2.本实用新型通过将栈板底部设置的插块插入至操作台表面设置的插槽内，可以对栈板进行固定，避免了灌装桶在进行灌装时出现晃动的情况，当栈板底部设置的插块从操作台表面设置的插槽中取出时，操作人员可以直接将栈板搬运至相关位置进行存放，从而避免了操作人员对灌装桶逐个进行搬取，提高了工作效率。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
图1为本实用新型提供的整体结构示意图。
图2为本实用新型提供的栈板与操作台的连接结构示意图。
图3为本实用新型提供的转换接头连接结构示意图。
图4为本实用新型提供的抽风系统与排气罩连接结构示意图。
图5为本实用新型提供的栈板截面示意图。
图中：1.操作台、2.氢氟酸供料站、3.栈板、4.座槽、5.主出料管、6.转换接头、7.出料支管、8.灌装枪、9.x轴直线模组、10.z轴直线模组、11.y轴直线模组、12.排气罩、13.流量泵、14.抽风系统、15.插槽、16.插块、17.聚四氟乙烯层、18.走液槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参考图1-5，一种氢氟酸灌装设备，包括三轴直线模组、操作台1、氢氟酸供料站2以及灌装组件，操作台上方可拆卸设有用于放置灌装桶的栈板3，栈板表面设有数个与灌装桶底部外径相匹配的座槽4，灌装组件包括转换接头6、与转换接头连接的主出料管5、以及与转换接头连接的数个出料支管7，主出料管未与转换接头连接的一端与氢氟酸供料站连接，每个出料支管未与转换接头连接的一端均垂直安装有灌装枪8，三轴直线模组设于操作台一侧，用于驱动转换接头与数个灌装枪进行x轴、y轴以及z轴方向相对移动。
具体的，操作人员将待灌装的灌装桶放置于栈板上，且栈板上设置的座槽可根据灌装桶的大小进行定制，灌装桶放置好后，操作人员将此栈板安装于操作台上，灌装组件用于将氢氟酸供料站内的氢氟酸物料灌装于灌装桶内，其具体方法为，氢氟酸供料站内的氢氟酸物料经过主出料管进入转换接头，然后与转换接头连接的出料支管再将转换接头内的氢氟酸物料分别运输至灌装枪内，在此之前三轴直线模组需调节各个灌装枪的位置使其插入至灌装桶内，本实用新型中的三轴直线模组具体使用时采用三个直线伺服模组(已知技术)，三轴直线模组能够驱动转换接头与数个灌装枪实现x轴、y轴以及z轴方向相对移动，使各个灌装枪能够相应的插入至灌装桶内，为了方便所有灌装枪能够一次性全部插入至相应的灌装桶内，所以在具体运用时需将相邻两个灌装桶之间的间距值设置与相邻两个灌装枪之间的间距值相等，且栈板上每行放置的灌装桶数量与灌装枪数量的比为正数，从而在工作时各个灌装枪都能插入至相应的灌装桶内，还需说明的是本实用新型在具体实施时需采用plc控制器进行整体控制，从而可提高工作精度。
实施例二
继续参考图1-5，本实用新型的实施例二是基于实施例一进行实施的；
栈板底部两侧均设有一对插块16，操作台上方两侧均设有一对用于插块插入的插槽15，操作人员在将栈板放置在操作台上时，需将栈板底部设置的插块对位插入至相应的插槽中，从而可实现栈板与操作台实现固定，避免了在灌装时出现灌装桶晃动的情况发生，同时在灌装组件对栈板上所有的灌装桶灌装结束后，操作人员可将此栈板搬走，避免了逐个拿取然后在存放的情况发生，提高了工作效率。
数个灌装枪整体呈一字型横向排布，能够方便各个灌装枪同时插入至座槽内放置的灌装桶内，只需一次对位即可，节省了大量的工作时间。
数个出料支管上均设有一流量泵13，此流量泵需与上述所说的plc控制器进行连接，通过plc控制器对其进行控制，能够确保每个灌装桶内都能装入定量的氢氟酸物料。
每个灌装枪上方均设有一排气罩12，灌装枪的枪杆穿过排风罩延伸至灌装桶内，排气罩外接有同一抽风系统14，在灌装枪对灌装桶进行灌装时，此排气罩罩在罐桶桶的进料口，然后灌装枪的枪杆伸入至灌装桶内，为了能够防止在灌装过程中出现氢氟酸气体挥发污染空气，所以排气罩的外部连接同一抽风系统，将排气罩内所挥发的氢氟酸气体进行吸收处理，继而可避免对空气的污染。
三轴直线模组包括x轴直线模组、y轴直线模组11以及z轴直线模组，x轴直线模组9滑动安装于操作台一侧，z轴直线模组10滑动安装于x轴直线模组上，z轴直线模组滑动安装于x轴直线模组；
转换接头与数个灌装枪滑动安装于y轴直线模组上，在调节转换接头与数个灌装枪的位置时，x轴直线模组驱动z轴直线模组在x轴上移动，z轴直线模组驱动y轴直线模组在z轴上移动，y轴直线模组则驱动转换接头与数个灌装枪在y轴移动，因转换接头与数个灌装枪固定在y轴直线模组，所以在x轴直线模组驱动z轴直线模组在x轴上移动以及z轴直线模组驱动y轴直线模组在y轴上移动时，转换接头与数个灌装枪也会相应在x轴或者z轴移动。
栈板表面镀有聚四氟乙烯层17，栈板表面设有走液槽18，聚四氟乙烯能够防止被氢氟酸腐蚀，栈板表面设置的走液槽能够对灌装枪抬起时滴落的氢氟酸进行回收，可防止流至地面造成对附近的设备产生腐蚀，在具体设置时走液槽在靠近x轴直线模组一侧的高度大于远离x轴直线模组一侧的高度，从而防止有氢氟酸滴落至x轴直线模组上。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
1.一种氢氟酸灌装设备，包括三轴直线模组、操作台、氢氟酸供料站以及灌装组件，其特征在于，所述操作台上方可拆卸设有用于放置灌装桶的栈板，所述栈板表面设有数个与灌装桶底部外径相匹配的座槽，所述灌装组件包括转换接头、与转换接头连接的主出料管、以及与转换接头连接的数个出料支管，所述主出料管未与转换接头连接的一端与氢氟酸供料站连接，每个所述出料支管未与转换接头连接的一端均垂直安装有灌装枪，所述三轴直线模组设于操作台一侧，用于驱动所述转换接头与数个灌装枪进行x轴、y轴以及z轴方向相对移动。
2.根据权利要求1所述的一种氢氟酸灌装设备，其特征在于，所述栈板底部两侧均设有一对插块，所述操作台上方两侧均设有一对用于插块插入的插槽。
3.根据权利要求1所述的一种氢氟酸灌装设备，其特征在于，所述数个灌装枪整体呈一字型横向排布。
4.根据权利要求1所述的一种氢氟酸灌装设备，其特征在于，所述数个出料支管上均设有一流量泵。
5.根据权利要求1所述的一种氢氟酸灌装设备，其特征在于，每个所述灌装枪上方均设有一排气罩，所述灌装枪的枪杆穿过排风罩延伸至灌装桶内，所述排气罩外接有同一抽风系统。
6.根据权利要求1所述的一种氢氟酸灌装设备，其特征在于，所述三轴直线模组包括x轴直线模组、y轴直线模组以及z轴直线模组，所述x轴直线模组滑动安装于操作台一侧，所述z轴直线模组滑动安装于x轴直线模组上，所述z轴直线模组滑动安装于x轴直线模组上。
7.根据权利要求6所述的一种氢氟酸灌装设备，其特征在于，所述转换接头与数个灌装枪滑动安装于y轴直线模组上。
8.根据权利要求1所述的一种氢氟酸灌装设备，其特征在于，所述栈板表面镀有聚四氟乙烯层，所述栈板表面设有走液槽。
技术总结