本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种用于特殊气体输送的钢瓶架。
背景技术：
由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家ic封装和ic装配厂，450家ic设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，ic设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。
而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用许多特殊气体，其中一种为惰性气体(如n2)，其中的输送没有太多的危害，所以采用普通的手动操作系统，来节约成本。
为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体输送的钢瓶架，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。
一种用于特殊气体输送的钢瓶架，包括：架子和工艺气体供应单元，所述工艺气体供应单元与架子上部连接；
其中，所述工艺气体供应单元包括：入口阀、高压隔离阀、调压阀、高压端过滤器、低压端过滤器、高压出口隔离阀、低压出口隔离阀、管路和压力表，入口阀进口端通过pigtail管路与钢瓶连接，所述入口阀出口端通过管路与高压隔离阀连接，所述入口阀中间结构与管路连接，所述高压隔离阀后端通过管路与高压端过滤器和调压阀连接，所述调压阀前端通过管路与高压隔离阀连接，所述调压阀后端通过管路与低压端过滤器连接，所述高压端过滤器前端通过管路与高压隔离阀连接，所述高压端过滤器后端通过管路与高压出口隔离阀连接，所述低压端过滤器前端通过管路与调压阀连接，所述低压端过滤器后端通过管路与低压出口隔离阀连接，所述压力表与管路连接，所述入口阀为三通阀。
进一步，所述管路包括：第一管路、第二管路、第三管路、第四管路、第五管路、第六管路和第七管路，所述第一管路与入口阀和钢瓶连接，所述第二管路与入口阀和高压隔离阀连接，所述第三管路与入口阀中间接口连接，所述第四管路与入口阀和高压隔离阀连接，所述第五管路与高压隔离阀和高压端过滤器连接，所述第六管路与高压隔离阀和调压阀连接，所述第七管路与调压阀和低压端过滤器连接。
进一步，所述入口阀包括：第一入口阀和第二入口阀，所述第一入口阀通过第二管路与高压隔离阀连接，所述第二入口阀通过第四管路与高压隔离阀连接。
进一步，所述高压隔离阀包括：第一高压隔离阀、第二高压隔离阀、第三高压隔离阀和第四高压隔离阀，所述第一高压隔离阀和第二高压隔离阀前端通过第二管路与第一入口阀连接，所述第三高压隔离阀和第四高压隔离阀通过第四管路与第二入口阀连接，所述第一高压隔离阀和第三高压隔离阀后端通过第五管路与高压端过滤器连接，所述第二高压隔离阀和第四高压隔离阀后端通过第六管路与调压阀连接。
进一步，所述工艺气体供应单元上设有单向阀、流量孔板、第一垫片式过滤器和第二垫片式过滤器，所述单向阀与第三管路后端连接，所述流量孔板与单向阀前端连接，所述第一垫片式过滤器与第一入口阀前端连接，所述第二垫片式过滤器与第二入口阀前端连接，所述第一垫片式过滤器和第二垫片式过滤器与钢瓶连接。
本实用新型的有益效果：
本实用新型与传统技术相比，通过增设新型的工艺气体供应单元结构，实现手动惰性气体的快速运输，操作方便，节约成本。
附图说明：
图1为本实用新型的原理示意图。
图2为本实用新型的结构示意图。
附图标记：
架子100、工艺气体供应单元200、入口阀210、第一入口阀211和第二入口阀212。
高压隔离阀220、第一高压隔离阀221、第二高压隔离阀222、第三高压隔离阀223和第四高压隔离阀224。
调压阀230、高压端过滤器240、低压端过滤器250、高压出口隔离阀260和低压出口隔离阀270。
管路280、第一管路281、第二管路282、第三管路283、第四管路284、第五管路285、第六管路286、第七管路287和压力表290。
单向阀300、流量孔板400、第一垫片式过滤器500、第二垫片式过滤器600和钢瓶1000。
具体实施方式
以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。
实施例1
图1为本实用新型的原理示意图。图2为本实用新型的结构示意图。
如图1、图2所示，一种用于特殊气体输送的钢瓶架，包括：架子100和工艺气体供应单元200，工艺气体供应单元200与架子100上部连接。
其中，工艺气体供应单元200包括：入口阀210、高压隔离阀220、调压阀230、高压端过滤器240、低压端过滤器250、高压出口隔离阀260、低压出口隔离阀270、管路280和压力表290，入口阀210进口端通过pigtail管路与钢瓶1000连接，入口阀210出口端通过管路280与高压隔离阀220连接，入口阀210中间结构与管路280连接，高压隔离阀220后端通过管路280与高压端过滤器240和调压阀230连接，调压阀230前端通过管路280与高压隔离阀220连接，调压阀230后端通过管路280与低压端过滤器250连接，高压端过滤器240前端通过管路280与高压隔离阀220连接，高压端过滤器240后端通过管路280与高压出口隔离阀260连接，低压端过滤器250前端通过管路280与调压阀230连接，低压端过滤器250后端通过管路280与低压出口隔离阀270连接，压力表290与管路280连接，入口阀210为三通阀。
管路280包括：第一管路281、第二管路282、第三管路283、第四管路284、第五管路285、第六管路286和第七管路287，第一管路281与入口阀210和钢瓶1000连接，第二管路282与入口阀210和高压隔离阀220连接，第三管路283与入口阀210中间接口连接，第四管路284与入口阀210和高压隔离阀220连接，第五管路285与高压隔离阀220和高压端过滤器240连接，第六管路286与高压隔离阀220和调压阀230连接，第七管路287与调压阀230和低压端过滤器250连接；
入口阀210包括：第一入口阀211和第二入口阀212，第一入口阀211通过第二管路282与高压隔离220连接，第二入口阀212通过第四管路284与高压隔离阀220连接。
高压隔离阀220包括：第一高压隔离阀221、第二高压隔离阀222、第三高压隔离阀223和第四高压隔离阀224，第一高压隔离阀221和第二高压隔离阀222前端通过第二管路282与第一入口阀211连接，第三高压隔离阀223和第四高压隔离阀224通过第四管路284与第二入口阀212连接，第一高压隔离阀221和第三高压隔离阀223后端通过第五管路285与高压端过滤器240连接，第二高压隔离阀222和第四高压隔离阀224后端通过第六管路286与调压阀230连接。
工艺气体供应单元200上设有单向阀300、流量孔板400、第一垫片式过滤器500和第二垫片式过滤器600，单向阀300与第三管路283后端连接，流量孔板400与单向阀300前端连接，第一垫片式过滤器500与第一入口阀211前端连接，第二垫片式过滤器600与第二入口阀212前端连接，第一垫片式过滤器500和第二垫片式过滤器600与钢瓶1000连接。
本实用新型的工作原理是，工艺气体供应单元200与架子100上部连接，入口阀210进口通过第一管路281连接钢瓶1000，管路280中设置有压力表290，出口通过管路280连接高压隔离阀220，中间接口连接排放管路第三管路283，入口阀210有第一入口阀211和第二入口阀212，第一入口阀211后端通过第二管路282分别接入第一高压隔离阀221和第二高压隔离阀222，第二入口阀212后端通过第四管路284分别接入第三高压隔离阀223和第四高压隔离阀224，第二高压隔离阀222和第四高压隔离阀224的前端分别通过第二管路282和第四管路284连接到入口阀210，第二高压隔离阀222和第四高压隔离阀224的后端通过第六管路286汇总接入调压阀230，第一高压隔离阀221和第三高压隔离阀223的前端分别通过第二管路282和第四管路284连接到入口阀210，第一高压隔离阀221和第三高压隔离阀223的后端通过第五管路285汇总接入高压端过滤器240，调压阀230的前端通过第六管路286分别接入第二高压隔离阀222和第四高压隔离阀224，调压阀230的后端通过第七管路287接入低压端过滤器250，管路280中设置有压力表290。高压端过滤器240设置在高压管路，高压端过滤器240的后端连接高压出口隔离阀260，低压端过滤器250的后端接入低压出口隔离阀270，高压出口隔离阀260的后端通过管路280接入设备外部管路，低压出口隔离阀270的后端通过管路280接到设备外部管路。工艺气体供应单元200上还具有单向阀300、流量孔板400、第一垫片式过滤器500和第二垫片式过滤器600，单向阀300设置在第三管路283后端，流量孔板400安装于单向阀300前端，第一垫片式过滤器500和第二垫片式过滤器600分别与第一入口阀211和第二入口阀212前端连接，第一垫片式过滤器500和第二垫片式过滤器600分别与2个钢瓶1000连接。
本实用新型通过增设新型的工艺气体供应单元结构，实现手动惰性气体的快速运输，操作方便，节约成本。
以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。
1.一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于，包括：架子(100)和工艺气体供应单元(200)，所述工艺气体供应单元(200)与架子(100)上部连接；
其中，所述工艺气体供应单元(200)包括：入口阀(210)、高压隔离阀(220)、调压阀(230)、高压端过滤器(240)、低压端过滤器(250)、高压出口隔离阀(260)、低压出口隔离阀(270)、管路(280)和压力表(290)，所述入口阀(210)进口端通过pigtail管路与钢瓶(1000)连接，所述入口阀(210)出口端通过管路(280)与高压隔离阀(220)连接，所述入口阀(210)中间结构与管路(280)连接，所述高压隔离阀(220)后端通过管路(280)与高压端过滤器(240)和调压阀(230)连接，所述调压阀(230)前端通过管路(280)与高压隔离阀(220)连接，所述调压阀(230)后端通过管路(280)与低压端过滤器(250)连接，所述高压端过滤器(240)前端通过管路(280)与高压隔离阀(220)连接，所述高压端过滤器(240)后端通过管路(280)与高压出口隔离阀(260)连接，所述低压端过滤器(250)前端通过管路(280)与调压阀(230)连接，所述低压端过滤器(250)后端通过管路(280)与低压出口隔离阀(270)连接，所述压力表(290)与管路(280)连接，所述入口阀(210)为三通阀。
2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述管路(280)包括：第一管路(281)、第二管路(282)、第三管路(283)、第四管路(284)、第五管路(285)、第六管路(286)和第七管路(287)，所述第一管路(281)与入口阀(210)和钢瓶(1000)连接，所述第二管路(282)与入口阀(210)和高压隔离阀(220)连接，所述第三管路(283)与入口阀(210)中间接口连接，所述第四管路(284)与入口阀(210)和高压隔离阀(220)连接，所述第五管路(285)与高压隔离阀(220)和高压端过滤器(240)连接，所述第六管路(286)与高压隔离阀(220)和调压阀(230)连接，所述第七管路(287)与调压阀(230)和低压端过滤器(250)连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述入口阀(210)包括：第一入口阀(211)和第二入口阀(212)，所述第一入口阀(211)通过第二管路(282)与高压隔离阀(220)连接，所述第二入口阀(212)通过第四管路(284)与高压隔离阀(220)连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述高压隔离阀(220)包括：第一高压隔离阀(221)、第二高压隔离阀(222)、第三高压隔离阀(223)和第四高压隔离阀(224)，所述第一高压隔离阀(221)和第二高压隔离阀(222)前端通过第二管路(282)与第一入口阀(211)连接，所述第三高压隔离阀(223)和第四高压隔离阀(224)通过第四管路(284)与第二入口阀(212)连接，所述第一高压隔离阀(221)和第三高压隔离阀(223)后端通过第五管路(285)与高压端过滤器(240)连接，所述第二高压隔离阀(222)和第四高压隔离阀(224)后端通过第六管路(286)与调压阀(230)连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述工艺气体供应单元(200)上设有单向阀(300)、流量孔板(400)、第一垫片式过滤器(500)和第二垫片式过滤器(600)，所述单向阀(300)与第三管路(283)后端连接，所述流量孔板(400)与单向阀(300)前端连接，所述第一垫片式过滤器(500)与第一入口阀(211)前端连接，所述第二垫片式过滤器(600)与第二入口阀(212)前端连接，所述第一垫片式过滤器(500)和第二垫片式过滤器(600)与钢瓶(1000)连接。
技术总结