本实用新型涉及硝酸脱色相关技术领域,具体为一种微电子用硝酸脱色装置。
背景技术:
在微电子产品的加工过程中,通常需要使用到硝酸进行蚀刻加工,而该类工业级硝酸通常对纯度含量具有较高的要求,一般都需要进行提纯加工,如硝酸中含有大量二氧化氮会使得颜色发黄,因此一般需要对硝酸进行脱色除杂。
现有的硝酸脱色除杂一般都是直接向反应容器中灌入大量的氮气进行置换,其反应效果相对较差,需要在一定的温度和压力环境下辅助进行反应,存在物料接触反应不充分,脱色除杂效果较差,整体处理工作效率低下的问题,还容易造成一定的原料浪费,影响硝酸脱色装置的正常加工。
针对上述问题,在原有硝酸脱色装置的基础上进行创新设计。
技术实现要素:
本实用新型的目的在于提供一种微电子用硝酸脱色装置,以解决上述背景技术中提出硝酸脱色装置工作效率低,脱色除杂效果较差,反应耗时长的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种微电子用硝酸脱色装置,包括脱色装置本体和驱动电机,所述脱色装置本体的内壁设置有陶瓷内胆,且陶瓷内胆的内部设置有陶瓷桨叶,所述陶瓷桨叶的下端设置有出气口,且陶瓷桨叶的中部设置有驱动套杆,所述驱动套杆的中部设置有进气内管,且驱动套杆的外侧设置有轴密封,所述驱动电机位于脱色装置本体的侧上方,且驱动电机的下方设置有电机安装架,所述驱动电机的输出端安装有驱动轴,且驱动轴的下端设置有偏心轮,并且驱动轴的外侧设置有传动皮带轮,所述脱色装置本体的下方设置有支撑座,且支撑座的内侧连接有支撑活动轴,并且支撑活动轴的外侧设置有连接扭簧,所述支撑座的侧面设置有侧支撑架。
优选的,所述陶瓷桨叶的中轴线和脱色装置本体的中轴线相互重合,且出气口在陶瓷桨叶下端的左右两侧对称分布,并且出气口在陶瓷桨叶内部与进气内管构成连接通路。
优选的,所述驱动套杆和进气内管的中轴线相互重合,且驱动套杆和进气内管的外侧均设置有轴密封,并且驱动套杆和驱动轴之间通过传动皮带轮相互连接。
优选的,所述电机安装架和脱色装置本体之间为焊接一体化结构,且电机安装架的宽度大于偏心轮的直径,并且偏心轮与侧支撑架的侧表面相互贴合。
优选的,所述支撑座和脱色装置本体之间通过支撑活动轴构成旋转结构,且支撑活动轴和支撑座之间通过连接扭簧相互连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该可对废液除杂的微电子用硝酸脱色装置,
1、设置有内置的开设出气口的陶瓷桨叶,在装置的使用过程中,通过进气内管直接进气,从陶瓷桨叶下端出气口均匀出气,通过陶瓷桨叶进行搅拌的同时,出气更加均匀,可以便于物料的充分混合反应,有助于原料的快速反应脱色除杂,提高加工效率;
2、设置有与陶瓷桨叶同步活动的偏心轮,在装置的使用过程中配合支撑座、支撑活动轴和连接扭簧对脱色装置本体的弹性活动支撑可以方便脱色装置本体的活动偏转,通过偏心轮与侧支撑架的贴合旋转支撑带动脱色装置本体进行往复倾斜活动,通过类似脱色摇床的方式提高处理效率。
附图说明
图1为本实用新型正面剖视结构示意图;
图2为本实用新型脱色装置本体倾斜偏转时正面结构示意图;
图3为本实用新型偏心轮和传动皮带轮结构示意图;
图4为本实用新型陶瓷桨叶结构示意图。
图中:1、脱色装置本体;2、陶瓷内胆;3、陶瓷桨叶;4、出气口;5、驱动套杆;6、进气内管;7、轴密封;8、驱动电机;9、电机安装架;10、驱动轴;11、偏心轮;12、传动皮带轮;13、支撑座;14、支撑活动轴;15、连接扭簧;16、侧支撑架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种微电子用硝酸脱色装置,包括脱色装置本体1、陶瓷内胆2、陶瓷桨叶3、出气口4、驱动套杆5、进气内管6、轴密封7、驱动电机8、电机安装架9、驱动轴10、偏心轮11、传动皮带轮12、支撑座13、支撑活动轴14、连接扭簧15和侧支撑架16,脱色装置本体1的内壁设置有陶瓷内胆2,且陶瓷内胆2的内部设置有陶瓷桨叶3,陶瓷桨叶3的下端设置有出气口4,且陶瓷桨叶3的中部设置有驱动套杆5,驱动套杆5的中部设置有进气内管6,且驱动套杆5的外侧设置有轴密封7,驱动电机8位于脱色装置本体1的侧上方,且驱动电机8的下方设置有电机安装架9,驱动电机8的输出端安装有驱动轴10,且驱动轴10的下端设置有偏心轮11,并且驱动轴10的外侧设置有传动皮带轮12,脱色装置本体1的下方设置有支撑座13,且支撑座13的内侧连接有支撑活动轴14,并且支撑活动轴14的外侧设置有连接扭簧15,支撑座13的侧面设置有侧支撑架16。
本例的陶瓷桨叶3的中轴线和脱色装置本体1的中轴线相互重合,且出气口4在陶瓷桨叶3下端的左右两侧对称分布,并且出气口4在陶瓷桨叶3内部与进气内管6构成连接通路,方便通过陶瓷桨叶3进行物料搅拌的同时通过出气口4进行均匀出气反应除杂。
驱动套杆5和进气内管6的中轴线相互重合,且驱动套杆5和进气内管6的外侧均设置有轴密封7,并且驱动套杆5和驱动轴10之间通过传动皮带轮12相互连接,方便进气内管6进气的同时进行旋转驱动。
电机安装架9和脱色装置本体1之间为焊接一体化结构,且电机安装架9的宽度大于偏心轮11的直径,并且偏心轮11与侧支撑架16的侧表面相互贴合,便于通过驱动电机8转动的同时通过偏心轮11带动脱色装置本体1进行往复偏转。
支撑座13和脱色装置本体1之间通过支撑活动轴14构成旋转结构,且支撑活动轴14和支撑座13之间通过连接扭簧15相互连接,方便脱色装置本体1的偏转活动,通过类似脱色摇床的方式,提高处理效果。
工作原理:在使用该可对废液除杂的微电子用硝酸脱色装置时,首先将装置的电源和电网相互连接,根据图1所示,物料可以在陶瓷内胆2内部进行反应,配合外部的控温控压装置,从进气内管6向装置内部填充氮气等反应气体,同时打开驱动电机8进行驱动即可开始进行反应脱色除杂;
在装置的使用过程中,根据图2-4所示,驱动电机8可以通过驱动轴10同步带动图3中的偏心轮11和传动皮带轮12进行转动,传动皮带轮12可以带动陶瓷桨叶3随驱动套杆5进行同步转动,图4中的陶瓷桨叶3可以在对内部物料进行旋转搅拌的同时,通过出气口4向外均匀出气,方便物料的充分接触,同时驱动轴10下端的偏心轮11可以随之同步转动,通过偏心轮11与侧支撑架16的贴合推挤,可以带动脱色装置本体1如图2绕支撑活动轴14进行活动偏转,同时在连接扭簧15的弹性复位作用下进行往复偏转运动,方便通过转轴的倾斜摆动构成类似脱色摇床的结构提高处理效果,本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种微电子用硝酸脱色装置,包括脱色装置本体(1)和驱动电机(8),其特征在于:所述脱色装置本体(1)的内壁设置有陶瓷内胆(2),且陶瓷内胆(2)的内部设置有陶瓷桨叶(3),所述陶瓷桨叶(3)的下端设置有出气口(4),且陶瓷桨叶(3)的中部设置有驱动套杆(5),所述驱动套杆(5)的中部设置有进气内管(6),且驱动套杆(5)的外侧设置有轴密封(7),所述驱动电机(8)位于脱色装置本体(1)的侧上方,且驱动电机(8)的下方设置有电机安装架(9),所述驱动电机(8)的输出端安装有驱动轴(10),且驱动轴(10)的下端设置有偏心轮(11),并且驱动轴(10)的外侧设置有传动皮带轮(12),所述脱色装置本体(1)的下方设置有支撑座(13),且支撑座(13)的内侧连接有支撑活动轴(14),并且支撑活动轴(14)的外侧设置有连接扭簧(15),所述支撑座(13)的侧面设置有侧支撑架(16)。
2.根据权利要求1所述的一种微电子用硝酸脱色装置,其特征在于:所述陶瓷桨叶(3)的中轴线和脱色装置本体(1)的中轴线相互重合,且出气口(4)在陶瓷桨叶(3)下端的左右两侧对称分布,并且出气口(4)在陶瓷桨叶(3)内部与进气内管(6)构成连接通路。
3.根据权利要求1所述的一种微电子用硝酸脱色装置,其特征在于:所述驱动套杆(5)和进气内管(6)的中轴线相互重合,且驱动套杆(5)和进气内管(6)的外侧均设置有轴密封(7),并且驱动套杆(5)和驱动轴(10)之间通过传动皮带轮(12)相互连接。
4.根据权利要求1所述的一种微电子用硝酸脱色装置,其特征在于:所述电机安装架(9)和脱色装置本体(1)之间为焊接一体化结构,且电机安装架(9)的宽度大于偏心轮(11)的直径,并且偏心轮(11)与侧支撑架(16)的侧表面相互贴合。
5.根据权利要求1所述的一种微电子用硝酸脱色装置,其特征在于:所述支撑座(13)和脱色装置本体(1)之间通过支撑活动轴(14)构成旋转结构,且支撑活动轴(14)和支撑座(13)之间通过连接扭簧(15)相互连接。
技术总结