本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种用于制坨机的旋转摆动台。
背景技术：
石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成，其具有特殊的光谱透过性能，热膨胀系数低，是普通玻璃的1/10-1/20、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀，线膨胀系数极小，有很好的抗热震性。它的耐热性很高，经常使用温度为1100～1200摄氏度，短期使用温度可达1400摄氏度，由于它具有高的光谱透射，不会因辐射线损伤，因此也是用于宇宙飞船、风洞窗和分光光度计光学系统的理想玻璃。石英玻璃在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。随着各领域光学系统对石英玻璃尺寸和光学均匀性要求的不断提高，研制大尺寸、高均匀石英玻璃的需求剧增。
石英玻璃的光学均匀性直接影响光学系统的成像质量。用光学均匀性数值及分布图可表征材料内部折射率不均匀的程度。若玻璃存在光学不均匀，则光通过介质后会产生相位差，可导致光学系统无法实现预期功能，甚至无法工作。
石英玻璃制坨机是石英玻璃生产的关键设备，其结构及性能直接影响石英玻璃的尺寸和光学均匀性。合成石英玻璃是以含硅前驱体(通常采用sicl4)为原料，在氢氧焰中发生水解或氧化反应生成sio2纳米颗粒，沉积并熔融于石英玻璃基底表面制备而成。
现有技术中公开的制坨机具有升降和旋转功能，但是缺少摆动功能，并且旋转单元存在隔热效果效果差、旋转支撑结构不稳定，导致合成出的石英玻璃结构不均匀。
技术实现要素：
本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。
为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种用于制坨机的旋转摆动台，包括：
工作载台，其内设置有支撑板；所述支撑板设置有平行的水平导轨；所述支撑板上设置有支撑板通孔；
摆动滑台，其与平行的水平导轨通过滑块连接；所述摆动滑台上通过摆动丝杠螺帽座连接有丝杠；所述摆动滑台的中部设置有安装通孔；
摆动电机，其设置在工作载台的前面板上，所述摆动电机的电机轴连接减速器ⅰ，减速器ⅰ与丝杠的一端连接；所述丝杠的另一端通过丝杠支撑座连接在支撑板的底部上；所述摆动滑台的底部连接摆动丝杠螺帽座，摆动丝杠螺帽座与丝杠相配合连接；
环形支撑底座，其可拆卸连接在摆动滑台的中部且与安装通孔同轴设置；所述环形支撑底座上可拆卸连接有至少三个轴承旋转支撑单元；
旋转电机，其电机轴连接减速器ⅱ；所述减速器ⅱ穿过所述支撑板通孔和安装通孔且减速器ⅱ的外壳与安装通孔的边缘可拆卸连接；
旋转盘，其与所述减速器ⅱ的输出轴固定连接；且所述旋转盘位于轴承旋转支撑单元的上方并与轴承旋转支撑单元相接触；所述旋转盘的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆的夹具。
优选的是，所述可拆卸连接的方式为螺栓连接。
优选的是，所述工作载台的上方设置有伸缩隔热单元；所述伸缩隔热单元包括：
折叠固定隔热板，其设置在工作载台的上方，所述折叠固定隔热板的内侧边缘设置有多层滑槽；
隔热前挡盘，其两侧可滑动设置多层滑槽的最底层滑槽内；
隔热后挡盘，其两侧可滑动设置多层滑槽的最底层滑槽内；所述隔热前挡盘和隔热后挡盘相匹配设置并在其两者中部形成供轴承旋转支撑单元突出的中部通孔；所述隔热前挡盘和隔热后挡盘的底部均通过连接杆与摆动滑台连接；
多个折叠隔热板，其两侧依次可滑动设置在多层滑槽的除最底层滑槽外的其它滑槽内；且所述多个折叠隔热板位于隔热后挡盘的上方；其中，相邻的折叠隔热板之间、隔热后挡盘与其上方的折叠隔热板之间均叠合设置，且相邻的折叠隔热板的位于下方的折叠隔热板和隔热后挡盘上均设置有连接柱，位于上方的折叠隔热板上设置有与连接柱相配合的贯穿槽。
优选的是，所述轴承旋转支撑单元包括：轴承支撑座，其螺栓连接在环形支撑底座上，所述轴承支撑座上连接转轴，在转轴上连接深沟球轴承；所述旋转盘与深沟球轴承的表面相接触；所述轴承支撑座上设置有用于防止转轴转动的止转挡片。
优选的是，所述摆动滑台的摆动方向的两端设置有摆动行程开关；所述摆动行程开关固定在折叠固定隔热板的两端的下方；所述工作载台的内部的支撑板的两端设置有摆动限位座。
本实用新型至少包括以下有益效果：
(1)通过设置摆动电机等相关结构，实现了制坨机沉积基础杆的摆动，是沉积基础杆同时具有旋转和摆动功能，使沉积面较增大，合成出的石英玻璃结构更均匀。
(2)采用本实用新型的旋转支撑单元，其结构更加稳定，旋转过程更加平稳。
(3)采用本实用新型的隔热结构，对旋转单元的隔热效果更优。
本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明：
图1为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的整体结构示意图；
图2为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的另一视角的整体结构示意图；
图3为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的另一视角的整体结构示意图；
图4为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的另一视角的结构示意图；
图5为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的局部结构示意图；
图6为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的局部结构示意图；
图7为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的工作载台的结构示意图；
图8为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的的局部结构示意图；
图9为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的另一视角的局部结构示意图；
图10为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的另一视角的局部结构示意图；
图11为本实用新型的用于制坨机的旋转摆动台的另一视角的局部结构示意图。
具体实施方式：
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
图1～11示出了本实用新型的一种用于制坨机的旋转摆动台，包括：
工作载台7，其内设置有支撑板11；所述支撑板11上设置有平行的水平导轨12；所述支撑板11上设置有支撑板通孔110；所述支撑板11上设置有平行的导轨安装座116；
摆动滑台13，其与平行的水平导轨12通过滑块14连接；所述摆动滑台13上通过摆动丝杠螺帽座132连接有丝杠16；所述摆动滑台13的中部设置有安装通孔17；
摆动电机18，其设置在工作载台7的前面板19上，所述摆动电机18的电机轴连接减速器ⅰ20，减速器ⅰ20与丝杠16的一端连接；所述丝杠16的另一端通过丝杠支撑座21连接在支撑板11的底部上；所述摆动滑台13的底部连接摆动丝杠螺帽座132，摆动丝杠螺帽座132与丝杠相配合连接；所述摆动电机18的外部设置有摆动电机防护罩181；
环形支撑底座22，其可拆卸连接在摆动滑台13的中部且与安装通孔17同轴设置；所述环形支撑底座22上可拆卸连接有至少三个轴承旋转支撑单元23；
旋转电机24，其电机轴连接减速器ⅱ25；所述减速器ⅱ25穿过所述支撑板通孔110和安装通孔17且减速器ⅱ25的外壳与安装通孔17的边缘可拆卸连接；
旋转盘26，其与所述减速器ⅱ25的输出轴固定连接；且所述旋转盘26位于轴承旋转支撑单元23的上方并与轴承旋转支撑单元23相接触；旋转盘26的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆27的夹具281。
在这种技术方案中，环形支撑底座用于承受旋转盘及其以上结构(夹具、基础杆、沉积产品等)的重量，避免减速器ⅱ承受过大负载；将用于沉积石英玻璃的基础杆夹持在夹具上，通过控制摆动电机转动，从而带动丝杠转动，与丝杠相匹配连接的摆动丝杠螺帽座进行滑动，与摆动丝杠螺帽座连接的摆动滑台在平行的水平导轨和滑块作用下实现水平滑动动，并通过控制摆动滑台左右滑动以实现摆动动作；同时通过控制旋转电机转动，从而带动旋转盘的转动，且旋转盘通过至少三个轴承旋转支撑单元进行支撑，至少三个轴承旋转支撑单元在支撑旋转盘的同时可以进行旋转；采用本实用新型的这种方式，通过设置摆动电机等相关结构，实现了制坨机沉积基础杆的摆动，是沉积基础杆同时具有旋转和摆动功能，使沉积面较增大，合成出的石英玻璃结构更均匀。
在上述技术方案中，所述可拆卸连接的方式为螺栓连接擦，采用这种方式，方便相关部件的拆卸和安装。
在上述技术方案中，所述工作载台7的上方设置有伸缩隔热单元37；所述伸缩隔热单元37包括：
折叠固定隔热板371，其设置在工作载台7的上方，所述折叠固定隔热板的内侧边缘设置有多层滑槽372；
隔热前挡盘373，其两侧可滑动设置多层滑槽372的最底层滑槽内；
隔热后挡盘374，其两侧可滑动设置多层滑槽372的最底层滑槽内；所述隔热前挡盘373和隔热后挡盘374相匹配设置并在其两者中部形成供轴承旋转支撑单元23突出的中部通孔375；所述隔热前挡盘373和隔热后挡盘374的底部均通过连接杆376与摆动滑台13连接；
多个折叠隔热板377，其两侧依次可滑动设置在多层滑槽372的除最底层滑槽外的其它滑槽内；且所述多个折叠隔热板377位于隔热后挡盘374的上方；其中，相邻的折叠隔热板377之间、隔热后挡盘373与其上方的折叠隔热板377之间均叠合设置，且相邻的折叠隔热板377的位于下方的折叠隔热板和隔热后挡盘373上均设置有连接柱378，位于上方的折叠隔热板上设置有与连接柱378相配合的贯穿槽379。
在这种技术方案中，由于制坨机的工作环境是高温环境，因此通过设置伸缩隔热单元进行隔热，采用这种隔热方式，使旋转摆动台能够适应长期在高温环境中正常运行；通过连接杆将隔热前挡盘和隔热后挡盘与摆动滑台连接，在摆动滑台左右滑动的过程中，隔热前挡盘和隔热后挡盘通过设置的滑槽随着进行左右滑动，同时其他的多个折叠隔热板与隔热后挡盘通过连接柱和贯穿槽进行连接，当最底层的隔热后挡盘滑动时，通过连接柱带动上层的折叠隔热板滑动，进而实现多个折叠隔热板的滑动，该伸缩隔热单元可以随着摆动滑台的滑动进行滑动折叠，实现了良好的隔热效果。
在上述技术方案中，所述轴承旋转支撑单元23包括：轴承支撑座231，其螺栓连接在环形支撑底座22上，所述轴承支撑座231上连接转轴232，在转轴上232连接深沟球轴承233；所述旋转盘26与深沟球轴承233的表面相接触；所述轴承支撑座上设置有用于防止转轴转动的止转挡片234。在这种技术方案中，采用该轴承旋转支撑单元可以实现旋转盘更加平稳的旋转，同时采用将旋转盘与深沟球轴承的表面相接触进行支撑，在保证旋转盘可以平稳旋转的情况下，可以实现对夹具单元及基础杆的有效支撑，采用止转挡片，可以防止转轴转动，并进一步保证了轴承的有效旋转。
在上述技术方案中，所述摆动滑台13的摆动方向的两端设置有摆动行程开关131；所述摆动行程开关131固定在折叠固定隔热板371的两端的下方；所述工作载台7的内部的支撑板11的两端设置有摆动限位座111。摆动限位座可以在摆动滑台可能失控的情况下进行机械限位。通过在摆动滑台的摆动方向的两端设置摆动行程开关，当摆动滑台在可能失控的情况下，可以通过摆动行程开关关闭摆动电机，实现了对设备的保护。
尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
1.一种用于制坨机的旋转摆动台，其特征在于，包括：
工作载台，其内设置有支撑板；所述支撑板设置有平行的水平导轨；所述支撑板上设置有支撑板通孔；
摆动滑台，其与平行的水平导轨通过滑块连接；所述摆动滑台上通过摆动丝杠螺帽座连接有丝杠；所述摆动滑台的中部设置有安装通孔；
摆动电机，其设置在工作载台的前面板上，所述摆动电机的电机轴连接减速器ⅰ，减速器ⅰ与丝杠的一端连接；所述丝杠的另一端通过丝杠支撑座连接在支撑板的底部上；所述摆动滑台的底部连接摆动丝杠螺帽座，摆动丝杠螺帽座与丝杠相配合连接；
环形支撑底座，其可拆卸连接在摆动滑台的中部且与安装通孔同轴设置；所述环形支撑底座上可拆卸连接有至少三个轴承旋转支撑单元；
旋转电机，其电机轴连接减速器ⅱ；所述减速器ⅱ穿过所述支撑板通孔和安装通孔且减速器ⅱ的外壳与安装通孔的边缘可拆卸连接；
旋转盘，其与所述减速器ⅱ的输出轴固定连接；且所述旋转盘位于轴承旋转支撑单元的上方并与轴承旋转支撑单元相接触；所述旋转盘的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆的夹具。
2.如权利要求1所述的用于制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述可拆卸连接的方式为螺栓连接。
3.如权利要求1所述的用于制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述工作载台的上方设置有伸缩隔热单元；所述伸缩隔热单元包括：
折叠固定隔热板，其设置在工作载台的上方，所述折叠固定隔热板的内侧边缘设置有多层滑槽；
隔热前挡盘，其两侧可滑动设置多层滑槽的最底层滑槽内；
隔热后挡盘，其两侧可滑动设置多层滑槽的最底层滑槽内；所述隔热前挡盘和隔热后挡盘相匹配设置并在其两者中部形成供轴承旋转支撑单元突出的中部通孔；所述隔热前挡盘和隔热后挡盘的底部均通过连接杆与摆动滑台连接；
多个折叠隔热板，其两侧依次可滑动设置在多层滑槽的除最底层滑槽外的其它滑槽内；且所述多个折叠隔热板位于隔热后挡盘的上方；其中，相邻的折叠隔热板之间、隔热后挡盘与其上方的折叠隔热板之间均叠合设置，且相邻的折叠隔热板的位于下方的折叠隔热板和隔热后挡盘上均设置有连接柱，位于上方的折叠隔热板上设置有与连接柱相配合的贯穿槽。
4.如权利要求1所述的用于制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述轴承旋转支撑单元包括：轴承支撑座，其螺栓连接在环形支撑底座上，所述轴承支撑座上连接转轴，在转轴上连接深沟球轴承；所述旋转盘与深沟球轴承的表面相接触；所述轴承支撑座上设置有用于防止转轴转动的止转挡片。
5.如权利要求3所述的用于制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述摆动滑台的摆动方向的两端设置有摆动行程开关；所述摆动行程开关固定在折叠固定隔热板的两端的下方；所述工作载台的内部的支撑板的两端设置有摆动限位座。
技术总结